[發(fā)明專利]剝離裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110187593.7
• 申請日: 2021-02-18
• 公開（公告）號: CN113299580A
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 伊藤史哲
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種剝離裝置，其將保護(hù)板狀工件的一個面的保護(hù)部件從該一個面剝離，其中，

該剝離裝置具有：

保持單元，其通過保持面對該板狀工件的另一個面進(jìn)行保持；以及

剝離單元，其對覆蓋該保持面所保持的該板狀工件的該一個面的該保護(hù)部件的外周部分進(jìn)行把持，將該保護(hù)部件從該板狀工件的外周朝向中央剝離，并進(jìn)一步從該中央向該外周的相反側(cè)的外周進(jìn)行剝離，

該剝離單元包含：

把持部，其對該保護(hù)部件的外周部分進(jìn)行把持；

移動單元，其使該把持部和該保持單元沿與該保持面平行的方向相對地移動，使該把持部從該保持面的外周朝向中心并使通過了該保持面的該中心的該把持部向遠(yuǎn)離該中心的方向在一條直線上移動；以及

拉伸載荷測量部，其對施加在介于該把持部與該保持面之間的該保護(hù)部件上的拉伸載荷進(jìn)行測量，

通過由該拉伸載荷測量部測量施加于該保護(hù)部件的拉伸載荷，使該剝離單元的剝離動作最佳化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離裝置，其中，

所述拉伸載荷測量部由配設(shè)于對所述保持單元進(jìn)行支承的支承部的壓電元件構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的剝離裝置，其中，

所述拉伸載荷測量部由配設(shè)于對所述把持部進(jìn)行支承的把持部支承部的壓電元件構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的剝離裝置，其中，

所述保護(hù)部件是保護(hù)帶，

所述板狀工件在外周部分具有切口部，

所述保持單元包含局部剝離部，該局部剝離部將位于該切口部的未粘貼于該板狀工件的該保護(hù)帶頂起，使該切口部附近的該保護(hù)帶從該板狀工件剝離，

所述把持部對被該局部剝離部剝離后的該保護(hù)帶的外周部分進(jìn)行把持。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的剝離裝置，其中，

所述保護(hù)部件是保護(hù)帶，

所述剝離裝置還具有剝離帶粘貼單元，該剝離帶粘貼單元將剝離帶粘貼于該保護(hù)帶的外周部分，

所述把持部對粘貼于該保護(hù)帶的該剝離帶進(jìn)行把持來代替對該保護(hù)帶的外周部分進(jìn)行把持，所述拉伸載荷測量部對施加在與介于該把持部與該保持面之間的該保護(hù)帶成為一體的該剝離帶上的拉伸載荷進(jìn)行測量。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的剝離裝置，其中，

所述保護(hù)部件具有從所述板狀工件的外周稍微伸出的伸出部，

所述把持部對該伸出部進(jìn)行把持。