[發明專利]晶體電光開關及其制作方法

有效

• 申請號: 202110227397.8
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN113031315B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 王世武;李建宏;聶奕;黃波
• 申請（專利權）人: 青島海泰光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/03
• 分類號: G02F1/03;H01S3/115
• 代理公司: 青島海知譽知識產權代理事務所(普通合伙) 37290
• 代理人: 張曉琳

1.一種晶體電光開關，其特征在于，包括開關主體部分，所述主體部分包括：

電光晶體主體，沿其軸向兩側端面為晶體第一透光面和晶體第二透光面；

凝膠膜：包括設置在第一透光面的第一凝膠膜和設置在第二透光面的第二凝膠膜；所述凝膠膜經排水分和氣氛處理；所述凝膠膜具有抗潮特性，可避免電光晶體與水分子接觸；

窗口片：包括第一窗口片和第二窗口片，每個窗口片均包括第一端面和與第一端面相對的第二端面，第一窗口片的第一端面側設置在第一凝膠膜側，第二窗口片的第一端面側設置在第二凝膠膜側；

沿第一窗口片的外周側和第二窗口片的外周側設置有金屬電極膜；

第一窗口片的第二端面側和和第二窗口片的第二端面側均設置有增透膜。

2.如權利要求1所述的晶體電光開關，其特征在于：所述晶體光電開關還包括殼體，包括殼體腔，主體部分可插入至殼體腔內；殼體上設置有電極柱，所述電極柱的位置被配置為，當主體部分插入殼體腔后，兩個電極柱分別與第一窗口片的金屬電極膜及第二窗口片的金屬電極膜連接。

3.如權利要求1所述的晶體電光開關，其特征在于：第一凝膠膜覆蓋第一透光面，第二凝膠膜覆蓋第二透光面，第一凝膠膜和第二凝膠膜的厚度均小于0.002毫米，第一凝膠膜和第二凝膠膜的厚度差小于0.001毫米。

4.如權利要求1所述的晶體電光開關，其特征在于：第一透光面和第二透光面的平面度均小于λ/8；

第一窗口片的第一端面及第二窗口片的第一端面的平面度均小于λ/8；

其中λ為測量窗口片平面度所采用的激光的波長。

5.如權利要求1所述的晶體電光開關，其特征在于：設定折射率閾值，電光晶體主體、凝膠膜、窗口片三者中，任意兩者之間折射率的差均在折射率閾值范圍內。

6.一種晶體電光開關的制作方法，用于權利要求1至5中晶體電光開關的制作，其特征在于，包括以下步驟：

分別在第一窗口片的第二端面側和第二窗口片的第二端面側鍍增透膜；

分別在第一窗口片外周側和第二窗口片外周側鍍金屬電極膜；

分別在第一窗口片的第一端面側和第二窗口片的第一端面側涂布凝膠膜；

將電光晶體主體粘貼在第一窗口片凝膠膜和第二窗口片凝膠膜之間；

對凝膠膜進行排水分和氣氛處理。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，對凝膠膜進行排水分和氣氛處理的方法包括：

將晶體電光開關置于真空環境中進行處理；

所述真空環境的氣壓低于0.2，溫度為70 ℃ -90 ℃ ；

所述處理時間不小于2小時。

8.如權利要求6所述的方法，其特征在于，進一步包括以下步驟：

將電光晶體主體粘貼在凝膠膜之間，對電光晶體主體的第一透光面和第二透光面進行拋光處理，使第一透光面的平面度和第二透光面的平面度均小于λ/8，光潔度大于10/5。

9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，進一步包括以下步驟：

對第一窗口片的第一端面和第二窗口片的第一端面進行拋光處理，使兩端面的平面度均小于λ/8。