[發明專利]一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭在審
| 申請號： | 202110180986.5 | 申請日： | 2021-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN112984245A | 公開（公告）日： | 2021-06-18 |
| 發明（設計）人： | 胡向宇;王欽惠;王鵬;陳婷婷 | 申請（專利權）人： | 蘭州空間技術物理研究所 |
| 主分類號： | F16L23/024 | 分類號： | F16L23/024;F16L23/20;F16L23/22;B01D46/24 |
| 代理公司： | 北京億次方科創知識產權代理有限公司 11767 | 代理人： | 呂曉蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 氣體 質量 流量 控制器 法蘭 | ||
【權利要求書】：
1.一種應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，法蘭體的內部設置有氣體通道，所述氣體通道的一端設置有管路接頭，另一端設置有過濾網；環繞所述過濾網，在所述法蘭體的端面上設置有凸起和凹槽。
2.如權利要求1所述的應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，所述過濾網為薄壁結構，與所述法蘭體一體成型。
3.如權利要求1所述的應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，所述凸起為環形凸起，用于放置擠壓金屬密封圈。
4.如權利要求1所述的應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，所述凹槽為環形凹槽，用于放置擠壓橡膠密封圈。
5.如權利要求1所述的應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，所述法蘭體通過所述管路接頭與壓力瓶的氣體管路連通。
6.如權利要求5所述的應用于氣體質量流量控制器的法蘭，其特征在于，所述法蘭體通過螺栓分別固定在氣體質量流量控制器的進氣端和出氣端。
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