[發明專利]一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機及其使用方法

在審

• 申請號: 202110235833.6
• 申請日: 2021-03-03
• 公開（公告）號: CN113178402A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 吳青云
• 申請（專利權）人: 吳青云
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16F15/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機，包括箱體（1），所述箱體（1）的底部四角均固接有底座（2），所述箱體（1）的內壁間隙配合有橫板（3），所述橫板（3）的頂部貼合有刻蝕機（4），其特征在于：所述箱體（1）的內壁設有保護機構（5）。

2.根據權利要求1所述的一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機，其特征在于：

所述保護機構（5）包括第一豎桿（501）、第二豎桿（502）、第一彈簧（503）、斜塊（504）、第一滑輪（505）、第一橫桿（506）、第二橫桿（507）和第二彈簧（508）；

兩個所述第一豎桿（501）分別固接于箱體（1）的內壁底部左右兩側，所述第一豎桿（501）的內壁設有第二豎桿（502），所述第二豎桿（502）的外壁與第一豎桿（501）的內壁間隙配合，兩個所述第二豎桿（502）分別固接于橫板（3）的底部左右兩側，所述第一豎桿（501）的內壁設有第一彈簧（503），所述第一彈簧（503）的一端固接于第一豎桿（501）的內壁，所述第一彈簧（503）的另一端固接于第二豎桿（502）的外壁，所述第一豎桿（501）的一端設有斜塊（504），所述斜塊（504）的一端與第一豎桿（501）的一端固接在一起，所述斜塊（504）的頂部貼合有第一滑輪（505），所述第一滑輪（505）的外壁設有第一橫桿（506），所述第一橫桿（506）通過連接軸與第一滑輪（505）轉動相連，所述第一橫桿（506）的外壁間隙配合有第二橫桿（507），兩個所述第二橫桿（507）分別固接于橫板（3）的底部左右兩側，所述第二橫桿（507）的內壁設有第二彈簧（508），所述第二彈簧（508）的一端固接于第二橫桿（507）的內壁，所述第二彈簧（508）的另一端固接于第一橫桿（506）的外壁；

所述橫板（3）的底部設有增強機構（6）；

所述增強機構（6）包括支桿（601）、第二滑輪（602）和第一拉簧（603）；

兩個所述支桿（601）設于橫板（3）的底部，兩個所述支桿（601）通過連接軸與橫板（3）轉動相連，兩個所述支桿（601）的底部均設有第二滑輪（602），兩個所述第二滑輪（602）分別通過連接軸與支桿（601）轉動相連，兩個所述第二滑輪（602）的外壁與箱體（1）的內壁底部相貼合，兩個所述支桿（601）的外壁固接有第一拉簧（603）；

所述橫板（3）的頂部設有固定機構（7）；

所述固定機構（7）包括第一桿體（701）、板體（702）、第二拉簧（703）、第二桿體（704）、第三桿體（705）和手柄（706）；

兩個所述第一桿體（701）分別設于橫板（3）的頂部左右兩側，兩個所述第一桿體（701）均通過連接軸與橫板（3）轉動相連，所述第一桿體（701）的一端固接有第二拉簧（703），所述第二拉簧（703）的底部固接于橫板（3）的頂部，兩個所述第一桿體（701）的頂部均固接有板體（702），兩個所述板體（702）分別與刻蝕機（4）的外壁左右兩側相貼合，兩個所述第一桿體（701）的外壁一端均設有第二桿體（704），所述第二桿體（704）通過連接軸與第一桿體（701）轉動相連，所述第二桿體（704）的外壁一端設有第三桿體（705），所述第三桿體（705）通過連接軸與第二桿體（704）轉動相連，所述第三桿體（705）通過連接軸與橫板（3）轉動相連，兩個所述第三桿體（705）的外壁均設有手柄（706），兩個所述手柄（706）的內壁分別與兩個第三桿體（705）的外壁套接在一起。

3.根據權利要求1所述的一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機，其特征在于：所述第一豎桿（501）的內壁和第二豎桿（502）的外壁之間的間隙為0.5-1mm。

4.根據權利要求1所述的一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機，其特征在于：兩個所述第一豎桿（501）關于橫板（3）軸對稱分布。

5.根據權利要求1所述的一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機，其特征在于：所述板體（702）與刻蝕機（4）貼合處固接有橡膠墊。

6.一種具有限位機構的集成電路用刻蝕機的使用方法，其特征在于：當使用該具有限位機構的集成電路用刻蝕機時，當刻蝕機4進行工作產生震動時，會將震動力傳遞至橫板3，并通過橫板3的震動，使得橫板3帶動第二豎桿502在第一豎桿501的內壁進行升降運動，同時，橫板3帶動第二橫桿507進行升降運動，使得第二橫桿507帶動第一橫桿506和第一滑輪505與斜塊504進行接觸，使得第一橫桿506在第二橫桿507的內壁進行左右移動，兩個支桿601受到橫板3的震動，使得兩個支桿601通過第二滑輪602進行張合，使得第一彈簧503、第二彈簧508和第一拉簧603進行壓縮，進而對刻蝕機4進行緩沖，避免刻蝕機4進行工作時，會產生震動，可能會造成移動或內部零件長時間受到震動，損壞或松動，并通過第二拉簧703給予第一桿體701帶動板體702對刻蝕機4進行抵緊固定貼合，使得刻蝕機4可穩定的放置在橫板3的頂部，提高放置穩定性。