[發(fā)明專利]一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物及其使用方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110239107.1 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-04 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113046747B | 公開（公告）日： | 2022-11-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐帥;張紅偉;李闖;胡天齊;錢鐵民 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 四川和晟達(dá)電子科技有限公司;江蘇和達(dá)電子科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23F1/18 | 分類號(hào)： | C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44;C09K13/08 |
| 代理公司： | 上海微策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 湯俊明 |
| 地址： | 620010 四川省眉*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 金屬 氧化物 蝕刻 組合 及其 使用方法 | ||
1.一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，原料包括：按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)計(jì)，過氧化氫6-10％，無機(jī)酸1.98％，氟離子源0.03％，多元醇類絡(luò)合劑2-5％，堿類化合物3.63％，金屬緩蝕劑0.05-0.8％，溶劑補(bǔ)充余量，多元醇類絡(luò)合劑為乙二醇和三甘醇。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，所述無機(jī)酸包括硫酸、硝酸的一種或幾種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，所述氟離子源包括HF、氟化鹽的一種或幾種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，所述堿類化合物包括氨水、有機(jī)堿的一種或幾種。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，所述有機(jī)堿包括胺類、醇胺類化合物的一種或幾種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物，其特征在于，所述金屬緩蝕劑選自氨基氮唑類化合物。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物的使用方法，其特征在于，在一定蝕刻溫度下，加入蝕刻液于藥液箱中，以噴淋的形式均勻噴灑玻璃基板的金屬表面。
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