[發明專利]一種掩膜板組件

有效

• 申請號: 202110216696.1
• 申請日: 2021-02-26
• 公開（公告）號: CN113025956B
• 公開（公告）日: 2022-12-20
• 發明（設計）人: 劉佳寧;白珊珊;畢娜;劉華猛;關新興
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 金俊姬

本發明涉及顯示技術領域，公開了一種掩膜板組件，該掩膜板組件包括：支撐框架和覆蓋于支撐框架上的掩膜層，掩膜層包括多個間隔分布的掩膜條；支撐框架包括：外框、以及設于外框上的多個間隔分布的遮擋條；遮擋條的延伸方向與掩膜條的延伸方向相同，遮擋條的排列方向與掩膜條的排列方向相同，每個掩膜條搭接于相鄰的兩個遮擋條上；遮擋條包括遮擋層和位于遮擋層遠離掩膜層一側的第一支撐層；第一支撐層在掩膜層上的正投影位于遮擋層在掩膜層上的正投影內；第一支撐層的材料的磁性小于遮擋層的材料的磁性。該掩膜板組件中，掩膜條在搭接區域和搭接區域附近所受的壓力差距較小，使掩膜條吸附更平整，提高蒸鍍的均勻性，降低蒸鍍過程中的混色風險。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種掩膜板組件。

背景技術

OLED是當下顯示器件研究熱門領域之一，應用范圍也越來越廣泛，在制備OLED顯示面板的過程中，需要采用真空蒸鍍技術制備有機發光材料層，蒸鍍過程設置永磁體構件和掩膜板，掩膜板設置在框架上，其中掩膜板中多個掩膜條，相鄰的掩膜條之間設置有遮擋條，遮擋條既可以遮擋也可以起到支撐作用，但是，目前現有的掩膜板中，遮擋條與永磁體構件之間的磁力較大，使得遮擋條與掩膜條搭接區域的磁力與掩膜條蒸鍍區域的磁力相差較大，掩膜條與遮擋條的搭接區域的部分吸附不平整，在蒸鍍時容易產生蒸鍍不良。

發明內容

本發明公開了一種掩膜板組件，該掩膜板組件中，遮擋條具有遮擋層和第一支撐層，既可以對兩個相鄰的掩膜條之間的間隙起到很好的遮擋作用，還可以對掩膜條起到良好的支撐作用，有效減小掩膜條在搭接區域和搭接區域附近所受的壓力差距，是掩膜條吸附更為平整，提高蒸鍍圖案的均勻性，降低蒸鍍過程中的混色風險，提高蒸鍍質量，并且還可以有效減輕顯示面板上的隔墊層損傷。

為達到上述目的，本發明提供以下技術方案：

一種掩膜板組件，包括：支撐框架和覆蓋于所述支撐框架上的掩膜層，所述掩膜層包括多個間隔分布的掩膜條；

所述支撐框架包括：外框、以及設于所述外框上的多個間隔分布的遮擋條；所述遮擋條的延伸方向與所述掩膜條的延伸方向相同，且所述遮擋條的排列方向與所述掩膜條的排列方向相同，每個所述掩膜條搭接于相鄰的兩個所述遮擋條上，所述遮擋條用于遮擋相鄰的兩個所述掩膜條之間的間隙；

其中，所述遮擋條包括遮擋層和位于所述遮擋層遠離所述掩膜層一側的第一支撐層；所述第一支撐層在所述掩膜層上的正投影位于所述遮擋層在所述掩膜層上的正投影內；所述第一支撐層的材料的磁性小于所述遮擋層的材料的磁性。