[發明專利]一種檢測設備及光學檢測方法

有效

• 申請號: 202110229773.7
• 申請日: 2021-03-02
• 公開（公告）號: CN113008794B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 張體瑞;楊云仙;谷孝東;劉麗麗;劉華雷;曹葵康;溫延培
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種檢測設備，其特征在于：檢測設備包括功能外箱（1000）、減震臺架（2000）、平臺模組（3000）和光學檢測裝置（4000）；其中，所述減震臺架（2000）、平臺模組（3000）和光學檢測裝置（4000）非剛性連接或間隔的設置在所述功能外箱（1000）內；所述平臺模組（3000）和光學檢測裝置（4000）設置在所述減震臺架（2000）上；

所述功能外箱（1000）包括外架箱（1100）、電控箱組件（1200）、氣控箱組件（1300）和操作端組件（1400），所述外架箱（1100）為三排雙段箱體結構，左排為進出料位，中排為檢測位，右排為電氣供給位，上段為操控檢測段，下段為控制柜段；其中，在所述外架箱（1100）上集成設置所述電控箱組件（1200）、氣控箱組件（1300）和操作端組件（1400）；在外架箱（1100）左端設為進料位，所述電控箱組件（1200）設置在外架箱（1100）后端下段內側，所述氣控箱組件（1300）嵌設在外架箱（1100）右端面，所述操作端組件（1400）嵌設在外架箱（1100）前端左上段；

所述減震臺架（2000）包括下鋼架（2100）、減震支撐組件（2200）、臺架承載臺板（2300）、檢測承載底柱（2400）和頂升模組（2500），所述下鋼架（2100）、減震支撐組件（2200）和臺架承載臺板（2300）自下而上依此設置，所述頂升模組（2500）設置臺架承載臺板（2300）開設的頂升缺口處，用于接收并頂升待測件；

所述平臺模組（3000）設置在所述減震臺架（2000）上，所述平臺模組包括移載裝置（3100）和氣浮平臺（3200）；所述移載裝置（3100）跨設在所述氣浮平臺（3200）上以對待測件在進料口與檢測工位之間移送，氣浮平臺（3200）用于待測件的氣浮承載及定位，且平臺模組（3000）的浮動平面度為±20μm；

所述移載裝置（3100）包括兩組相對設置的無塵拖鏈（3110）、電氣控制臺組（3120）、側邊靠位組件（3130）、預檢組件（3140）、端靠位組件（3150）和吸盤組件（3160）；所述側邊靠位組件（3130）、預檢組件（3140）和吸盤組件（3160）設置在所述電氣控制臺組（3120）上；兩組相對設置的側邊靠位組件（3130）對待測件進行側邊定位，兩組預檢組件（3140）檢測并判定吸盤組件（3160）上是否有待測件并對待測件進行瑕疵預檢測；兩組相對設置的端靠位組件（3150）對待測件進行前后端定位；兩組相對設置的吸盤組件（3160）形成矩形布置以將整張待測件水平支撐，通過負壓將位于吸盤上的待測件吸附并隨拖鏈運動輸送待測件；

所述氣浮平臺（3200）采用分段式結構，從前往后依次包括搬運段氣浮組件（3210）、過渡段氣浮組件（3220）和精密段氣浮組件（3230）三段，其中，三段氣浮組件的安裝平面度|?|關系為|?_搬運|≥|?_過渡|＞|?_精密|；三段氣浮組件的上浮高度H_f為：H_f搬運=150μm~250μm，H_f過渡=100μm~200μm，H_f精密=30μm~70μm；三段氣浮組件的上浮平面度絕對值|?_f|關系為|?_f搬運|＞|?_f過渡|＞|?_f精密|；

所述光學檢測裝置（4000）設置在所述平臺模組（3000）檢測工位的上方，用于待測件的檢測；

其中所述光學檢測裝置（4000）包括主檢相機組件（4100）、復檢相機組件（4200）和定位相機組件（4300），用于待測件的定位、初檢和復檢。

2.根據權利要求1所述的檢測設備，其特征在于：其中，所述頂升模組（2500）包括頂升底座（2510）、同步器（2520）、頂升電機（2530）、頂升上架（2540）、頂針組（2550）和頂升光纖組件（2560），其中，同步器（2520）設置在頂升底座（2510）的四角上，頂升電機（2530）與同步器（2520）的頂面平齊設置；通過型材搭建的頂升上架（2540）支撐在所述頂升電機（2530）和同步器（2520）上，頂針組（2550）可拆卸的布置在所述頂升上架（2540）上；兩組頂升光纖組件（2560）設置在頂升上架（2540）的對角線端部用以檢測是否接收待測件并初步檢測是否存在破損。