[發(fā)明專利]一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備及其使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110190936.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN113064327A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸敏敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陸敏敏
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，包括基座和立柱，所述基座的上端四角均固接有立柱，所述立柱上端安裝有自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)，所述自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)包括底板、橫桿和彈簧，所述底板的內(nèi)壁設(shè)有多個(gè)橫桿，所述橫桿的左右兩端均與底板固定相連，所述橫桿的外壁外側(cè)設(shè)有彈簧，所述彈簧的外端與底板固定相連。該自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，結(jié)構(gòu)科學(xué)合理，使用安全方便，通過電機(jī)、第一錐齒輪、螺桿、夾板、齒輪、齒板和圓桿之間的配合，電機(jī)通過第一錐齒輪和螺桿驅(qū)動(dòng)夾板和齒輪向上移動(dòng)，齒輪在向上移動(dòng)的過程中受齒板的阻擋轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)通過圓桿帶動(dòng)夾板和工件轉(zhuǎn)動(dòng)翻面，解決了現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備不能對(duì)工件進(jìn)行快速翻面的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備。

背景技術(shù)

光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)和光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備，它采用類似照片沖印照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片硅片上。

雖然現(xiàn)有技術(shù)的光刻機(jī)能夠完成曝光印制的工作，但是在使用過程中仍然存在下列問題：

現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備不能對(duì)工件進(jìn)行快速翻面的問題；

現(xiàn)有技術(shù)不能對(duì)工件進(jìn)行中心定位的問題；

工件的安裝拆卸較為繁瑣的問題；

設(shè)備耗能過高的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備不能對(duì)工件進(jìn)行快速翻面的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，包括基座和立柱，所述基座的上端四角均固接有立柱，所述立柱上端安裝有自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)；

所述自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)包括底板、橫桿和彈簧；

所述底板位于立柱的上端，所述底板的下端四角均與立柱固定相連，所述底板的內(nèi)壁設(shè)有多個(gè)橫桿，所述橫桿的左右兩端均與底板固定相連，所述橫桿的外壁外側(cè)設(shè)有彈簧，所述彈簧的外端與底板固定相連。

優(yōu)選的，所述橫桿的外壁設(shè)有伸縮機(jī)構(gòu)；

所述伸縮機(jī)構(gòu)包括滑筒、豎桿和圓筒；

多個(gè)所述滑筒均位于橫桿的外壁，所述滑筒的上下兩側(cè)內(nèi)壁均與橫桿間隙配合，所述滑筒的外端上下兩側(cè)均與彈簧固定相連，所述滑筒的內(nèi)壁設(shè)有豎桿，所述豎桿的外壁與滑筒間隙配合，所述豎桿的上端設(shè)有圓筒，所述圓筒的下端與豎桿固定相連。

優(yōu)選的，所述豎桿與滑筒之間構(gòu)成滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述圓筒的內(nèi)壁設(shè)有翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括圓桿、夾板、齒輪、和齒板；

多個(gè)所述圓桿均位于圓筒的內(nèi)壁，所述圓桿的外壁通過軸承與圓筒轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述圓桿的內(nèi)端設(shè)有夾板，所述圓桿的內(nèi)端與夾板固定相連，所述圓桿的外端設(shè)有齒輪，所述圓桿的外端與齒輪固定相連，所述齒輪的后端內(nèi)側(cè)設(shè)有齒板，所述齒輪的后端內(nèi)側(cè)與齒板嚙合相連，所述齒板的下端與底板固定相連。

優(yōu)選的，所述夾板的極限翻轉(zhuǎn)角度為180°。

優(yōu)選的，所述圓桿的外壁設(shè)有升降機(jī)構(gòu)；

所述升降機(jī)構(gòu)包括螺紋筒、螺桿和第一錐齒輪；

多個(gè)所述螺紋筒均位于圓桿的外壁，所述螺紋筒的后側(cè)內(nèi)壁與圓桿間隙配合，所述螺紋筒的前側(cè)內(nèi)壁設(shè)有螺桿，所述螺桿的外壁中心與螺紋筒螺紋相連，所述螺桿的外壁下側(cè)通過多個(gè)軸承與底板轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述螺桿的下端設(shè)有第一錐齒輪，所述第一錐齒輪的上端中心與螺桿固定相連。

優(yōu)選的，所述底板的下端安裝有動(dòng)力機(jī)構(gòu)；

所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、聯(lián)軸器、轉(zhuǎn)軸、軸座和第二錐齒輪；