[發(fā)明專利]一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物及蝕刻設(shè)備清洗工藝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110224947.0
• 申請日: 2021-03-01
• 公開（公告）號: CN113025333B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邵勇;徐楊;朱永剛;顧維忠;彭聰;胡生望
• 申請（專利權(quán)）人: 四川江化微電子材料有限公司
• 主分類號: C09K13/06
• 分類號: C09K13/06;H01L21/306
• 代理公司: 無錫堅恒專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32348
• 代理人: 杜興

本發(fā)明公開了一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物，主要組分為堿性組分、螯合劑、pH值調(diào)節(jié)劑和水，螯合劑主要組成為螯合劑A和螯合劑B，螯合劑A為選自氨基多羧酸及其鹽中的至少一種，螯合劑B為羥基多羧酸及其鹽中的至少一種，改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物的pH值為9.5～10.5。本發(fā)明改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物采用復(fù)配螯合劑體系，利用兩種螯合劑在草酸銦溶解劑組合物體系下具有協(xié)同的螯合性能，增加草酸銦的溶解度并且提高溶解速率。本發(fā)明還公開了一種基于草酸銦溶解劑組合物的蝕刻設(shè)備清洗工藝。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子化學(xué)品技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物及蝕刻設(shè)備清洗工藝。

背景技術(shù)

草酸型蝕刻液與ITO膜的作用機理是通過草酸的螯合效應(yīng)，將ITO、IZO的主要成分銦絡(luò)合形成草酸銦從而進(jìn)行溶解蝕刻。上述蝕刻液的長期連續(xù)使用，會導(dǎo)致草酸銦不能完全溶解在蝕刻液中并沉積在濕法蝕刻的裝置內(nèi)，具體的草酸銦結(jié)晶會沉積到配管、閥門、過濾器、泵、噴嘴、基板轉(zhuǎn)移輥、蝕刻機臺、緩沖液罐內(nèi)壁等位置，沉積草酸銦的裝置會影響后續(xù)蝕刻效果。

CN101876076A公開了一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物及其清洗方法，組合物中包含堿性成分以及從氨基多羧酸及其鹽中選擇的1種或2種以上的水溶液。溶解劑組合物的pH為9～11，組合物中組分的優(yōu)選含量為從氨基多羧酸中選擇的化合物的濃度為1～20重量％；從氨基多羧酸胺鹽組成的群中選擇的化合物的濃度為1～20重量％，氨基多羧酸是從乙二胺二乙酸、乙二胺四乙酸、二乙烯三胺五乙酸、三乙烯四胺六乙酸、反式-1，2-環(huán)己烷二胺四乙酸中選擇的；氨基多羧酸的鹽為乙二胺二乙酸、乙二胺四乙酸、二乙烯三胺五乙酸、三乙烯四胺六乙酸、反式-1，2-環(huán)己烷二胺四乙酸的胺鹽；堿性成分為氨、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化四甲基銨的任意一種。CN101876076A的具體實施方式部分記載，基于相同的堿性物質(zhì)組成，乙二胺四乙酸的濃度越大，草酸銦的溶解量越大，其中乙二胺四乙酸的含量達(dá)10％、氨5％、pH值為10.7時，40℃下攪拌4小時，草酸銦的溶解量達(dá)5.7％。即pH值達(dá)到10-11附近的氨濃度5～10重量％范圍內(nèi)，草酸銦溶解量顯示出最大值。

進(jìn)一步的，CN109234072A中公開了通過在溶解體系中加入氯離子加速溶解草酸銦的技術(shù)方案，但是氯離子的加入容易造成設(shè)備的鹵素污染，影響后期銅制程或者鋁制程工藝蝕刻。如何提高溶解量和溶解速率，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要攻克的技術(shù)問題之一。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的之一在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物，上述組分中采用復(fù)配的螯合劑，提高草酸銦的溶解速度和溶解量。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物，主要組分為堿性組分、螯合劑、pH值調(diào)節(jié)劑和水，所述螯合劑主要組成為螯合劑A和螯合劑B，所述螯合劑A為選自氨基多羧酸及其鹽中的至少一種，所述螯合劑B為羥基多羧酸及其鹽中的至少一種，所述改進(jìn)的草酸銦溶解劑組合物的pH值為9.5～10.5。

優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述堿性組分為季銨堿、氨水和弱酸銨鹽中的一種或兩種以上的組合。

優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述螯合劑A為選自氨基多羧酸中的至少一種，所述螯合劑B為羥基多羧酸中的至少一種。

優(yōu)選的技術(shù)方案為，所述氨基多羧酸包括乙二胺四乙酸、亞氨基二琥珀酸、二乙基三胺五乙酸、氮川三乙酸；和/或所述羥基多羧酸包括檸檬酸、羥基檸檬酸、酒石酸、蘋果酸。

優(yōu)選的技術(shù)方案為，以草酸銦溶解劑組合物的重量為100％計，所述堿性組分的重量百分比為3～15％，所述螯合劑的重量百分比為3～15％，所述螯合劑A的重量百分比不小于螯合劑B的重量百分比。

優(yōu)選的技術(shù)方案為，以草酸銦溶解劑組合物的重量為100％計，，所述螯合劑A的重量百分比為3～7％，所述螯合劑B的重量百分比為3～7％。更優(yōu)選的，螯合劑A的重量百分比為4～6％，所述螯合劑B的重量百分比為4～6％。