[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體的焊接方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110198805.1 | 申請(qǐng)日: | 2021-02-22 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN114951868A | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-08-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃海冰 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 東莞新科技術(shù)研究開(kāi)發(fā)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | B23K1/005 | 分類(lèi)號(hào): | B23K1/005;B23K1/20;B23K3/04;B23K3/08 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫 |
| 地址: | 523087 *** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 焊接 方法 | ||
本發(fā)明的半導(dǎo)體的焊接方法,包括:在第一焊盤(pán)上涂布焊料;第二焊盤(pán)從預(yù)定方向接觸所述第一焊盤(pán)上的所述焊料的一側(cè),形成接觸面;預(yù)熱所述焊料;在所述第一焊盤(pán)和所述第二焊盤(pán)之間對(duì)應(yīng)所述焊料的位置放置焊球;及使所述焊球熔化。該方法焊接簡(jiǎn)便,且焊接可靠性高,尤其適用于小尺寸的半導(dǎo)體間的焊接。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種半導(dǎo)體的焊接方法。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體領(lǐng)域中,常見(jiàn)的半導(dǎo)體的焊接通常在兩個(gè)焊接點(diǎn)之間配置金線或金球,通過(guò)超音波或激光焊接的方法進(jìn)行焊接。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體的體積逐漸變小而功能逐漸增加,這使得供焊接的焊盤(pán)尺寸也會(huì)變小,焊接空間/間距變窄,這樣焊接難度越來(lái)越大,帶來(lái)的不利后果例如:在采用超聲波焊接時(shí),在超聲波振蕩器前端壓入焊盤(pán)的情況下,要用大型超聲波振蕩器一次將多個(gè)焊盤(pán)超聲波壓接在一起,各焊盤(pán)的壓接的均勻性、可靠性存在問(wèn)題;而且大型超聲波振蕩器在小尺寸焊盤(pán)之間的操作難度極大;采用激光焊接時(shí),由于接觸面無(wú)法保證,熔化的焊料側(cè)流容易造成脫焊現(xiàn)象,無(wú)法保證焊接可靠性。
故此,亟需一種改進(jìn)的焊接方法以克服上述的缺陷。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體的焊接方法,其焊接簡(jiǎn)便,且焊接可靠性高,尤其適用于小尺寸的半導(dǎo)體間的焊接。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的半導(dǎo)體的焊接方法,包括:
在第一焊盤(pán)上涂布焊料;
第二焊盤(pán)從預(yù)定方向接觸所述第一焊盤(pán)上的所述焊料的一側(cè),形成接觸面;
預(yù)熱所述焊料;
在所述第一焊盤(pán)和所述第二焊盤(pán)之間對(duì)應(yīng)所述焊料的位置放置焊球;及
使所述焊球熔化。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的半導(dǎo)體的焊接方法在正式進(jìn)行焊接之前首先在兩個(gè)焊盤(pán)之間形成接觸面,而焊接進(jìn)行時(shí),先預(yù)熱軟化焊料繼而再配置焊球,即使焊接空間/間距變窄,兩個(gè)焊盤(pán)本身也可以通過(guò)接觸面首先完成導(dǎo)通和預(yù)焊接。進(jìn)而通過(guò)熔化的焊球熱量傳遞使焊料熔化,從而保證兩個(gè)半導(dǎo)體之間的焊接牢固、可靠,避免傳統(tǒng)焊接造成的脫焊現(xiàn)象。而且,本焊接方法更適用于小尺寸的半導(dǎo)體間的焊接,適應(yīng)性高。
較佳地,所述預(yù)定方向較佳地為從下往上。
較佳地,預(yù)熱所述焊料具體包括:通過(guò)氙氣燈照射所述焊料使所述焊料軟化。
較佳地,所述氙氣燈的照射條件為:所述氙氣燈的波長(zhǎng)為300-1000nm,熱能為10-25兆焦耳。
較佳地,使所述焊球熔化具體包括:通過(guò)氙氣燈照射所述焊球使所述焊球熔化。
較佳地,所述氙氣燈的照射條件為:所述氙氣燈的波長(zhǎng)為300-1000nm,熱能為30-50兆焦耳。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明半導(dǎo)體的焊接方法作進(jìn)一步說(shuō)明,但不因此限制本發(fā)明。
本發(fā)明的半導(dǎo)體的焊接方法的一個(gè)實(shí)施例包括:
在第一焊盤(pán)上涂布焊料;
第二焊盤(pán)從預(yù)定方向接觸所述第一焊盤(pán)上的所述焊料的一側(cè),形成接觸面;
預(yù)熱所述焊料;
在所述第一焊盤(pán)和所述第二焊盤(pán)之間對(duì)應(yīng)所述焊料的位置放置焊球;及
使所述焊球熔化。
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