[發(fā)明專(zhuān)利]一種半導(dǎo)體制造用晶圓清洗回收裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110181207.3
• 申請(qǐng)日: 2021-02-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113035742B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢(qián)誠(chéng);李剛;霍召軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京商專(zhuān)潤(rùn)文專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種半導(dǎo)體制造用晶圓清洗回收裝置，包括用于支撐設(shè)備的支撐機(jī)構(gòu)(1)、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)、升降機(jī)構(gòu)(3)，所述支撐機(jī)構(gòu)(1)上方安裝有所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)后部設(shè)置有所述升降機(jī)構(gòu)(3)，其特征在于：還包括清洗機(jī)構(gòu)(4)、烘干機(jī)構(gòu)(5)、收集機(jī)構(gòu)(6)，所述清洗機(jī)構(gòu)(4)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)上方，所述烘干機(jī)構(gòu)(5)安裝在所述清洗機(jī)構(gòu)(4)兩側(cè)，所述收集機(jī)構(gòu)(6)固定在所述支撐機(jī)構(gòu)(1)上；

所述清洗機(jī)構(gòu)(4)包括升降箱(401)、卡槽(402)、進(jìn)水管(403)、第一電磁閥(404)、排氣管(405)、第一安裝殼(406)、第一氣體過(guò)濾網(wǎng)(407)、固定盤(pán)(408)、支管(409)、噴頭(410)，所述升降箱(401)上設(shè)置有所述卡槽(402)，所述升降箱(401)上方安裝有所述排氣管(405)，所述排氣管(405)的數(shù)量為兩個(gè)，所述排氣管(405)上方固定有所述第一安裝殼(406)，所述第一安裝殼(406)內(nèi)側(cè)固定有所述第一氣體過(guò)濾網(wǎng)(407)，兩個(gè)所述排氣管(405)之間設(shè)置有所述進(jìn)水管(403)，所述進(jìn)水管(403)上固定有所述第一電磁閥(404)，所述進(jìn)水管(403)下方安裝有所述固定盤(pán)(408)，所述固定盤(pán)(408)下方安裝有所述支管(409)，所述支管(409)上固定有所述噴頭(410)；

所述烘干機(jī)構(gòu)(5)包括加熱箱(501)、電阻絲(502)、鼓風(fēng)機(jī)(503)、輸氣管(504)、第二安裝殼(505)、第二氣體過(guò)濾網(wǎng)(506)、第一單向閥(507)，所述加熱箱(501)內(nèi)部安裝有所述電阻絲(502)，所述加熱箱(501)一側(cè)固定有所述鼓風(fēng)機(jī)(503)，所述加熱箱(501)另一側(cè)固定有所述輸氣管(504)，所述鼓風(fēng)機(jī)(503)遠(yuǎn)離所述加熱箱(501)的一側(cè)固定有所述第二安裝殼(505)，所述第二安裝殼(505)內(nèi)側(cè)固定有所述第二氣體過(guò)濾網(wǎng)(506)，所述輸氣管(504)上固定有所述第一單向閥(507)；

所述收集機(jī)構(gòu)(6)包括固定框(601)、液體過(guò)濾網(wǎng)(602)、弧形板(603)、輸液管(604)、第二單向閥(605)、收集箱(606)、排液管(607)、第二電磁閥(608)，所述固定框(601)內(nèi)部安裝有所述液體過(guò)濾網(wǎng)(602)，所述液體過(guò)濾網(wǎng)(602)下方設(shè)置有所述弧形板(603)，所述弧形板(603)下方固定有所述輸液管(604)，所述輸液管(604)上固定有所述第二單向閥(605)，所述固定框(601)下方安裝有所述收集箱(606)，所述收集箱(606)側(cè)面安裝有所述排液管(607)，所述排液管(607)上固定有所述第二電磁閥(608)；

所述電阻絲(502)與所述加熱箱(501)焊接，所述鼓風(fēng)機(jī)(503)與所述加熱箱(501)通過(guò)螺栓連接，所述第二氣體過(guò)濾網(wǎng)(506)與所述第二安裝殼(505)通過(guò)螺栓連接，所述輸氣管(504)與所述加熱箱(501)焊接；

所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(2)包括固定殼(201)、卡環(huán)(202)、保護(hù)箱(203)、第一電機(jī)(204)、轉(zhuǎn)軸(205)、轉(zhuǎn)盤(pán)(206)、放置槽(207)、固定桿(208)，所述固定殼(201)上方安裝有所述卡環(huán)(202)，所述固定殼(201)內(nèi)部設(shè)置有所述保護(hù)箱(203)，所述保護(hù)箱(203)內(nèi)部固定有所述第一電機(jī)(204)，所述第一電機(jī)(204)上方安裝有所述轉(zhuǎn)軸(205)，所述轉(zhuǎn)軸(205)上方固定有所述轉(zhuǎn)盤(pán)(206)，所述轉(zhuǎn)盤(pán)(206)上設(shè)置有所述放置槽(207)，所述保護(hù)箱(203)兩側(cè)安裝有所述固定桿(208)；所述卡環(huán)(202)與所述固定殼(201)焊接且能夠插入卡槽(402)中，所述第一電機(jī)(204)與所述保護(hù)箱(203)通過(guò)螺栓連接，所述轉(zhuǎn)盤(pán)(206)與所述轉(zhuǎn)軸(205)焊接，所述固定桿(208)與所述保護(hù)箱(203)焊接，所述固定桿(208)與所述固定殼(201)焊接；

所述升降機(jī)構(gòu)(3)包括固定箱(301)、升降槽(302)、第二電機(jī)(303)、螺紋桿(304)、移動(dòng)套(305)、移動(dòng)桿(306)，所述固定箱(301)上設(shè)置有所述升降槽(302)，所述固定箱(301)上方安裝有所述第二電機(jī)(303)，所述第二電機(jī)(303)上安裝有所述螺紋桿(304)，所述螺紋桿(304)外側(cè)設(shè)置有所述移動(dòng)套(305)，所述移動(dòng)套(305)前部固定有所述移動(dòng)桿(306)；所述第二電機(jī)(303)與所述固定箱(301)通過(guò)螺栓連接，所述移動(dòng)套(305)與所述螺紋桿(304)通過(guò)螺紋連接，所述移動(dòng)桿(306)與所述移動(dòng)套(305)焊接；

所述固定盤(pán)(408)與所述進(jìn)水管(403)焊接，所述支管(409)與所述固定盤(pán)(408)焊接，所述支管(409)的數(shù)量為四個(gè)，所述支管(409)沿豎直方向延伸并圍繞所述轉(zhuǎn)盤(pán)(206)排布，所述噴頭(410)與所述支管(409)焊接。