[發明專利]一種管靶材及其用途

在審

• 申請號: 202110227697.6
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113025971A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;侯娟華
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C4/067;C23C4/16
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種管靶材，其特征在于，所述管靶材包括管體及內孔；

所述內孔兩端分別設置有第一螺孔和第二螺孔；

所述第一螺孔內設置有第一螺紋；

所述第二螺孔內設置有第二螺紋；

所述管體側面設置有鉻硅合金層。

2.根據權利要求1所述的管靶材，其特征在于，所述管靶材的材質包括SUS304不銹鋼。

3.根據權利要求1或2所述的管靶材，其特征在于，所述管體的外徑為65～75mm；

優選地，所述管體的長度為360～380mm。

4.根據權利要求1～3任一項所述的管靶材，其特征在于，所述鉻硅合金層設置于管體側面的中部；

優選地，所述鉻硅合金層的長度為305～315mm；

優選地，所述鉻硅合金層的厚度為2.5～3.5mm；

優選地，所述鉻硅合金中鉻和硅的質量比為(2～3.5):(4～8)。

5.根據權利要求1～4任一項所述的管靶材，其特征在于，所述第一螺孔包括第一螺孔一段和第一螺孔二段；

優選地，所述第一螺孔二段靠近內孔設置；

優選地，所述第一螺紋設置于第一螺孔二段。

6.根據權利要求5所述的管靶材，其特征在于，所述第一螺孔一段的長度為1.5～2.5mm；

優選地，所述第一螺孔一段的內徑為66～68mm；

優選地，所述第一螺孔二段的長度為17.5～18.5mm；

優選地，所述第一螺紋的規格包括M60×2。

7.根據權利要求1～6任一項所述的管靶材，其特征在于，所述內孔的內徑為55～57mm。

8.根據權利要求1～7任一項所述的管靶材，其特征在于，所述第二螺孔包括第二螺孔一段和第二螺孔二段；

優選地，所述第二螺孔二段靠近內孔設置；

優選地，所述第二螺紋設置于第二螺孔二段。

9.根據權利要求8所述的管靶材，其特征在于，所述第二螺孔一段的長度為1.5～2.5mm；

優選地，所述第二螺孔一段的內徑為66～68mm；

優選地，所述第二螺孔二段的長度為17.5～18.5mm；

優選地，所述第二螺紋的規格包括M60×2。

10.一種如權利要求1～9任一項所述的管靶材在濺射鍍膜中的用途。