[發(fā)明專利]一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110201895.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-23
• 公開（公告）號(hào): CN112992751A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦櫻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 秦櫻
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G03F9/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開了一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括固定機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、控制面板、對(duì)準(zhǔn)箱，固定機(jī)構(gòu)嵌固在轉(zhuǎn)動(dòng)桿左側(cè)，控制面板安裝于對(duì)準(zhǔn)箱正面，轉(zhuǎn)動(dòng)桿右側(cè)卡合在對(duì)準(zhǔn)箱內(nèi)部，固定時(shí)控制環(huán)形塊內(nèi)側(cè)的伸縮桿對(duì)貼合機(jī)構(gòu)支撐，使得晶圓側(cè)面對(duì)擠壓結(jié)構(gòu)進(jìn)行擠壓，阻擋板左側(cè)頂角側(cè)面受晶圓的壓縮后進(jìn)行彎曲，避免晶圓與弧形槽貼合過(guò)緊，使壓縮板通過(guò)弧形槽減小接觸面積，增強(qiáng)對(duì)晶圓側(cè)面的摩擦力，避免貼合彈力過(guò)大，防止脫落時(shí)彈力對(duì)晶圓側(cè)面產(chǎn)生作用力，晶圓外側(cè)在摩擦塊右側(cè)中進(jìn)行貼合摩擦，使晶圓脫離活動(dòng)結(jié)構(gòu)的固定時(shí)避免產(chǎn)生側(cè)面作用力，利用摩擦力代替彈力的方法進(jìn)行固定，防止脫離對(duì)晶圓鍵合進(jìn)行錯(cuò)位。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓光刻顯影領(lǐng)域，具體涉及一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備。

背景技術(shù)

光刻機(jī)中對(duì)準(zhǔn)設(shè)備主要作用是鍵合過(guò)程的對(duì)準(zhǔn)，晶圓芯片鍵合時(shí)，芯片上的凸點(diǎn)與基板上的焊接對(duì)準(zhǔn)，然后進(jìn)行鍵合操作，由于對(duì)準(zhǔn)設(shè)備的機(jī)頭不能接觸晶圓正反兩面，并且需要快速對(duì)準(zhǔn)，繼而利用精密機(jī)械進(jìn)行對(duì)位。

在對(duì)圓形晶圓芯片采用彈性較強(qiáng)的固定塊抓取時(shí)，由于對(duì)準(zhǔn)重合的晶圓芯片精細(xì)度較高，對(duì)準(zhǔn)貼合過(guò)程中晶圓受上下平移力的作用貼合，對(duì)準(zhǔn)設(shè)備移開時(shí)彈性固定槽在彈力下對(duì)晶圓外側(cè)產(chǎn)生輕微的彈力，從而晶圓產(chǎn)生平行方向的力，導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)后的晶圓芯片出現(xiàn)移動(dòng)偏差的現(xiàn)象，造成晶圓芯片的鍵合精準(zhǔn)度降低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明通過(guò)如下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括固定機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)桿、控制面板、對(duì)準(zhǔn)箱，所述固定機(jī)構(gòu)嵌固在轉(zhuǎn)動(dòng)桿左側(cè)，所述控制面板安裝于對(duì)準(zhǔn)箱正面，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿右側(cè)卡合在對(duì)準(zhǔn)箱內(nèi)部，所述固定機(jī)構(gòu)設(shè)有貼合機(jī)構(gòu)、伸縮桿、環(huán)形塊，所述貼合機(jī)構(gòu)安裝于伸縮桿內(nèi)側(cè)，所述伸縮桿卡合在環(huán)形塊內(nèi)部，所述環(huán)形塊右側(cè)嵌固在轉(zhuǎn)動(dòng)桿左側(cè)，所述貼合機(jī)構(gòu)設(shè)有四個(gè)，以環(huán)形塊中心軸為中心環(huán)形均勻分布。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述貼合機(jī)構(gòu)設(shè)有阻擋結(jié)構(gòu)、受力板、彈簧桿、活動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述活動(dòng)結(jié)構(gòu)嵌固在阻擋結(jié)構(gòu)左側(cè)中間，所述阻擋結(jié)構(gòu)右側(cè)焊接在彈簧桿左側(cè)，所述彈簧桿右側(cè)卡合在受力板左側(cè)，所述受力板右側(cè)安裝于伸縮桿內(nèi)側(cè)，所述受力板為弧形結(jié)構(gòu)，所述彈簧桿的彈性系數(shù)大，具有不易壓縮的特性。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述阻擋結(jié)構(gòu)設(shè)有彎曲板、擠壓結(jié)構(gòu)、定型板，所述擠壓結(jié)構(gòu)安裝于彎曲板左側(cè)，所述彎曲板嵌固在定型板左側(cè)，所述定型板右側(cè)焊接在彈簧桿左側(cè)，所述彎曲板為鋁合金材質(zhì)，具有韌性強(qiáng)，彎曲力大的特性，且為弧形結(jié)構(gòu)，與擠壓結(jié)構(gòu)形成向外的開口形狀。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述擠壓結(jié)構(gòu)設(shè)有支撐結(jié)構(gòu)、支撐桿、阻擋板，所述支撐結(jié)構(gòu)嵌固在阻擋板上端，所述支撐桿貼合在阻擋板內(nèi)部，所述阻擋板安裝于彎曲板左側(cè)，所述阻擋板為鋁合金材質(zhì)，具有韌性強(qiáng)的特性，其中間內(nèi)側(cè)上端厚度較薄，且重點(diǎn)下端具有容易彎曲的效果。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐結(jié)構(gòu)設(shè)有弧形槽、壓縮板、支撐塊、活動(dòng)槽，所述弧形槽安裝于壓縮板側(cè)面，所述支撐塊位于活動(dòng)槽內(nèi)部，所述支撐塊貼合在壓縮板內(nèi)側(cè)，所述壓縮板下端嵌固在阻擋板上端，所述弧形槽為內(nèi)陷的彎曲結(jié)構(gòu)，所述活動(dòng)槽為密封狀態(tài)，所述壓縮板為橡膠材質(zhì)，具有表面摩擦力大的特性。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述活動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)有限位軸、摩擦結(jié)構(gòu)、固定塊，所述限位軸卡合在固定塊右側(cè)，所述摩擦結(jié)構(gòu)安裝于限位軸內(nèi)部，所述固定塊嵌固在阻擋結(jié)構(gòu)左側(cè)中間，所述摩擦結(jié)構(gòu)設(shè)有兩個(gè)，分布在限位軸上下兩側(cè)，且摩擦結(jié)構(gòu)為彎曲弧形結(jié)構(gòu)，所述限位軸內(nèi)部為限位彈簧。

作為本發(fā)明進(jìn)一步改進(jìn)，所述摩擦結(jié)構(gòu)設(shè)有摩擦板、防撞板、摩擦塊、固定軸，所述防撞板貼合在摩擦板右側(cè)，所述固定軸卡合在防撞板內(nèi)部，所述摩擦塊嵌固在固定軸外側(cè)，所述摩擦板左側(cè)上端安裝于限位軸內(nèi)部，所述防撞板為海綿材質(zhì)，具有摩擦力大的特性，所述摩擦塊右側(cè)表面設(shè)有半圓形橡膠塊，具有增強(qiáng)摩擦力的特性。

有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明有益效果在于：