[發(fā)明專利]一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110201895.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-23
• 公開（公告）號(hào): CN112992751A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦櫻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 秦櫻
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G03F9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括固定機(jī)構(gòu)(1)、轉(zhuǎn)動(dòng)桿(2)、控制面板(3)、對(duì)準(zhǔn)箱(4)，所述固定機(jī)構(gòu)(1)嵌固在轉(zhuǎn)動(dòng)桿(2)左側(cè)，所述控制面板(3)安裝于對(duì)準(zhǔn)箱(4)正面，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(2)右側(cè)卡合在對(duì)準(zhǔn)箱(4)內(nèi)部，其特征在于：

所述固定機(jī)構(gòu)(1)設(shè)有貼合機(jī)構(gòu)(11)、伸縮桿(12)、環(huán)形塊(13)，所述貼合機(jī)構(gòu)(11)安裝于伸縮桿(12)內(nèi)側(cè)，所述伸縮桿(12)卡合在環(huán)形塊(13)內(nèi)部，所述環(huán)形塊(13)右側(cè)嵌固在轉(zhuǎn)動(dòng)桿(2)左側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述貼合機(jī)構(gòu)(11)設(shè)有阻擋結(jié)構(gòu)(11a)、受力板(11b)、彈簧桿(11c)、活動(dòng)結(jié)構(gòu)(11d)，所述活動(dòng)結(jié)構(gòu)(11d)嵌固在阻擋結(jié)構(gòu)(11a)左側(cè)中間，所述阻擋結(jié)構(gòu)(11a)右側(cè)焊接在彈簧桿(11c)左側(cè)，所述彈簧桿(11c)右側(cè)卡合在受力板(11b)左側(cè)，所述受力板(11b)右側(cè)安裝于伸縮桿(12)內(nèi)側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述阻擋結(jié)構(gòu)(11a)設(shè)有彎曲板(a1)、擠壓結(jié)構(gòu)(a2)、定型板(a3)，所述擠壓結(jié)構(gòu)(a2)安裝于彎曲板(a1)左側(cè)，所述彎曲板(a1)嵌固在定型板(a3)左側(cè)，所述定型板(a3)右側(cè)焊接在彈簧桿(11c)左側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述擠壓結(jié)構(gòu)(a2)設(shè)有支撐結(jié)構(gòu)(a21)、支撐桿(a22)、阻擋板(a23)，所述支撐結(jié)構(gòu)(a21)嵌固在阻擋板(a23)上端，所述支撐桿(a22)貼合在阻擋板(a23)內(nèi)部，所述阻擋板(a23)安裝于彎曲板(a1)左側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述支撐結(jié)構(gòu)(a21)設(shè)有弧形槽(t1)、壓縮板(t2)、支撐塊(t3)、活動(dòng)槽(t4)，所述弧形槽(t1)安裝于壓縮板(t2)側(cè)面，所述支撐塊(t3)位于活動(dòng)槽(t4)內(nèi)部，所述支撐塊(t3)貼合在壓縮板(t2)內(nèi)側(cè)，所述壓縮板(t2)下端嵌固在阻擋板(a23)上端。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述活動(dòng)結(jié)構(gòu)(11d)設(shè)有限位軸(w1)、摩擦結(jié)構(gòu)(w2)、固定塊(w3)，所述限位軸(w1)卡合在固定塊(w3)右側(cè)，所述摩擦結(jié)構(gòu)(w2)安裝于限位軸(w1)內(nèi)部，所述固定塊(w3)嵌固在阻擋結(jié)構(gòu)(11a)左側(cè)中間。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓光刻的高精度對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，其特征在于：所述摩擦結(jié)構(gòu)(w2)設(shè)有摩擦板(w21)、防撞板(w22)、摩擦塊(w23)、固定軸(w24)，所述防撞板(w22)貼合在摩擦板(w21)右側(cè)，所述固定軸(w24)卡合在防撞板(w22)內(nèi)部，所述摩擦塊(w23)嵌固在固定軸(w24)外側(cè)，所述摩擦板(w21)左側(cè)上端安裝于限位軸(w1)內(nèi)部。