[發(fā)明專利]一種檢測(cè)設(shè)備及光學(xué)檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110229773.7
• 申請(qǐng)日: 2021-03-02
• 公開（公告）號(hào): CN113008794B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張?bào)w瑞;楊云仙;谷孝東;劉麗麗;劉華雷;曹葵康;溫延培
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/01
• 分類號(hào): G01N21/01;G01N21/88
• 代理公司: 上海華誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本發(fā)明公開了一種檢測(cè)設(shè)備及光學(xué)檢測(cè)方法，檢測(cè)設(shè)備包括功能外箱、減震臺(tái)架、平臺(tái)模組和光學(xué)檢測(cè)裝置；平臺(tái)模組包括移載裝置和氣浮平臺(tái)；所述移載裝置跨設(shè)在所述氣浮平臺(tái)上以對(duì)待測(cè)件在進(jìn)料口與檢測(cè)工位之間移送，光學(xué)檢測(cè)裝置包括主檢相機(jī)組件、復(fù)檢相機(jī)組件和定位相機(jī)組件。光學(xué)檢測(cè)方法包括放料初定位、待測(cè)件進(jìn)料、檢測(cè)定位、圖譜匹配并初檢、復(fù)檢獲取檢測(cè)結(jié)果、檢測(cè)完成并退料。設(shè)備通過主檢相機(jī)組件、復(fù)檢相機(jī)組件、定位相機(jī)組件執(zhí)行檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同規(guī)格待測(cè)件的定位、初檢和復(fù)檢，定位導(dǎo)航準(zhǔn)確，臺(tái)架吸振性好，設(shè)備成本低檢測(cè)效率和精度高，提高了整機(jī)的功能集成度，整機(jī)故障率低且便于維護(hù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備及其零部件技術(shù)，尤其涉及一種檢測(cè)設(shè)備及光學(xué)檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

對(duì)于computer-計(jì)算機(jī)、通信-communication、消費(fèi)類電子產(chǎn)品-consumerelectronics等3C產(chǎn)品的主板及顯示器(如FPC、flexible printed circuit，柔性印刷電路板，F(xiàn)PD、flat panel display-平板顯示器)的制造過程中，需要對(duì)各工藝過程中的零部件進(jìn)行檢測(cè)，而這類檢測(cè)中用的最多的是光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。其基本構(gòu)造包括進(jìn)料、檢測(cè)、下料等，以此完成對(duì)待測(cè)件的缺陷檢測(cè)和/或尺寸測(cè)量等。

然而，隨著檢測(cè)設(shè)備越來越高的精度要求和多功能集成要求，如現(xiàn)有技術(shù)中，面對(duì)大面積待測(cè)件，F(xiàn)PD板等的檢測(cè)，目前的方案是采用線排多個(gè)CCD相機(jī)的方式，這顯然造成了成本的大幅增加；另一方案為采用單個(gè)相機(jī)加拖鏈實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行圖像掃描檢測(cè)，這種方式對(duì)往復(fù)運(yùn)動(dòng)的速率要求太高；上述方案單一，對(duì)精密檢測(cè)的高精度要求無法滿足，且對(duì)于拖鏈往復(fù)運(yùn)動(dòng)的模式，待測(cè)件無法確保定位高精度，也造成檢測(cè)精度的降低。

此外，傳統(tǒng)的傳送機(jī)構(gòu)容易對(duì)待測(cè)件產(chǎn)生劃痕，且采用氣動(dòng)方式容易造成機(jī)臺(tái)與外罩的震動(dòng)，導(dǎo)致精度降低。大幅面采用多排多列矩陣排布的吸嘴，容易對(duì)待測(cè)件基板留下印痕。

再者，傳統(tǒng)的定位導(dǎo)航僅采用機(jī)械靠位機(jī)構(gòu)，精度達(dá)不到要求。

因此，針對(duì)大幅面的待測(cè)件基板，亟需一種低成本、多功能、高精度的檢測(cè)設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)設(shè)備及光學(xué)檢測(cè)方法，其能解決上述問題。

本發(fā)明的目的采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種檢測(cè)設(shè)備，檢測(cè)設(shè)備包括功能外箱、減震臺(tái)架、平臺(tái)模組和光學(xué)檢測(cè)裝置；其中，所述減震臺(tái)架、平臺(tái)模組和光學(xué)檢測(cè)裝置非剛性連接或間隔的設(shè)置在所述功能外箱內(nèi)；所述平臺(tái)模組和光學(xué)檢測(cè)裝置設(shè)置在所述減震臺(tái)架上；所述平臺(tái)模組設(shè)置在所述減震臺(tái)架上，所述平臺(tái)模組包括移載裝置和氣浮平臺(tái)；所述移載裝置跨設(shè)在所述氣浮平臺(tái)上以對(duì)待測(cè)件在進(jìn)料口與檢測(cè)工位之間移送，氣浮平臺(tái)用于待測(cè)件的氣浮承載及定位，且平臺(tái)模組的浮動(dòng)平面度為±20μm；所述光學(xué)檢測(cè)裝置設(shè)置在所述平臺(tái)模組檢測(cè)工位的上方，用于待測(cè)件的檢測(cè)；其中所述光學(xué)檢測(cè)裝置包括主檢相機(jī)組件、復(fù)檢相機(jī)組件和定位相機(jī)組件，用于待測(cè)件的定位、初檢和復(fù)檢。

優(yōu)選的，所述功能外箱包括外架箱、電控箱組件、氣控箱組件和操作端組件，所述外架箱為三排雙段箱體結(jié)構(gòu)，左排為進(jìn)出料位，中排為檢測(cè)位，右排為電氣供給位，上段為操控檢測(cè)段，下段為控制柜段；其中，在所述外架箱上集成設(shè)置所述電控箱組件、氣控箱組件和操作端組件；在外架箱左端設(shè)為進(jìn)料位，所述電控箱組件設(shè)置在外架箱后端下段內(nèi)側(cè)，所述氣控箱組件嵌設(shè)在外架箱右端面，所述操作端組件嵌設(shè)在外架箱前端左上段。