[發(fā)明專(zhuān)利]一種93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)及其檢測(cè)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110234625.4
• 申請(qǐng)日: 2021-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113075521A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 傅郁曉;楊恭亁;駢文勝;路峰;關(guān)姜維
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海偉測(cè)半導(dǎo)體科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/26
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/26;H01L21/66
• 代理公司: 上海領(lǐng)洋專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 31292
• 代理人: 羅曉鵬

1.一種93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，其中所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)包括：

一參數(shù)采集單元，其中所述參數(shù)采集單元包括一測(cè)試機(jī)參數(shù)模塊和一待測(cè)晶圓參數(shù)采集模塊，其中所述測(cè)試機(jī)參數(shù)采集模塊和所述待測(cè)晶圓參數(shù)采集模塊分別被設(shè)置能夠采集93K測(cè)試機(jī)的配制信息和待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息；

一處理單元，其中所述處理單元包括一轉(zhuǎn)錄模塊和一分析模塊，其中所述轉(zhuǎn)錄模塊被可通信地連接于所述測(cè)試機(jī)采集模塊，所述轉(zhuǎn)錄模塊預(yù)設(shè)晶圓生產(chǎn)廠商記載晶圓測(cè)試項(xiàng)有關(guān)的模板所定義的一比對(duì)模板，所述轉(zhuǎn)錄模塊被設(shè)置能夠自動(dòng)地接收經(jīng)由采集而獲取的所述93K測(cè)試機(jī)的配制信息，并將所述配制信息轉(zhuǎn)錄于所述比對(duì)模板，所述分析模塊被分別可通信地連接于所述轉(zhuǎn)錄模塊，且所述分析模塊被可通信地連接于所述待測(cè)晶圓參數(shù)采集模塊，所述分析模塊被設(shè)置能夠接收經(jīng)由采集而獲取的所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息和轉(zhuǎn)錄于所述比對(duì)模板中的信息，并且將獲取的所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息自動(dòng)地進(jìn)行比對(duì)，以形成當(dāng)前93K測(cè)試機(jī)能否對(duì)所述待測(cè)晶圓進(jìn)行測(cè)試有關(guān)的比對(duì)結(jié)果；和

一輸出單元，所述輸出單元被可通信地連接于所述分析模塊，以輸出所述比對(duì)結(jié)果。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)還包括一推薦單元，所述推薦單元包括一推薦模塊，所述推薦模塊被可通信地連接于所述分析模塊和所述輸出單元，所述推薦模塊根據(jù)所述分析模塊形成的比對(duì)結(jié)果，推薦一涵蓋了所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試機(jī)，所述輸出單元能夠輸出所述推薦模塊涵蓋了所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的93K測(cè)試機(jī)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述推薦模塊還包括一組合模塊，所述組合模塊被可通信地連接于所述分析模塊，所述組合模塊能夠?qū)λ龇治瞿K形成的比對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析，在所述分析模塊形成的比對(duì)結(jié)果中沒(méi)有涵蓋了所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的一個(gè)93K測(cè)試機(jī)時(shí)，將任意預(yù)定數(shù)量的所述93K測(cè)試機(jī)相對(duì)應(yīng)的所述比對(duì)模板中的信息組合后與所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息進(jìn)行比較，以形成相應(yīng)地分析結(jié)果，所述輸出單元被設(shè)置能夠輸出涵蓋所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息的預(yù)定數(shù)量的所述93K測(cè)試機(jī)的相關(guān)信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)定數(shù)量為2。

5.一種93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性的檢測(cè)方法，其特征在于，其包括以下步驟：

(S1)分別被設(shè)置能夠采集93K測(cè)試機(jī)的配制信息和待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息；

(S2)自動(dòng)地接收經(jīng)由采集而獲取的所述93K測(cè)試機(jī)的配制信息，并將所述配制信息轉(zhuǎn)錄于晶圓生產(chǎn)廠商記載晶圓測(cè)試項(xiàng)有關(guān)的模板所定義的一比對(duì)模板；

(S3)比對(duì)所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息和轉(zhuǎn)錄于所述比對(duì)模板中的信息；和

(S4)輸出所述比對(duì)結(jié)果。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性的檢測(cè)方法，其特征在于，所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性的檢測(cè)方法還包括步驟：

根據(jù)形成的比對(duì)結(jié)果，推薦一涵蓋了所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試機(jī)；和

輸出推薦的所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的測(cè)試機(jī)

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性的檢測(cè)方法，其特征在于，所述93K測(cè)試機(jī)與待測(cè)產(chǎn)品的匹配性的檢測(cè)方法還包括步驟：

在所述分析模塊形成的比對(duì)結(jié)果中沒(méi)有涵蓋了所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)的一個(gè)93K測(cè)試機(jī)時(shí)，將任意預(yù)定數(shù)量的所述93K測(cè)試機(jī)相對(duì)應(yīng)的所述比對(duì)模板中的信息組合后與所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息進(jìn)行比較，以形成相應(yīng)地分析結(jié)果；和

輸出涵蓋所述待測(cè)晶圓的測(cè)試項(xiàng)有關(guān)信息的預(yù)定數(shù)量的所述93K測(cè)試機(jī)的相關(guān)信息。