[發明專利]一種銅面清洗劑及其使用方法

在審

• 申請號: 202110172641.5
• 申請日: 2021-02-08
• 公開（公告）號: CN112981422A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 陳修寧;郝意;黃志齊
• 申請（專利權）人: 珠海市板明科技有限公司
• 主分類號: C23G1/10
• 分類號: C23G1/10
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 李瑩

1.一種銅面清洗劑，其特征在于，由酸、雙氧水、雙氧水穩定劑、陽離子表面活性劑、非離子表面活性劑和水組成，所述酸的濃度為20-160g/L，所述雙氧水的濃度為1-75g/L，所述雙氧水穩定劑的濃度為0.02-10g/L，所述陽離子表面活性劑的濃度為0.01-10g/L，所述非離子表面活性劑的濃度為0.01-20g/L。

2.如權利要求1所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述酸的濃度為40-100g/L，所述雙氧水的濃度為3-50g/L，所述雙氧水穩定劑的濃度為0.05-5g/L，所述陽離子表面活性劑的濃度為0.05-5g/L，所述非離子表面活性劑的濃度為0.05-5g/L。

3.如權利要求1或2任一所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述酸由無機酸或有機酸組成，所述無機酸為磷酸、硫酸中的一種或兩種，所述有機酸為甲酸、乙酸、丙酸、草酸、檸檬酸、酒石酸、羥基乙酸中的一種或幾種。

4.如權利要求1或2任一所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述雙氧水穩定劑由對羥基苯磺酸或對羥基苯磺酸鈉組成。

5.如權利要求1或2任一所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述陽離子表面活性劑為烷基胺鹽表面活性劑、季銨鹽表面活性劑中的一種或幾種。

6.如權利要求5所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述陽離子表面活性劑為聚乙烯胺系陽離子表面活性劑或聚烯丙胺系陽離子表面活性劑。

7.如權利要求1或2任一所述的銅面清洗劑，其特征在于，所述非離子表面活性劑為烷基醚聚氧乙烯聚合物、烷基醚聚氧乙烯與聚氧丙烯的共聚物、丙二醇聚氧乙烯醚中的一種。

8.一種權利要求1至7任一所述的銅面清洗劑的使用方法，其特征在于，在20-50℃條件下對銅面或銅合金表面進行微蝕清洗，清洗時間為15-90s，微蝕量為0.01-0.3μm。

9.如權利要求8所述的銅面清洗劑的使用方法，其特征在于，所述微蝕清洗的方法為浸泡或噴淋。

10.如權利要求9所述的銅面清洗劑的使用方法，其特征在于，所述微蝕量為0.15-0.3μm。