[發(fā)明專利]張網(wǎng)方法及張網(wǎng)裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110217987.2 | 申請日： | 2021-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN113005401A | 公開（公告）日： | 2021-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 付佳;王騰雨;趙晶晶 | 申請（專利權(quán)）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258 | 代理人： | 段月欣 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 方法 裝置 | ||
本申請實施例提供一種張網(wǎng)方法及張網(wǎng)裝置。本申請實施例第一方面中的張網(wǎng)方法，包括：提供通用蒸鍍掩膜，通用蒸鍍掩膜包括邊緣和由邊緣圍合且具有多個蒸鍍開口的網(wǎng)格狀遮擋部，邊緣在自身延伸方向上具有相繼分布的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段，蒸鍍區(qū)段與蒸鍍開口對應(yīng)，遮擋區(qū)段與遮擋部對應(yīng)；對邊緣提供均值張網(wǎng)拉力使得通用蒸鍍掩膜沿張網(wǎng)方向進(jìn)行張網(wǎng)，均值張網(wǎng)拉力向邊緣的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段均提供相同的張力，以使蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段平行等齊的沿張網(wǎng)方向移動。使得多個遮擋部沿張網(wǎng)方向的伸長量相同。保證通用蒸鍍掩膜中的多個蒸鍍開口的形變均一性，提高通用蒸鍍掩膜的張網(wǎng)準(zhǔn)確度，從而提高蒸鍍精度，提高顯示面板的顯示質(zhì)量以及可靠性。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及掩膜張網(wǎng)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種張網(wǎng)方法及張網(wǎng)裝置。
背景技術(shù)
具有有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示面板的顯示模組因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺式計算機(jī)等各種消費性電子產(chǎn)品。
一般的，采用蒸鍍工藝制備OLED顯示面板時，容易由于蒸鍍不良以及蒸鍍精度低造成顯示面板顯示質(zhì)量低、顯示面板可靠性不良等問題。
因此，急需一種新的張網(wǎng)方法及張網(wǎng)裝置。
發(fā)明內(nèi)容
本申請實施例提供一種張網(wǎng)裝置及張網(wǎng)方法。
本申請實施例第一方面提供的張網(wǎng)方法，包括：
提供通用蒸鍍掩膜，通用蒸鍍掩膜包括邊緣和由邊緣圍合且具有多個蒸鍍開口的網(wǎng)格狀遮擋部，邊緣在自身延伸方向上具有相繼分布的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段，蒸鍍區(qū)段與蒸鍍開口對應(yīng)，遮擋區(qū)段與遮擋部對應(yīng)；
對邊緣提供均值張網(wǎng)拉力使得通用蒸鍍掩膜沿張網(wǎng)方向進(jìn)行張網(wǎng)，均值張網(wǎng)拉力向邊緣的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段均提供相同的張力，以使蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段平行等齊的沿張網(wǎng)方向移動。
本申請第一方面提供的張網(wǎng)方法，在通用掩膜張網(wǎng)過程中，使得通用掩膜的邊緣中蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段平行等齊沿張網(wǎng)方向移動，使得通用蒸鍍蒸鍍掩膜中多個遮擋部沿張網(wǎng)方向也進(jìn)行平行等齊伸長，使得多個遮擋部沿張網(wǎng)方向的伸長量相同。保證通用蒸鍍掩膜中的多個蒸鍍開口的形變均一性，提高通用蒸鍍掩膜的張網(wǎng)準(zhǔn)確度，從而提高蒸鍍精度，提高顯示面板的顯示質(zhì)量以及可靠性。
在本申請第一方面的一種可能實施方式中，提供通用蒸鍍掩膜的步驟中，
邊緣圍合形成矩形結(jié)構(gòu)，在第一張網(wǎng)方向上具有相對的第一邊緣，第一邊緣對應(yīng)多個沿第二張網(wǎng)方向延伸的第一遮擋部；在第二張網(wǎng)方向上具有相對的第二邊緣，第二邊緣對應(yīng)多個沿第一張網(wǎng)方向延伸的第二遮擋部，第一張網(wǎng)方向與第二張網(wǎng)方向相互垂直。
在本申請第一方面的一種可能實施方式中，對邊緣提供均值張網(wǎng)拉力使得通用蒸鍍掩膜沿張網(wǎng)方向進(jìn)行張網(wǎng)，均值張網(wǎng)拉力向邊緣的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段均提供相同的張力，以使蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段平行等齊的沿張網(wǎng)方向移動的步驟，包括：
固定相對設(shè)置的兩個第一邊緣中的一者，對相對設(shè)置的兩個第一邊緣中的另一者提供第一均值張網(wǎng)拉力，使得通用蒸鍍掩膜沿第二張網(wǎng)方向張網(wǎng)；或者，
對相對設(shè)置的兩個第一邊緣均提供第一均值張網(wǎng)拉力，使得通用蒸鍍掩膜沿第二張網(wǎng)方向張網(wǎng)。
在本申請第一方面的一種可能實施方式中，對邊緣提供均值張網(wǎng)拉力使得通用蒸鍍掩膜沿張網(wǎng)方向進(jìn)行張網(wǎng)，均值張網(wǎng)拉力向邊緣的蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段均提供相同的張力，以使蒸鍍區(qū)段和遮擋區(qū)段平行等齊的沿張網(wǎng)方向移動的步驟中：
采用第一拉伸機(jī)構(gòu)提供第一均值張網(wǎng)拉力，第一拉伸機(jī)構(gòu)具有設(shè)置于第一邊緣的第一貼合部，在第二張網(wǎng)方向上，第一貼合部在通用蒸鍍掩膜上的正投影覆蓋至少部分第一邊緣，在第一邊緣自身延伸方向上、第一貼合部在通用蒸鍍掩膜上的正投影覆蓋第一邊緣中各蒸鍍區(qū)段以及各遮擋區(qū)段；
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
