[發明專利]一種半導體制造用晶圓清洗回收裝置

有效

• 申請號: 202110181207.3
• 申請日: 2021-02-10
• 公開（公告）號: CN113035742B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;霍召軍
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種半導體制造用晶圓清洗回收裝置，包括用于支撐設備的支撐機構(1)、旋轉機構(2)、升降機構(3)，所述支撐機構(1)上方安裝有所述旋轉機構(2)，所述旋轉機構(2)后部設置有所述升降機構(3)，其特征在于：還包括清洗機構(4)、烘干機構(5)、收集機構(6)，所述清洗機構(4)設置在所述旋轉機構(2)上方，所述烘干機構(5)安裝在所述清洗機構(4)兩側，所述收集機構(6)固定在所述支撐機構(1)上；

所述清洗機構(4)包括升降箱(401)、卡槽(402)、進水管(403)、第一電磁閥(404)、排氣管(405)、第一安裝殼(406)、第一氣體過濾網(407)、固定盤(408)、支管(409)、噴頭(410)，所述升降箱(401)上設置有所述卡槽(402)，所述升降箱(401)上方安裝有所述排氣管(405)，所述排氣管(405)的數量為兩個，所述排氣管(405)上方固定有所述第一安裝殼(406)，所述第一安裝殼(406)內側固定有所述第一氣體過濾網(407)，兩個所述排氣管(405)之間設置有所述進水管(403)，所述進水管(403)上固定有所述第一電磁閥(404)，所述進水管(403)下方安裝有所述固定盤(408)，所述固定盤(408)下方安裝有所述支管(409)，所述支管(409)上固定有所述噴頭(410)；

所述烘干機構(5)包括加熱箱(501)、電阻絲(502)、鼓風機(503)、輸氣管(504)、第二安裝殼(505)、第二氣體過濾網(506)、第一單向閥(507)，所述加熱箱(501)內部安裝有所述電阻絲(502)，所述加熱箱(501)一側固定有所述鼓風機(503)，所述加熱箱(501)另一側固定有所述輸氣管(504)，所述鼓風機(503)遠離所述加熱箱(501)的一側固定有所述第二安裝殼(505)，所述第二安裝殼(505)內側固定有所述第二氣體過濾網(506)，所述輸氣管(504)上固定有所述第一單向閥(507)；

所述收集機構(6)包括固定框(601)、液體過濾網(602)、弧形板(603)、輸液管(604)、第二單向閥(605)、收集箱(606)、排液管(607)、第二電磁閥(608)，所述固定框(601)內部安裝有所述液體過濾網(602)，所述液體過濾網(602)下方設置有所述弧形板(603)，所述弧形板(603)下方固定有所述輸液管(604)，所述輸液管(604)上固定有所述第二單向閥(605)，所述固定框(601)下方安裝有所述收集箱(606)，所述收集箱(606)側面安裝有所述排液管(607)，所述排液管(607)上固定有所述第二電磁閥(608)；

所述電阻絲(502)與所述加熱箱(501)焊接，所述鼓風機(503)與所述加熱箱(501)通過螺栓連接，所述第二氣體過濾網(506)與所述第二安裝殼(505)通過螺栓連接，所述輸氣管(504)與所述加熱箱(501)焊接；

所述旋轉機構(2)包括固定殼(201)、卡環(202)、保護箱(203)、第一電機(204)、轉軸(205)、轉盤(206)、放置槽(207)、固定桿(208)，所述固定殼(201)上方安裝有所述卡環(202)，所述固定殼(201)內部設置有所述保護箱(203)，所述保護箱(203)內部固定有所述第一電機(204)，所述第一電機(204)上方安裝有所述轉軸(205)，所述轉軸(205)上方固定有所述轉盤(206)，所述轉盤(206)上設置有所述放置槽(207)，所述保護箱(203)兩側安裝有所述固定桿(208)；所述卡環(202)與所述固定殼(201)焊接且能夠插入卡槽(402)中，所述第一電機(204)與所述保護箱(203)通過螺栓連接，所述轉盤(206)與所述轉軸(205)焊接，所述固定桿(208)與所述保護箱(203)焊接，所述固定桿(208)與所述固定殼(201)焊接；

所述升降機構(3)包括固定箱(301)、升降槽(302)、第二電機(303)、螺紋桿(304)、移動套(305)、移動桿(306)，所述固定箱(301)上設置有所述升降槽(302)，所述固定箱(301)上方安裝有所述第二電機(303)，所述第二電機(303)上安裝有所述螺紋桿(304)，所述螺紋桿(304)外側設置有所述移動套(305)，所述移動套(305)前部固定有所述移動桿(306)；所述第二電機(303)與所述固定箱(301)通過螺栓連接，所述移動套(305)與所述螺紋桿(304)通過螺紋連接，所述移動桿(306)與所述移動套(305)焊接；

所述固定盤(408)與所述進水管(403)焊接，所述支管(409)與所述固定盤(408)焊接，所述支管(409)的數量為四個，所述支管(409)沿豎直方向延伸并圍繞所述轉盤(206)排布，所述噴頭(410)與所述支管(409)焊接。