[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體晶圓清洗的烘干裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110173400.2
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112992734B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 錢誠;李剛;李濤;朱震
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

本發(fā)明公開了用于半導(dǎo)體晶圓清洗的烘干裝置，包括烘干箱，所述烘干箱主要由支撐腿、底板、外殼、頂板、防塵罩、密封門組成，所述支撐腿頂部通過螺栓連接有所述底板，所述底板頂部外側(cè)通過螺栓連接有所述外殼，所述外殼頂部通過螺栓連接有所述頂板，還包括烘干機(jī)構(gòu)、放料機(jī)構(gòu)。本發(fā)明可以通過熱氣流吹向晶圓上方中央和下方中央，此時(shí)晶圓表面的水從中間向外流動，使得水分滴落，隨后殘余的水分被蒸發(fā)干燥，這樣設(shè)置有益于提高干燥效率；還可以通過聯(lián)動機(jī)構(gòu)帶動所有的轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動桿帶動放料架轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使得放料架上的晶圓交替的對準(zhǔn)熱氣流，這樣設(shè)置有益于增加放料架上放置的晶圓數(shù)量，有益于增加干燥晶圓的數(shù)量，因此有益于提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓烘干技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及用于半導(dǎo)體晶圓清洗的烘干裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造過程中，需要圖形轉(zhuǎn)移工藝，其中包括光刻工藝。光刻工藝是一種圖形復(fù)印技術(shù)，是半導(dǎo)體制造工藝中一項(xiàng)關(guān)鍵的技術(shù)。簡單來說，光刻受到照相技術(shù)的啟發(fā)，利用光刻膠感光特性，將光刻掩膜板的圖形精確地復(fù)印到涂在晶圓上的光刻膠上。在將光刻膠旋涂到晶圓之前，因?yàn)榫A表面進(jìn)行清洗，所以需要對晶圓表面進(jìn)行烘干。

公開號為CN109663723A的中國專利公開了體公開了一種晶圓用烘干裝置，包括烘干箱，烘干箱內(nèi)設(shè)有濕度傳感器、驅(qū)動機(jī)構(gòu)和放置機(jī)構(gòu)，放置機(jī)構(gòu)包括多個放置單元，驅(qū)動機(jī)構(gòu)的下方設(shè)有可間歇撥動放置單元移動的撥動組件，撥動組件由濕度傳感器控制。但是該裝置存在以下缺點(diǎn)：1、利用晶圓轉(zhuǎn)動不斷的攪動烘干箱內(nèi)的熱氣，使得氣流紊亂，但是晶圓還需要平穩(wěn)運(yùn)動，因此氣流的流動速度受到限制，影響烘干效率；2、晶圓需要放置在支撐板上，因此晶圓下表面與支撐板接觸，無法對晶圓下表面進(jìn)行烘干處理，需要對晶圓進(jìn)行翻面才能對晶圓徹底烘干。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的就在于為了解決上述問題而提供用于半導(dǎo)體晶圓清洗的烘干裝置。

本發(fā)明通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的：

用于半導(dǎo)體晶圓清洗的烘干裝置，包括烘干箱，所述烘干箱主要由支撐腿、底板、外殼、頂板、防塵罩、密封門組成，所述支撐腿頂部通過螺栓連接有所述底板，所述底板頂部外側(cè)通過螺栓連接有所述外殼，所述外殼頂部通過螺栓連接有所述頂板，所述頂板頂部開設(shè)有排氣孔，且排氣孔內(nèi)側(cè)螺接有所述防塵罩，所述外殼前端通過合頁連接有所述密封門，還包括烘干機(jī)構(gòu)、放料機(jī)構(gòu)，所述外殼內(nèi)部中央設(shè)置有烘干機(jī)構(gòu)，所述烘干機(jī)構(gòu)外側(cè)設(shè)置有所述放料機(jī)構(gòu)，所述放料機(jī)構(gòu)包括上行星架、放料架組、下行星架，所述上行星架底部外側(cè)通過軸承連接有若干個所述放料架組，所述放料架組下端穿過所述下行星架，并與所述下行星架通過軸承連接，且連接有驅(qū)動其轉(zhuǎn)動的聯(lián)動機(jī)構(gòu)，所述放料架組包括轉(zhuǎn)動桿、放料架，所述轉(zhuǎn)動桿周側(cè)通過螺釘連接有若干個等距離設(shè)置的所述放料架，所述烘干機(jī)構(gòu)包括風(fēng)機(jī)、中心管、連通管、出風(fēng)管、加熱絲、支撐網(wǎng)孔管、濾清器，所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣端通過喉箍連接有所述濾清器，所述風(fēng)機(jī)通過螺栓連接在所述頂板頂部中央，所述風(fēng)機(jī)下方通過螺釘連接有所述中心管，所述中心管穿過所述頂板和所述上行星架，并與所述上行星架通過軸承連接，且位于所述上行星架下方部分的周側(cè)焊接有若干組所述連通管，每組設(shè)置有若干個所述連通管，所述連通管遠(yuǎn)離所述中心管的一端焊接有豎直設(shè)置的所述出風(fēng)管，且所述出風(fēng)管通過所述連通管與所述中心管連通，所述中心管內(nèi)部通過螺釘連接有所述加熱絲，所述加熱絲內(nèi)側(cè)設(shè)置有用于支撐所述加熱絲的所述支撐網(wǎng)孔管，可以通過風(fēng)機(jī)產(chǎn)生氣流，氣流經(jīng)過加熱絲的加熱成為熱氣流，熱氣流經(jīng)過中心管、連通管以及出風(fēng)管吹向晶圓上方中央和下方中央，此時(shí)晶圓表面的水從中間向外流動，使得水分滴落，隨后殘余的水分被蒸發(fā)干燥，這樣設(shè)置有益于提高干燥效率，還可以通過聯(lián)動機(jī)構(gòu)帶動所有的轉(zhuǎn)動桿轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動桿帶動放料架轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使得放料架上的晶圓交替的對準(zhǔn)熱氣流，這樣設(shè)置有益于增加放料架上放置的晶圓數(shù)量，有益于增加干燥晶圓的數(shù)量，因此有益于提高生產(chǎn)效率。

優(yōu)選的，所述連通管的組數(shù)與所述放料架組的數(shù)量相同，且位置相對應(yīng)，這樣設(shè)置使得每個放料架組上的晶圓均能被干燥。