[發明專利]張網方法及張網裝置

在審

• 申請號: 202110217987.2
• 申請日: 2021-02-26
• 公開（公告）號: CN113005401A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 付佳;王騰雨;趙晶晶
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 段月欣

1.一種張網方法，其特征在于，包括：

提供通用蒸鍍掩膜，所述通用蒸鍍掩膜包括邊緣和由所述邊緣圍合且具有多個蒸鍍開口的網格狀遮擋部，所述邊緣在自身延伸方向上具有相繼分布的蒸鍍區段和遮擋區段，所述蒸鍍區段與所述蒸鍍開口對應，所述遮擋區段與所述遮擋部對應；

對所述邊緣提供均值張網拉力使得所述通用蒸鍍掩膜沿張網方向進行張網，所述均值張網拉力向所述邊緣的所述蒸鍍區段和遮擋區段均提供相同的張力，以使所述蒸鍍區段和所述遮擋區段平行等齊的沿所述張網方向移動。

2.根據權利要求1所述的張網方法，其特征在于，所述提供通用蒸鍍掩膜的步驟中，

所述邊緣圍合形成矩形結構，在第一張網方向上具有相對的第一邊緣，所述第一邊緣對應多個沿第二張網方向延伸的第一遮擋部；在第二張網方向上具有相對的第二邊緣，所述第二邊緣對應多個沿第一張網方向延伸的第二遮擋部，所述第一張網方向與所述第二張網方向相互垂直。

3.根據權利要求2所述的張網方法，其特征在于，所述對所述邊緣提供均值張網拉力使得所述通用蒸鍍掩膜沿張網方向進行張網，所述均值張網拉力向所述邊緣的所述蒸鍍區段和遮擋區段均提供相同的張力，以使所述蒸鍍區段和所述遮擋區段平行等齊的沿所述張網方向移動的步驟，包括：

固定相對設置的兩個所述第一邊緣中的一者，對所述相對設置的兩個所述第一邊緣中的另一者提供所述第一均值張網拉力，使得所述通用蒸鍍掩膜沿所述第二張網方向張網；或者，

對所述相對設置的兩個所述第一邊緣均提供所述第一均值張網拉力，使得所述通用蒸鍍掩膜沿所述第二張網方向張網。

4.根據權利要求3所述的張網方法，其特征在于，所述對所述邊緣提供均值張網拉力使得所述通用蒸鍍掩膜沿張網方向進行張網，所述均值張網拉力向所述邊緣的所述蒸鍍區段和遮擋區段均提供相同的張力，以使所述蒸鍍區段和所述遮擋區段平行等齊的沿所述張網方向移動的步驟中：

采用第一拉伸機構提供所述第一均值張網拉力，所述第一拉伸機構具有設置于所述第一邊緣的第一貼合部，在所述第二張網方向上，所述第一貼合部在所述通用蒸鍍掩膜上的正投影覆蓋至少部分所述第一邊緣，在所述第一邊緣自身延伸方向上、所述第一貼合部在所述通用蒸鍍掩膜上的正投影覆蓋所述第一邊緣中各所述蒸鍍區段以及各所述遮擋區段；

優選的，所述第一貼合部為整體式結構，或者所述第一貼合部由多個第一子貼合部構成。

5.根據權利要求4所述的的張網方法，其特征在于，所述對所述邊緣提供均值張網拉力使得所述通用蒸鍍掩膜沿張網方向進行張網，所述均值張網拉力向所述邊緣的所述蒸鍍區段和遮擋區段均提供相同的張力，以使所述蒸鍍區段和所述遮擋區段平行等齊的沿所述張網方向移動的步驟中：

所述第一貼合部采用夾持方式設置于所述第一邊緣；或者，所述第一貼合部采用焊接方式設置于所述第一邊緣；或者，所述第一貼合部采用磁力吸附的方式設置于所述第一邊緣。

6.根據權利要求2所述的張網方法，其特征在于，所述對所述邊緣提供均值張網拉力使得所述通用蒸鍍掩膜沿張網方向進行張網，所述均值張網拉力向所述邊緣的所述蒸鍍區段和遮擋區段均提供相同的張力，以使所述蒸鍍區段和所述遮擋區段平行等齊的沿所述張網方向移動的步驟，包括：

固定相對設置的兩個所述第二邊緣中的一者，對所述相對設置的兩個所述第二邊緣中的另一者提供所述第二均值張網拉力，使得所述通用蒸鍍掩膜沿所述第一張網方向張網；或者，

對所述相對設置的兩個所述第二邊緣均提供所述第二均值張網拉力，使得所述通用蒸鍍掩膜沿所述第一張網方向張網。