[發(fā)明專利]一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110224910.8
• 申請(qǐng)日: 2021-03-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113013066A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周志剛;王靜強(qiáng);徐福興;黃錫欽;陳亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，其特征在于，包括圓晶接收流水線、烘干組件、抓料組件以及碼垛包裝組件，所述烘干組件包括吹風(fēng)機(jī)和數(shù)個(gè)龍門支架，所述數(shù)個(gè)龍門支架架設(shè)在晶圓接收流水線上方，每個(gè)所述龍門支架的橫梁底部均設(shè)置有風(fēng)腔，且每個(gè)所述風(fēng)腔的底部表面均成型有數(shù)個(gè)出風(fēng)口，所述吹風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口通過(guò)分歧管路與數(shù)個(gè)風(fēng)腔連接，所述抓料組件包括伺服直線模組、工業(yè)機(jī)器人和吸附頭，所述伺服直線模組設(shè)置在晶圓接收流水線的一側(cè)，且所述工業(yè)機(jī)器人連接設(shè)置在伺服直線模組上，所述吸附頭設(shè)置在工業(yè)機(jī)器人的執(zhí)行端上，所述碼垛包裝組件包括碼垛載臺(tái)和數(shù)個(gè)碼垛箱，所述碼垛載臺(tái)上成型有數(shù)個(gè)定位槽，所述數(shù)個(gè)碼垛箱對(duì)應(yīng)放置在數(shù)個(gè)定位槽內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，其特征在于，所述圓晶接收流水線的臺(tái)面具體由過(guò)濾篩網(wǎng)制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，其特征在于，所述分歧管路包括一主管路和數(shù)個(gè)與主管路連通的數(shù)個(gè)支管路，所述主管路與吹風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連接，數(shù)個(gè)所述數(shù)個(gè)支管路對(duì)應(yīng)與數(shù)個(gè)風(fēng)腔連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，其特征在于，每個(gè)所述定位槽的前后兩側(cè)均設(shè)置有一夾緊組件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，其特征在于，每個(gè)所述夾緊組件均包括有一伸縮氣缸和一夾緊板，且每個(gè)所述伸縮氣缸的伸縮軸均與夾緊板固接。