[發明專利]半導體晶圓盒倉儲運輸結構系統

在審

• 申請號: 202110178441.0
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112875125A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 鄧羽辰
• 申請（專利權）人: 艾迪森科技有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04
• 代理公司: 北京中偉智信專利商標代理事務所(普通合伙) 11325
• 代理人: 張岱

本發明公開一種半導體晶圓盒倉儲運輸結構系統。主要系由晶圓盒升降運輸結構體、晶圓盒儲架結構體、手臂結構體、手臂抓取晶圓盒結構體及晶圓盒倉儲結構體組成，其中晶圓盒儲架結構體系懸掛天花板上，利用晶圓盒升降運輸結構體將晶圓盒作為升降至入、出料口，并以手臂結構體抓取晶圓盒利用軌道輸送至晶圓盒倉儲結構體作為精準晶圓盒的取放，由于晶圓盒儲放至懸吊在天花板上的晶圓盒倉儲結構體，使本發明系統具有節省空間、晶圓盒方便取放的特性。

技術領域

本發明涉及一種半導體晶圓盒倉儲運輸結構系統，尤指主要包括有晶圓盒升降運輸結構體、晶圓盒儲放架構體、手臂結構體、手臂抓取晶圓盒結構體及晶圓盒倉儲結構體組裝成半導體儲存晶圓盒結構系統。

背景技術

依據中國臺灣省第107131751號「晶圓盒倉儲系統」包括有矩形架體10、升降裝置30、平面三軸機器人40、操控單元人機接口50，升降裝置30在矩型架體10ㄧ側端面，而平面三軸機器人40裝設在矩型架體10的中央處，操控單元人機接口50裝設在矩形架體10側面空間，該發明案雖然解決了儲置晶圓盒的空間，但是該發明案仍占據了地面空間面，減少廠內空間的利用性，而且儲放晶圓盒的數量少而未達經濟效率為其缺失。

發明內容

本發明主要目的，在于提出一種半導體晶圓盒倉儲運輸結構系統。

為達到上述目的，本發明半導體晶圓盒倉儲運輸結構系統，包括有晶圓盒升降運輸結構體、晶圓盒儲架結構體、手臂結構體、手臂抓取晶圓盒結構體及晶圓盒倉儲結構體所組成，其中，

-晶圓盒升降運輸結構體，系呈長方體梯狀結構，主要系由升降結構架、定位裝置、滾輪運送裝置所組成，升降結構架系由數根支撐桿所組裝成的長方框升降結構架，其中一支撐桿的側端面裝設數個定位裝置，作為頂住晶圓盒的左側翼，而晶圓盒系放置滾輪運送裝置的上方，利用機器人在入、出料口處搬送晶圓盒，利用滾輪運送裝置輸送至升降結構架，依入料方向利用滾輪運送裝置運送晶圓盒，依出料方向利用滾輪運送裝置運送晶圓盒；

-晶圓盒儲架結構體，系由軌道框架、懸吊支撐桿、輔助支撐桿、連接桿及儲存框架所組成，中央裝設軌道框架供作晶圓盒運送行走，兩側懸吊支撐桿懸掛在天花板上，兩側懸吊支撐桿連接輔助支撐桿，并以連接桿作為連接在軌道框架上方裝設儲存框架作為儲放取晶圓盒置放區域；

-手臂結構體，系由手臂結構及手臂底座所組成，手臂結構系呈L型體裝設在晶圓盒放置座兩側，晶圓盒放置座內部兩側裝設驅動輪帶動驅動皮帶，而手臂結構內部裝設一驅動皮帶經過驅動輪為帶動驅動皮帶，而驅動帶動兩側的手臂線軌，而手臂線軌在兩側插向晶圓盒的兩側頂向晶圓盒側翼，而取出或放置晶圓盒，手臂底座系裝設在手臂結構的底部，作為承載手臂結構；

-手臂抓取晶圓盒結構體，晶圓盒經由晶圓盒升降運輸結構體升至晶圓盒儲架結構體，并由滾輪運送裝置運送晶圓盒，由手臂結構的手臂線軌抓取滾輪運送裝置上的晶圓盒，并在手臂結構的下方手臂底座的左側以L型板裝設一線軌并以皮帶作為帶動手臂結構體行走在軌道框架；以及

--晶圓盒倉儲結構體，以懸吊支撐桿、輔助支撐桿懸吊在天花板上，并以手臂結構體將晶圓盒放置在儲存框架上，在懸吊支撐桿之間中央系手臂結構體抓取晶圓盒后，置放在左側儲存框架上形成晶圓盒群體，置放在右側儲存框架上形成晶圓盒群體，而晶圓盒放置在儲存框架上，并有四個角裝設有定位塊作為固定住晶圓盒的儲放；其中晶圓盒系由晶圓盒升降運輸結構體運送至懸吊在天花板的晶圓盒儲架結構體，并利用手臂結構體以手臂抓取晶圓盒，并倉儲在晶圓盒倉儲結構體作為晶圓盒的取放。