[發明專利]用于裝、卸裝置的基板庫在審
| 申請號: | 202110215286.5 | 申請日: | 2021-02-25 |
| 公開(公告)號: | CN113371370A | 公開(公告)日: | 2021-09-10 |
| 發明(設計)人: | J·萊納;K·曼格 | 申請(專利權)人: | 亞席斯自動化系統有限公司 |
| 主分類號: | B65G1/04 | 分類號: | B65G1/04;H05K7/14;H05K13/00;H05K13/02 |
| 代理公司: | 北京市磐華律師事務所 11336 | 代理人: | 董巍 |
| 地址: | 德國多爾*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 卸裝 基板庫 | ||
1.一種用于生產線的裝、卸裝置的基板庫系統(1),其具有至少一個基板庫(2),基板庫(2)具有兩個彼此間隔開且彼此平行的側壁(13,14),在兩個側壁(13,14)之間設有多個上下疊置的抽屜(15),其中,所述抽屜(15)設置用于分別存儲一個或多個平坦的基板(18),以及其中,每個抽屜(15)分別通過兩個導軌(16,17)形成,該兩個導軌(16,17)彼此間隔開且相對地設置在所述側壁(13,14)上,其中,至少一個側壁(14)能夠移動地安裝以使兩個側壁(13,14)之間的凈寬能夠改變,以及具有至少一個基板處理裝置(3),所述至少一個基板庫(2)為處理基板(18)而設置在該基板處理裝置(3)上或其上方,其特征在于,所述基板處理裝置(3)具有第一致動器(28),該第一致動器(28)通過能操作的聯接件(34)與能夠移動的側壁(14)聯接并使可移動的側壁(14)在聯接的狀態下移動。
2.根據權利要求1所述的基板庫系統,其特征在于,所述基板庫(2)具有配屬于所述可移動的側壁(14)的主軸驅動器(22),該主軸驅動器(22)通過所述聯接件(34)能夠與所述第一致動器(28)聯接。
3.根據權利要求1或2所述的基板庫系統,其特征在于,所述主軸驅動器(22)具有驅動主軸(23),驅動主軸(23)在自由端上具有第一聯接元件(33),以及所述第一致動器(28)具有驅動軸(29),驅動軸(29)在自由端上具有第二聯接元件(30),其中,所述第一聯接元件(33)和所述第二聯接元件(30)共同形成所述能操作的聯接件(34)。
4.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述聯接元件(30)中的至少一個聯接元件為建立或解除聯接而被設計為可移動的。
5.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述可移動的聯接元件(30)配有用于使其移動的第二致動器(32)。
6.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述基板處理單元(3)具有所述第一致動器和/或所述第二致動器(32)。
7.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述第一聯接元件(33)和第二聯接元件(30)形成摩擦聯接件。
8.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述第一聯接元件(33)和第二聯接元件(30)形成爪形聯接件。
9.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述第二聯接元件(30)在所述驅動軸(29)上不可轉動地且能軸向移動地設置。
10.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述第一致動器(28)構成為電機。
11.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述基板處理單元(3)具有存放臺(6),在該存放臺(6)上能設置至少一個基板庫(2)。
12.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述存放臺(6)具有引導裝置(7),通過該引導裝置(7)能夠將所述至少一個基板庫(2)在所述存放臺(6)上引導到最終位置,在該最終位置中所述基板庫(2)的第一聯接元件(33)和第二聯接元件(30)彼此相對置。
13.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述基板處理單元(3)構成為用于生產線的裝載和/或卸載裝置。
14.根據前述權利要求中任一項所述的基板庫系統,其特征在于,所述基板處理單元(3)構成為運輸車輛。
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