[發(fā)明專利]反射微鏡陣列的測試方法及測試裝置

有效

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• 申請日: 2021-02-23
• 公開（公告）號: CN113341304B
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧楊春;王雅雄;魏仁龍;趙團(tuán)偉
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾光學(xué)科技有限公司
• 主分類號: G01R31/308
• 分類號: G01R31/308;G01R31/28
• 代理公司: 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44287
• 代理人: 王韜

本發(fā)明公開一種反射微鏡陣列的測試方法及測試裝置，包括以下步驟：提供一光源設(shè)備，所述光源設(shè)備向反射微鏡陣列的無微鏡陣列區(qū)域發(fā)出預(yù)設(shè)波長的檢測光束，通過蓋玻璃反射將反射微鏡陣列與檢測光束垂直，平移反射微鏡陣列，將所述檢測光束所形成的激光光斑調(diào)整到反射微鏡陣列的微鏡陣列區(qū)域，形成閃耀光柵的二維衍射光斑；以及根據(jù)所述閃耀光柵的參數(shù)生成反射微鏡陣列的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果。本發(fā)明通過采用光源設(shè)備向反射微鏡陣列發(fā)出檢測光束，將反射微鏡陣列看成一個閃耀角為偏轉(zhuǎn)角，光柵常數(shù)為微鏡尺寸的二維閃耀光柵，通過計(jì)算閃耀光柵的參數(shù)，獲得反射微鏡陣列的檢測結(jié)果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片測試領(lǐng)域，特別涉及一種反射微鏡陣列的測試方法及測試裝置。

背景技術(shù)

DLP（Digital?Lighting?Processing?數(shù)字光處理）技術(shù)是美國TI(TexasInstruments)公司研究開發(fā)的，該技術(shù)目前廣泛應(yīng)用在大中小型投影機(jī)中，作為投影的核心顯示芯片技術(shù)，該技術(shù)主要的器件DMD（Digital?Micromirror?Device）的核心是反射微鏡陣列。光源發(fā)出的光照射到DMD微鏡陣列面上，每一個微鏡陣列按照顯示需求可切換成打開（on）狀態(tài)或者關(guān)閉（off）狀態(tài)，on和off態(tài)分別是芯片上電時(shí)，由微鏡陣列向不同指定方向偏轉(zhuǎn)一定角度的狀態(tài)。圖像的每一個像素的灰階差異由一個時(shí)序中on態(tài)與off態(tài)的時(shí)間差異來實(shí)現(xiàn)；圖像的顏色由不同顏色光時(shí)序照射微鏡來實(shí)現(xiàn)。

但在投影機(jī)組裝生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)，DLP顯示芯片本身的差異性，例如微鏡在on態(tài)和off態(tài)偏轉(zhuǎn)的角度，會對投影機(jī)最終亮度、對比度產(chǎn)生一定的影響，因此必須對DLP芯片的來料進(jìn)行一定的檢測，篩選出優(yōu)質(zhì)的DLP芯片，淘汰不合規(guī)格的DLP芯片。

由于DMD中的反射微鏡陣列每一個微鏡都為微米級的反射鏡，想通過幾何光學(xué)的費(fèi)馬原理驗(yàn)證微鏡的偏轉(zhuǎn)角度，則需要將微米級別的光斑照射到DMD上，再通過接收到的反射光的角度來檢驗(yàn)微鏡的偏轉(zhuǎn)角度是否符合規(guī)格，但微米級的光斑肉眼已經(jīng)無法感知，需要價(jià)格昂貴的顯微分光測定儀進(jìn)行測試，且測試光斑較小，設(shè)備操作復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是提出一種反射微鏡陣列的測試方法及測試裝置，旨在改善現(xiàn)有的反射微鏡陣列測試方法繁瑣、測試成本高的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出的反射微鏡陣列的測試方法，包括以下步驟：

提供一光源設(shè)備，所述光源設(shè)備向反射微鏡陣列的無微鏡陣列區(qū)域發(fā)出預(yù)設(shè)波長的檢測光束，通過蓋玻璃反射將反射微鏡陣列與檢測光束垂直，平移反射微鏡陣列，將所述檢測光束所形成的激光光斑調(diào)整到反射微鏡陣列的微鏡陣列區(qū)域，形成閃耀光柵的二維衍射光斑；以及

根據(jù)所述閃耀光柵的參數(shù)生成反射微鏡陣列的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果。

可選地，根據(jù)所述閃耀光柵的參數(shù)生成反射微鏡陣列的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果的步驟包括：

使反射微鏡陣列處于on狀態(tài)，得到所述閃耀光柵的參數(shù)，以生成反射微鏡陣列處于on狀態(tài)時(shí)的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果；?以及

使反射微鏡陣列處于off狀態(tài)，得到所述閃耀光柵的參數(shù)，以生成反射微鏡陣列處于off狀態(tài)時(shí)的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果。

可選地，所述閃耀光柵的參數(shù)為所述閃耀光柵的閃耀角，將所述閃耀光柵的閃耀角作為所述反射微鏡陣列的偏轉(zhuǎn)角度，并與所述反射微鏡陣列的預(yù)設(shè)偏轉(zhuǎn)角度進(jìn)行比較，以得到測試結(jié)果。

可選地，所述使反射微鏡陣列處于on狀態(tài)，得到所述閃耀光柵的參數(shù)，以生成反射微鏡陣列處于on狀態(tài)時(shí)的偏轉(zhuǎn)角度的測試結(jié)果的步驟包括：

根據(jù)光柵公式和閃耀條件計(jì)算出光譜的閃耀級次n，沿Y方向旋轉(zhuǎn)反射微鏡陣列，在反射微鏡陣列處于on狀態(tài)時(shí)，水平方向的第n級次光斑調(diào)整到與所述檢測光束重合，接收所述第n級次光斑的反射光，獲得所述第n級次光斑的反射光的反射率，并得到反射微鏡陣列沿Y向上的旋轉(zhuǎn)角度；以及