[發明專利]用于半導體晶圓清洗的烘干裝置

有效

• 申請號: 202110173400.2
• 申請日: 2021-02-09
• 公開（公告）號: CN112992734B
• 公開（公告）日: 2022-01-28
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;李濤;朱震
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.用于半導體晶圓清洗的烘干裝置，包括烘干箱（1），所述烘干箱（1）主要由支撐腿（101）、底板（102）、外殼（103）、頂板（104）、防塵罩（105）、密封門（106）組成，所述支撐腿（101）頂部通過螺栓連接有所述底板（102），所述底板（102）頂部外側通過螺栓連接有所述外殼（103），所述外殼（103）頂部通過螺栓連接有所述頂板（104），所述頂板（104）頂部開設有排氣孔，且排氣孔內側螺接有所述防塵罩（105），所述外殼（103）前端通過合頁連接有所述密封門（106），其特征在于：還包括烘干機構（2）、放料機構（4），所述外殼（103）內部中央設置有烘干機構（2），所述烘干機構（2）外側設置有所述放料機構（4），所述放料機構（4）包括上行星架（401）、放料架組（402）、下行星架（403），所述上行星架（401）底部外側通過軸承連接有若干個所述放料架組（402），所述放料架組（402）下端穿過所述下行星架（403），并與所述下行星架（403）通過軸承連接，且連接有驅動其轉動的聯動機構（3），所述放料架組（402）包括轉動桿（4021）、放料架（4022），所述轉動桿（4021）周側通過螺釘連接有若干個等距離設置的所述放料架（4022），所述烘干機構（2）包括風機（201）、中心管（202）、連通管（203）、出風管（204）、加熱絲（205）、支撐網孔管（206）、濾清器（207），所述風機（201）的進氣端通過喉箍連接有所述濾清器（207），所述風機（201）通過螺栓連接在所述頂板（104）頂部中央，所述風機（201）下方通過螺釘連接有所述中心管（202），所述中心管（202）穿過所述頂板（104）和所述上行星架（401），并與所述上行星架（401）通過軸承連接，且位于所述上行星架（401）下方部分的周側焊接有若干組所述連通管（203），每組設置有若干個所述連通管（203），所述連通管（203）遠離所述中心管（202）的一端焊接有豎直設置的所述出風管（204），且所述出風管（204）通過所述連通管（203）與所述中心管（202）連通，所述中心管（202）內部通過螺釘連接有所述加熱絲（205），所述加熱絲（205）內側設置有用于支撐所述加熱絲（205）的所述支撐網孔管（206）；

所述聯動機構（3）包括電機（301）、驅動軸（302）、傳動組件（303），所述電機（301）通過螺栓連接在所述底板（102）底部中央，所述電機（301）的輸出端通過聯軸器連接有所述驅動軸（302），所述驅動軸（302）上端穿過所述底板（102），且通過軸承連接在所述下行星架（403）底部，所述驅動軸（302）外側設置有所述傳動組件（303），所述傳動組件（303）與所述轉動桿（4021）連接；

所述傳動組件（303）包括主鏈輪（31）、從動鏈輪（32）、傳動鏈條（33），所述主鏈輪（31）通過鍵連接在所述驅動軸（302）外側，所述從動鏈輪（32）通過鍵連接在所述轉動桿（4021）外側，所述主鏈輪（31）與所有的所述從動鏈輪（32）之間通過所述傳動鏈條（33）傳動；

所述傳動鏈條（33）內側與所述從動鏈輪（32）嚙合連接，所述傳動鏈條（33）外側與所述主鏈輪（31）嚙合連接。

2.根據權利要求1所述的用于半導體晶圓清洗的烘干裝置，其特征在于：所述連通管（203）的組數與所述放料架組（402）的數量相同，且位置相對應。

3.根據權利要求2所述的用于半導體晶圓清洗的烘干裝置，其特征在于：每組的所述連通管（203）的數量比每個所述轉動桿（4021）外側的所述放料架（4022）的數量多一個，且每個所述放料架（4022）的上下方均設置有一個所述連通管（203）。

4.根據權利要求3所述的用于半導體晶圓清洗的烘干裝置，其特征在于：最上端的所述出風管（204）頂部以及最下方的所述出風管（204）底部均螺接有密封蓋（2041）。