[發(fā)明專利]一種EML芯片及光模塊在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110206578.2 | 申請(qǐng)日: | 2021-02-24 |
| 公開(公告)號(hào): | CN114976872A | 公開(公告)日: | 2022-08-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 章力明;王火雷 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01S5/34 | 分類號(hào): | H01S5/34;H01S5/00;H01S5/187;G02B6/42 |
| 代理公司: | 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯長(zhǎng)明;許偉群 |
| 地址: | 266555 山東省青*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 eml 芯片 模塊 | ||
本申請(qǐng)?zhí)峁┑腅ML芯片及光模塊,EML芯片用于光模塊;所述EML芯片包括:襯底;DFB?MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方;EAM?MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方,所述EAM?MQW層的首端連接所述DFB?MQW層的末端;光柵層,設(shè)置在所述DFB?MQW層的上方;InP包層,設(shè)置在所述EAM?MQW層和所述光柵層的上方,且所述InP包層的上方設(shè)置有電隔離區(qū),所述電隔離區(qū)的左側(cè)設(shè)置DFB正電極和EML負(fù)電極,所述DFB正電極位于所述DFB?MQW層的上方,所述電隔離區(qū)的右側(cè)設(shè)置EAM正電極,所述EAM正電極位于所述EAM?MQW層的上方。本申請(qǐng)實(shí)施例的EML芯片及光模塊,充分提高光發(fā)射調(diào)制速率。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種EML芯片及光模塊。
背景技術(shù)
在云計(jì)算、移動(dòng)互聯(lián)網(wǎng)、視頻等新型業(yè)務(wù)和應(yīng)用模式,均會(huì)用到光通信技術(shù)。而在光通信中,光模塊是實(shí)現(xiàn)光電信號(hào)相互轉(zhuǎn)換的工具,是光通信設(shè)備中的關(guān)鍵器件之一,光模塊向外部光纖中輸入的光信號(hào)強(qiáng)度直接影響光纖通信的質(zhì)量。并且隨著5G網(wǎng)絡(luò)的快速發(fā)展,處于光通信核心位置的光模塊得到了長(zhǎng)足的發(fā)展,產(chǎn)生了形式多樣的光模塊。
其中,對(duì)于光模塊的信號(hào)發(fā)射,可以采用VCSEL(Vertical Cavity SurfaceEmitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)、EML(Electlro-absorption ModulatedLaser,電吸收調(diào)制半導(dǎo)體激光器)等類型的信號(hào)發(fā)射方式。對(duì)于采用EML的信號(hào)發(fā)射方式的光模塊,其帶寬大于50GHz、調(diào)制速率達(dá)到80Gb/s-100Gb/s,在光通信發(fā)展中有著非常廣闊的發(fā)展前景。
發(fā)明內(nèi)容
本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種EML芯片及光模塊,充分提高光發(fā)射調(diào)制速率。
第一方面,本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环NEML芯片,用于光模塊,包括:
襯底;
DFB-MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方;
EAM-MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方,所述EAM-MQW層的首端連接所述DFB-MQW層的末端;
光柵層,設(shè)置在所述DFB-MQW層的上方;
InP包層,設(shè)置在所述EAM-MQW層和所述光柵層的上方,且所述InP包層的上方設(shè)置有電隔離區(qū),所述電隔離區(qū)的左側(cè)設(shè)置DFB正電極和EML負(fù)電極,所述DFB正電極位于所述DFB-MQW層的上方,所述電隔離區(qū)的右側(cè)設(shè)置EAM正電極,所述EAM正電極位于所述EAM-MQW層的上方。
第二方面,本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N光模塊,包括:
電路板;
光發(fā)射部件,與所述電路板電連接,用于產(chǎn)生并輸出信號(hào)光,包括EML芯片;
其中,所述EML芯片包括:
襯底;
DFB-MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方;
EAM-MQW層,設(shè)置在所述襯底的上方,所述EAM-MQW層的首端連接所述DFB-MQW層的末端;
光柵層,設(shè)置在所述DFB-MQW層的上方;
InP包層,設(shè)置在所述EAM-MQW層和所述光柵層的上方,且所述InP包層的上方設(shè)置有電隔離區(qū),所述電隔離區(qū)的左側(cè)設(shè)置DFB正電極和EML負(fù)電極,所述DFB正電極位于所述DFB-MQW層的上方,所述電隔離區(qū)的右側(cè)設(shè)置EAM正電極,所述EAM正電極位于所述EAM-MQW層的上方。
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