[發(fā)明專(zhuān)利]一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110224910.8
• 申請(qǐng)日: 2021-03-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113013066A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周志剛;王靜強(qiáng);徐福興;黃錫欽;陳亮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，包括圓晶接收流水線、烘干組件、抓料組件以及碼垛包裝組件，烘干組件包括吹風(fēng)機(jī)和數(shù)個(gè)龍門(mén)支架，數(shù)個(gè)龍門(mén)支架架設(shè)在晶圓接收流水線上方，每個(gè)龍門(mén)支架的橫梁底部均設(shè)置有風(fēng)腔，且每個(gè)風(fēng)腔的底部表面均成型有數(shù)個(gè)出風(fēng)口，吹風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口通過(guò)分歧管路與數(shù)個(gè)風(fēng)腔連接，抓料組件包括伺服直線模組、工業(yè)機(jī)器人和吸附頭，伺服直線模組設(shè)置在晶圓接收流水線的一側(cè)，且工業(yè)機(jī)器人連接設(shè)置在伺服直線模組上，吸附頭設(shè)置在工業(yè)機(jī)器人的執(zhí)行端上，碼垛包裝組件包括碼垛載臺(tái)和數(shù)個(gè)碼垛箱，本發(fā)明能將清洗結(jié)束后的晶圓進(jìn)行烘干回收，并且還能實(shí)現(xiàn)對(duì)其自動(dòng)下料包裝，工作效率較高，能降低企業(yè)的清洗成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置。

背景技術(shù)

早在50年代初期，晶圓清洗對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)的重要性就已經(jīng)引起人們的高度重視，這是由于晶圓表面的污染物會(huì)嚴(yán)重影響器件的性能、可靠性和成品率，因此晶圓清洗成為了晶圓生產(chǎn)的重要步驟，然而在晶圓清洗結(jié)束后需要人工對(duì)其進(jìn)行回收卸料，這樣的工作效率相對(duì)較低，還提高了企業(yè)的生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：為了解決背景技術(shù)中存在的不足，所以本發(fā)明公開(kāi)了一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置。

技術(shù)方案：一種晶圓清洗用自動(dòng)回收裝置，包括圓晶接收流水線、烘干組件、抓料組件以及碼垛包裝組件，所述烘干組件包括吹風(fēng)機(jī)和數(shù)個(gè)龍門(mén)支架，所述數(shù)個(gè)龍門(mén)支架架設(shè)在晶圓接收流水線上方，每個(gè)所述龍門(mén)支架的橫梁底部均設(shè)置有風(fēng)腔，且每個(gè)所述風(fēng)腔的底部表面均成型有數(shù)個(gè)出風(fēng)口，所述吹風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口通過(guò)分歧管路與數(shù)個(gè)風(fēng)腔連接，所述抓料組件包括伺服直線模組、工業(yè)機(jī)器人和吸附頭，所述伺服直線模組設(shè)置在晶圓接收流水線的一側(cè)，且所述工業(yè)機(jī)器人連接設(shè)置在伺服直線模組上，所述吸附頭設(shè)置在工業(yè)機(jī)器人的執(zhí)行端上，所述碼垛包裝組件包括碼垛載臺(tái)和數(shù)個(gè)碼垛箱，所述碼垛載臺(tái)上成型有數(shù)個(gè)定位槽，所述數(shù)個(gè)碼垛箱對(duì)應(yīng)放置在數(shù)個(gè)定位槽內(nèi)。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述圓晶接收流水線的臺(tái)面具體由過(guò)濾篩網(wǎng)制成。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，所述分歧管路包括一主管路和數(shù)個(gè)與主管路連通的數(shù)個(gè)支管路，所述主管路與吹風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連接，數(shù)個(gè)所述數(shù)個(gè)支管路對(duì)應(yīng)與數(shù)個(gè)風(fēng)腔連接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，每個(gè)所述定位槽的前后兩側(cè)均設(shè)置有一夾緊組件。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方式，每個(gè)所述夾緊組件均包括有一伸縮氣缸和一夾緊板，且每個(gè)所述伸縮氣缸的伸縮軸均與夾緊板固接。

本發(fā)明實(shí)現(xiàn)以下有益效果：

發(fā)明能將清洗結(jié)束后的晶圓進(jìn)行烘干回收，并且還能實(shí)現(xiàn)對(duì)其自動(dòng)下料包裝，工作效率較高，能降低企業(yè)的清洗成本。

附圖說(shuō)明

此處的附圖被并入說(shuō)明書(shū)中并構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)的一部分，示出了符合本公開(kāi)的實(shí)施例，并于說(shuō)明書(shū)一起用于解釋本公開(kāi)的原理。

圖1為本發(fā)明公開(kāi)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明公開(kāi)的局部側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

實(shí)施例