[發(fā)明專利]半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110178441.0
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112875125A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄧羽辰
• 申請（專利權(quán)）人: 艾迪森科技有限公司
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04
• 代理公司: 北京中偉智信專利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙) 11325
• 代理人: 張岱

1.一種半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，包括有晶圓盒升降運輸結(jié)構(gòu)體、晶圓盒儲架結(jié)構(gòu)體、手臂結(jié)構(gòu)體、手臂抓取晶圓盒結(jié)構(gòu)體及晶圓盒倉儲結(jié)構(gòu)體所組成，其中，

-晶圓盒升降運輸結(jié)構(gòu)體，系呈長方體梯狀結(jié)構(gòu)，主要系由升降結(jié)構(gòu)架、定位裝置、滾輪運送裝置所組成，升降結(jié)構(gòu)架系由數(shù)根支撐桿所組裝成的長方框升降結(jié)構(gòu)架，其中一支撐桿的側(cè)端面裝設(shè)數(shù)個定位裝置，作為頂住晶圓盒的左側(cè)翼，而晶圓盒系放置滾輪運送裝置的上方，利用機器人在入、出料口處搬送晶圓盒，利用滾輪運送裝置輸送至升降結(jié)構(gòu)架，依入料方向利用滾輪運送裝置運送晶圓盒，依出料方向利用滾輪運送裝置運送晶圓盒；

-晶圓盒儲架結(jié)構(gòu)體，系由軌道框架、懸吊支撐桿、輔助支撐桿、連接桿及儲存框架所組成，中央裝設(shè)軌道框架供作晶圓盒運送行走，兩側(cè)懸吊支撐桿懸掛在天花板上，兩側(cè)懸吊支撐桿連接輔助支撐桿，并以連接桿作為連接在軌道框架上方裝設(shè)儲存框架作為儲放取晶圓盒置放區(qū)域；

-手臂結(jié)構(gòu)體，系由手臂結(jié)構(gòu)及手臂底座所組成，手臂結(jié)構(gòu)系呈L型體裝設(shè)在晶圓盒放置座兩側(cè)，晶圓盒放置座內(nèi)部兩側(cè)裝設(shè)驅(qū)動輪帶動驅(qū)動皮帶，而手臂結(jié)構(gòu)內(nèi)部裝設(shè)一驅(qū)動皮帶經(jīng)過驅(qū)動輪為帶動驅(qū)動皮帶，而驅(qū)動帶動兩側(cè)的手臂線軌，而手臂線軌在兩側(cè)插向晶圓盒的兩側(cè)頂向晶圓盒側(cè)翼，而取出或放置晶圓盒，手臂底座系裝設(shè)在手臂結(jié)構(gòu)的底部，作為承載手臂結(jié)構(gòu)；

-手臂抓取晶圓盒結(jié)構(gòu)體，晶圓盒經(jīng)由晶圓盒升降運輸結(jié)構(gòu)體升至晶圓盒儲架結(jié)構(gòu)體，并由滾輪運送裝置運送晶圓盒，由手臂結(jié)構(gòu)的手臂線軌抓取滾輪運送裝置上的晶圓盒，并在手臂結(jié)構(gòu)的下方手臂底座的左側(cè)以L型板裝設(shè)一線軌并以皮帶作為帶動手臂結(jié)構(gòu)體行走在軌道框架；以及

--晶圓盒倉儲結(jié)構(gòu)體，以懸吊支撐桿、輔助支撐桿懸吊在天花板上，并以手臂結(jié)構(gòu)體將晶圓盒放置在儲存框架上，在懸吊支撐桿之間中央系手臂結(jié)構(gòu)體抓取晶圓盒后，置放在左側(cè)儲存框架上形成晶圓盒群體，置放在右側(cè)儲存框架上形成晶圓盒群體，而晶圓盒放置在儲存框架上，并有四個角裝設(shè)有定位塊作為固定住晶圓盒的儲放；其中晶圓盒系由晶圓盒升降運輸結(jié)構(gòu)體運送至懸吊在天花板的晶圓盒儲架結(jié)構(gòu)體，并利用手臂結(jié)構(gòu)體以手臂抓取晶圓盒，并倉儲在晶圓盒倉儲結(jié)構(gòu)體作為晶圓盒的取放。

2.如權(quán)利要求項1所述的半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，定位裝置系以擋片與活動輪組裝在支撐桿上。

3.如權(quán)利要求項1所述的半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，軌道框架系由兩側(cè)軌道桿及中央U型連接板所組裝成，輔助支撐桿系由L型桿及橫桿以三角塊相互組裝，儲存框架與輔助塊組裝，輔助支撐桿與懸吊支撐桿相互組裝。

4.如權(quán)利要求項1所述的半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，手臂抓取晶圓盒結(jié)構(gòu)體的手臂結(jié)構(gòu)體將晶圓盒倉儲形成晶圓盒群體，其晶圓盒置放在四個角處裝設(shè)有定位塊作為晶圓盒的定位作用，晶圓盒在滾輪運送裝置上，而在軌道框架入口處裝設(shè)有一支撐板及軌道框架的U型連接板。

5.如權(quán)利要求項1所述的半導(dǎo)體晶圓盒倉儲運輸結(jié)構(gòu)系統(tǒng)，其特征在于，在手臂底座的中央處裝設(shè)一馬達(dá)，并在馬達(dá)一側(cè)裝設(shè)一定位傳感器，ㄧ側(cè)端面裝設(shè)有馬達(dá)與皮帶夾，而皮帶夾夾住皮帶帶動手臂結(jié)構(gòu)。