[發明專利]玻璃檢測機臺

在審

• 申請號: 202110190143.3
• 申請日: 2021-02-18
• 公開（公告）號: CN112964731A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 詹雅芳;王仕宇;鄭國清
• 申請（專利權）人: 日月光半導體制造股份有限公司
• 主分類號: G01N21/94
• 分類號: G01N21/94;G01N21/958;G01N21/01
• 代理公司: 北京德恒律治知識產權代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;李偉

本發明的實施例提供了一種玻璃檢測機臺，包括：載臺；支撐件，位于載臺上，支撐件用于將玻璃固定在載臺上方，并且支撐件用于在玻璃和載臺之間形成空間；取像裝置，設置在載臺和支撐件上方，取像裝置用于獲取和接收玻璃的影像。本發明的目的在于提供一種玻璃檢測機臺，以提高檢測的準確性。

技術領域

本發明的實施例涉及玻璃檢測機臺。

背景技術

在目前的半導體器件的制程中，會對封裝或線路結構等設備進行測試，在測試時會以玻璃基板為基底來進行監控，在玻璃基板上來調整參數以確認制程的可行性。在以玻璃基板作為基底之前，需要對玻璃的表面進行檢測，以避免顆粒(Particle)對后續的制程產生影響。

發明內容

針對相關技術中存在的問題，本發明的目的在于提供一種玻璃檢測機臺，以提高檢測的準確性。

為實現上述目的，本發明的實施例提供了一種玻璃檢測機臺，包括：載臺；支撐件，位于載臺上，支撐件用于將玻璃固定在載臺上方，并且支撐件用于在玻璃和載臺之間形成空間；取像裝置，設置在載臺和支撐件上方，取像裝置用于獲取和接收玻璃的影像。

在一些實施例中，取像裝置是電荷耦合器件(CCD)相機。

在一些實施例中，空間的高度大于玻璃的厚度的二倍。

在一些實施例中，空間的高度大于600μm。

在一些實施例中，支撐件包括用于固定玻璃的頂部邊緣。

在一些實施例中，頂部邊緣包括共用構造成L形的縱向部和橫向部，玻璃放置在橫向部上，縱向部橫向圍繞玻璃。

在一些實施例中，縱向部的頂面與玻璃的頂面齊平。

在一些實施例中，縱向部的頂面高于玻璃的頂面。

在一些實施例中，橫向部設置有用于吸附固定玻璃的第一真空吸孔。

在一些實施例中，支撐件還包括連接于頂部邊緣的橫向部的十字支架，十字支架和橫向部均接觸玻璃。

在一些實施例中，十字支架設置有用于吸附固定玻璃的第二真空吸孔。

在一些實施例中，支撐件還包括連接于橫向部和十字支架的復數個延伸部，復數個延伸部接觸并支撐玻璃。

在一些實施例中，載臺的面向玻璃的表面涂覆有抗反射材料。

在一些實施例中，載臺、支撐件和玻璃具有相似形狀的外輪廓。

在一些實施例中，在載臺和玻璃之間存在顆粒。

在一些實施例中，顆粒位于載臺的上表面上并且與玻璃隔開。

在一些實施例中，顆粒位于玻璃的下表面上并且與載臺隔開。

在一些實施例中，在玻璃的上表面上也存在顆粒。

在一些實施例中，玻璃是透光的，并且玻璃的表面未涂覆有其他材料。

在一些實施例中，空間由載臺、支撐件以及玻璃包圍，并且空間為真空的。

附圖說明

當結合附圖進行閱讀時，從以下詳細描述可最佳理解本發明的各個方面。應該指出，根據工業中的標準實踐，各個部件未按比例繪制。實際上，為了清楚的討論，各個部件的尺寸可以任意地增大或減小。

圖1至圖4示出了現有的機臺的結構示意圖及其成像。

圖5至圖8示出了根據本申請實施例的機臺的結構示意圖。

具體實施方式

為更好的理解本申請實施例的精神，以下結合本申請的部分優選實施例對其作進一步說明。