[發明專利]掩膜版、硅基OLED顯示面板及其制備方法

有效

• 申請號: 202110231858.9
• 申請日: 2021-03-02
• 公開（公告）號: CN113036064B
• 公開（公告）日: 2022-11-29
• 發明（設計）人: 張久杰;季淵
• 申請（專利權）人: 南京昀光科技有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32;B41M5/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發明實施例提供了一種掩膜版、硅基OLED顯示面板及其制備方法，其中掩膜版包括掩膜版本體，掩膜版本體包括開孔區，開孔區包括多個開孔，開孔采用激光打孔工藝形成。采用激光打孔工藝形成的開孔尺寸較小，利用掩膜版掩膜時可以形成滿足硅基OLED顯示面板中發光器件尺寸的發光層，進而使得采用該掩膜版進行發光層制備后可以形成不同顏色的發光層，使得硅基OLED顯示面板無需設置濾光層，進而提高硅基OLED顯示面板的透過率；相應的，硅基OLED顯示面板中發光器件無需太高的發光亮度即可保證正常彩色顯示，進而降低硅基OLED顯示面板的功耗。

技術領域

本發明實施例涉及顯示技術領域，尤其涉及一種掩膜版、硅基OLED顯示面板及其制備方法。

背景技術

隨著顯示技術的發展，有機發光顯示技術應用也越來越廣泛。硅基有機發光顯示面板具有像素尺寸小，像素密度高的優勢，在軍用場所、VR/AR以及自動駕駛等領域應用廣泛。

目前微顯示技術一般采用白色發光層加彩色濾光片的硅基OLED顯示面板結構，但由于彩色濾光片透過率較低，導致硅基OLED顯示面板中發光器件需要較高的亮度以及功耗才可實現正常彩色顯示。

發明內容

本發明提供一種掩膜版、硅基OLED顯示面板及其制備方法，以實現硅基 OLED顯示面板彩色顯示的基礎上，提高硅基OLED顯示面板的透過率并降低硅基OLED顯示面板的功耗。

第一方面，本發明實施例提供了一種掩膜版，包括：掩膜版本體，所述掩膜版本體包括開孔區所述開孔區包括多個開孔，所述開孔采用激光打孔工藝形成。

可選的，所述開孔的側壁與所述掩膜版本體的設定表面的角度等于90度，其中，所述設定表面為所述掩膜版本體的垂直于所述掩膜版厚度方向的表面。

可選的，所述掩膜版的厚度與所述開孔的尺寸負相關。

可選的，所述掩膜版的厚度大于或等于20μm。

第二方面，本發明實施例提供了一種硅基OLED顯示面板的制備方法，包括：利用掩膜版作為掩膜在像素限定層的開口中形成發光層，其中，至少兩個所述開口中所述發光層的顏色不同；所述掩膜版為第一方面提供的掩膜版。

可選的，利用掩膜版作為掩膜在像素限定層的開口中形成發光層，包括：

所述利用掩膜版作為掩膜，采用噴墨打印工藝在像素限定層的開口中形成發光層。

可選的，所述發光層至少包括紅色發光層、綠色發光層和藍色發光層；所述利用掩膜版作為掩膜，采用噴墨打印工藝在像素限定層的開口中形成發光層，包括：

將整面連續無開孔的待處理版體焊接于張網框架，以使所述待處理版體覆蓋形成有電極層和像素限定層的基板；

在正對于所述像素限定層的對應于所述設定顏色發光層的開口位置處，采用激光打孔工藝形成開孔得到所述設定顏色發光層對應的所述掩膜版；

在所述掩膜版遠離所述基板的一側，采用噴墨打印裝置的打印噴頭向所述開口中打印所述設定顏色發光層；

所述設定顏色發光層為紅色發光層、綠色發光層和藍色發光層中的任一種。

可選的，所述噴墨打印裝置包括多個所述打印噴頭，各所述打印噴頭線性排布。

可選的，所述像素限定層的開口的尺寸為1-2微米。

可選的，所述掩膜版的開孔尺寸小于所述像素限定層的開口的尺寸。

第三方面，本發明實施例提供了一種硅基OLED顯示面板，其特征在于，采用任一項所述的硅基OLED顯示面板的制備方法制備。