[發明專利]玻璃檢測機臺

在審

• 申請號: 202110190143.3
• 申請日: 2021-02-18
• 公開（公告）號: CN112964731A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 詹雅芳;王仕宇;鄭國清
• 申請（專利權）人: 日月光半導體制造股份有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94;G01N21/958;G01N21/01
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

1.一種玻璃檢測機臺，其特征在于，包括：

載臺；

支撐件，位于所述載臺上，所述支撐件用于將所述玻璃固定在所述載臺上方，并且所述支撐件用于在所述玻璃和所述載臺之間形成空間；

取像裝置，設置在所述載臺和所述支撐件上方，所述取像裝置用于獲取和接收所述玻璃的影像。

2.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述取像裝置是電荷耦合器件(CCD)相機。

3.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述空間的高度大于所述玻璃的厚度的二倍。

4.根據權利要求1-3任一項所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述空間的高度大于600μm。

5.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述支撐件包括用于固定所述玻璃的頂部邊緣。

6.根據權利要求5所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述頂部邊緣包括共用構造成L形的縱向部和橫向部，所述玻璃放置在所述橫向部上，所述縱向部橫向圍繞所述玻璃。

7.根據權利要求6所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述縱向部的頂面與所述玻璃的頂面齊平。

8.根據權利要求6所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述縱向部的頂面高于所述玻璃的頂面。

9.根據權利要求6所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述橫向部設置有用于吸附固定所述玻璃的第一真空吸孔。

10.根據權利要求5所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述支撐件還包括連接于所述頂部邊緣的所述橫向部的十字支架，所述十字支架和所述橫向部均接觸所述玻璃。

11.根據權利要求10所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述十字支架設置有用于吸附固定所述玻璃的第二真空吸孔。

12.根據權利要求10所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述支撐件還包括連接于所述橫向部和所述十字支架的復數個延伸部，所述復數個延伸部接觸并支撐所述玻璃。

13.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述載臺的面向所述玻璃的表面涂覆有抗反射材料。

14.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述載臺、所述支撐件和所述玻璃具有相似形狀的外輪廓。

15.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，在所述載臺和所述玻璃之間存在顆粒。

16.根據權利要求15所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述顆粒位于所述載臺的上表面上并且與所述玻璃隔開。

17.根據權利要求15所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述顆粒位于所述玻璃的下表面上并且與所述載臺隔開。

18.根據權利要求15所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，在所述玻璃的上表面上也存在顆粒。

19.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述玻璃是透光的，并且所述玻璃的表面未涂覆有其他材料。

20.根據權利要求1所述的玻璃檢測機臺，其特征在于，所述空間由所述載臺、所述支撐件以及所述玻璃包圍，并且所述空間為真空的。