[發(fā)明專利]一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備及其使用方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110190936.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-20
• 公開（公告）號(hào): CN113064327A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸敏敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陸敏敏
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，包括基座（1）和立柱（2），所述基座（1）的上端四角均固接有立柱（2），其特征在于：所述立柱（2）上端安裝有自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)（3）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，其特征在于：

所述自動(dòng)復(fù)位機(jī)構(gòu)（3）包括底板（301）、橫桿（302）和彈簧（303）；

所述底板（301）位于立柱（2）的上端，所述底板（301）的下端四角均與立柱（2）固定相連，所述底板（301）的內(nèi)壁設(shè)有多個(gè)橫桿（302），所述橫桿（302）的左右兩端均與底板（301）固定相連，所述橫桿（302）的外壁外側(cè)設(shè)有彈簧（303），所述彈簧（303）的外端與底板（301）固定相連；

所述橫桿（302）的外壁設(shè)有伸縮機(jī)構(gòu)（4）；

所述伸縮機(jī)構(gòu)（4）包括滑筒（401）、豎桿（402）和圓筒（403）；

多個(gè)所述滑筒（401）均位于橫桿（302）的外壁，所述滑筒（401）的上下兩側(cè)內(nèi)壁均與橫桿（302）間隙配合，所述滑筒（401）的外端上下兩側(cè)均與彈簧（303）固定相連，所述滑筒（401）的內(nèi)壁設(shè)有豎桿（402），所述豎桿（402）的外壁與滑筒（401）間隙配合，所述豎桿（402）的上端設(shè)有圓筒（403），所述圓筒（403）的下端與豎桿（402）固定相連；

所述圓筒（403）的內(nèi)壁設(shè)有翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（5）；

所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（5）包括圓桿（501）、夾板（502）、齒輪（503）、和齒板（504）；

多個(gè)所述圓桿（501）均位于圓筒（403）的內(nèi)壁，所述圓桿（501）的外壁通過軸承與圓筒（403）轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述圓桿（501）的內(nèi)端設(shè)有夾板（502），所述圓桿（501）的內(nèi)端與夾板（502）固定相連，所述圓桿（501）的外端設(shè)有齒輪（503），所述圓桿（501）的外端與齒輪（503）固定相連，所述齒輪（503）的后端內(nèi)側(cè)設(shè)有齒板（504），所述齒輪（503）的后端內(nèi)側(cè)與齒板（504）嚙合相連，所述齒板（504）的下端與底板（301）固定相連；

所述底板（301）的下端安裝有動(dòng)力機(jī)構(gòu)（7）；

所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)（7）包括電機(jī)（701）、聯(lián)軸器（702）、轉(zhuǎn)軸（703）、軸座（704）和第二錐齒輪（705）；

所述電機(jī)（701）的外壁上下兩端均通過支座分別與底板（301）和基座（1）固定相連，所述電機(jī)（701）的左右兩端輸出軸均通過聯(lián)軸器（702）與轉(zhuǎn)軸（703）轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述聯(lián)軸器（702）的上端與底板（301）固定相連，所述轉(zhuǎn)軸（703）的外壁外側(cè)通過軸承與軸座（704）轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述軸座（704）的上端與底板（301）固定相連，所述轉(zhuǎn)軸（703）的外端設(shè)有第二錐齒輪（705），所述轉(zhuǎn)軸（703）的外端與第二錐齒輪（705）固定相連，所述第二錐齒輪（705）的上端外側(cè)與第一錐齒輪（603）嚙合相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，其特征在于：所述豎桿（402）與滑筒（401）之間構(gòu)成滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，其特征在于：所述夾板（502）的極限翻轉(zhuǎn)角度為180°。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，其特征在于：所述圓桿（501）的外壁設(shè)有升降機(jī)構(gòu)（6）；

所述升降機(jī)構(gòu)（6）包括螺紋筒（601）、螺桿（602）和第一錐齒輪（603）；

多個(gè)所述螺紋筒（601）均位于圓桿（501）的外壁，所述螺紋筒（601）的后側(cè)內(nèi)壁與圓桿（501）間隙配合，所述螺紋筒（601）的前側(cè)內(nèi)壁設(shè)有螺桿（602），所述螺桿（602）的外壁中心與螺紋筒（601）螺紋相連，所述螺桿（602）的外壁下側(cè)通過多個(gè)軸承與底板（301）轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述螺桿（602）的下端設(shè)有第一錐齒輪（603），所述第一錐齒輪（603）的上端中心與螺桿（602）固定相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備，其特征在于：左右兩側(cè)所述第二錐齒輪（705）和轉(zhuǎn)軸（703）沿電機(jī)（701）的豎直中心左右對(duì)稱。

7.一種自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備的使用方法，其特征在于：當(dāng)需要使用此自動(dòng)翻面的光刻機(jī)工件夾持設(shè)備時(shí)，首先使用者可以將左右兩側(cè)的夾板502向外側(cè)推動(dòng)，然后將待加工的工件放置于兩側(cè)夾板502的中心凹槽處，松開夾板502，兩側(cè)的彈簧303通過滑筒401和圓筒403推動(dòng)兩側(cè)夾板502同時(shí)向內(nèi)移動(dòng)并推動(dòng)工件移動(dòng)至設(shè)備中心，對(duì)工件進(jìn)行夾持的同時(shí)完成工件的中心定位，解決了現(xiàn)有技術(shù)不能對(duì)工件進(jìn)行中心定位的問題，同時(shí)也解決了工件的安裝拆卸較為繁瑣的問題，接通外接光刻機(jī)的電源，使用光刻機(jī)對(duì)工件進(jìn)行加工處理，當(dāng)需要對(duì)工件進(jìn)行翻面時(shí)，接通電機(jī)701的外接電源，電機(jī)701通過第一錐齒輪603和螺桿602驅(qū)動(dòng)夾板502和齒輪503向上移動(dòng)，齒輪503在向上移動(dòng)的過程中受齒板504的阻擋轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪503轉(zhuǎn)動(dòng)通過圓桿501帶動(dòng)夾板502和工件轉(zhuǎn)動(dòng)翻面，當(dāng)工件翻轉(zhuǎn)180度后將關(guān)閉電機(jī)701的電源，完成工件翻面，進(jìn)而解決了現(xiàn)有技術(shù)的設(shè)備不能對(duì)工件進(jìn)行快速翻面的問題。