[發明專利]一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭

在審

• 申請號: 202110180986.5
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112984245A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 胡向宇;王欽惠;王鵬;陳婷婷
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: F16L23/024
• 分類號: F16L23/024;F16L23/20;F16L23/22;B01D46/24
• 代理公司: 北京億次方科創知識產權代理有限公司 11767
• 代理人: 呂曉蓉

本申請涉及測控技術領域，具體而言，涉及一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭，法蘭體的內部設置有氣體通道，氣體通道的一端設置有管路接頭，另一端設置有過濾網；環繞過濾網，在法蘭體的端面上設置有凸起和凹槽。本發明結構簡單、安裝方便，可以同時實現氣體質量流量控制器的金屬密封、橡膠密封和氣體過濾，針對不同的氣體，可以選擇不同的密封方式；在密封方面，該設計比傳統的法蘭只多一個加工凹槽，附加加工成本基本為零，設計的過濾網，可通過激光切割快速成型，不需要多余的過濾裝置，降低了制造成本和維護成本。

技術領域

本申請涉及測控技術領域，具體而言，涉及一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭。

背景技術

氣體質量流量控制器在化工、半導體、鍍膜技術、航天等領域有重要的應用，氣體流量控制器的氣動接頭是連接流量控制器和壓力氣瓶和管道的橋梁，氣體通過法蘭進入流量控制器內的氣體通路，保證氣體的密封性和過濾性是流量控制器法蘭的關鍵用途，是質量流量控制器精確測量和不被損壞的關鍵。

針對氣體密封問題，傳統的流量控制器的法蘭的密封方法包括橡膠密封和金屬密封兩種，金屬密封具有壽命長，耐腐蝕的特點，金屬密封方法只能使用一次，橡膠密封方法，具有耐腐蝕，可反復使用的特點，缺點是其壽命較短，時間長了密封圈的材料老化，會導致流量控制系統的氣密性較差，導致系統測量不準確。考慮到不同的氣體，其腐蝕性不同，為了兼顧氣體流量控制器的金屬密封和橡膠密封的優點：長壽命、耐腐蝕、密封材料可反復使用，選擇適當的密封方式和密封材料，是氣體質量流量控制器的通用化法蘭的關鍵一步。

此外，針對氣體過濾問題，由于氣體在管道中流動時，管道內壁的雜質容易脫落混入氣體，雜質隨氣體流入氣體流量控制器，會阻塞流量控制器的毛細管，導致流量控制器的傳感器失效或遭到破壞，氣體的過濾是流量控制器安全工作的關鍵，傳統的過濾方法是在氣體管路中加入過濾裝置，但是該方法由于需要加入多余的過濾裝置，流量控制系統的制造成本和維護成本均較高。

發明內容

針對背景技術中存在的問題，本發明提供了一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭，結構簡單，可以同時實現氣體質量流量控制器的金屬密封、橡膠密封以及氣體過濾功能。

本申請提供的一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭，法蘭體的內部設置有氣體通道，氣體通道的一端設置有管路接頭，另一端設置有過濾網；環繞過濾網，在法蘭體的端面上設置有凸起和凹槽。

進一步的，過濾網為薄壁結構，與法蘭體一體成型。

進一步的，凸起為環形凸起，用于放置擠壓金屬密封圈。

進一步的，凹槽均環形凹槽，用于放置擠壓橡膠密封圈。

進一步的，法蘭體通過管路接頭與壓力瓶的氣體管路連通。

進一步的，法蘭體通過螺栓分別固定在氣體質量流量控制器的進氣端和出氣端。

本發明提供的一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭，具有以下有益效果：

本發明結構簡單、安裝方便，可以同時實現氣體質量流量控制器的金屬密封、橡膠密封和氣體過濾，針對不同的氣體，可以選擇不同的密封方式；在密封方面，該設計比傳統的法蘭只多一個加工凹槽，附加加工成本基本為零，設計的過濾網，可通過激光切割快速成型，不需要多余的過濾裝置，降低了制造成本和維護成本。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本申請的進一步理解，使得本申請的其它特征、目的和優點變得更明顯。本申請的示意性實施例附圖及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：

圖1為本申請應用于氣體質量流量控制器的法蘭的結構示意圖；

圖2為本申請應用于氣體質量流量控制器的法蘭與氣體質量流量控制器配合連接的示意圖；