[發明專利]一種用于晶圓加工的刷洗裝置

有效

• 申請號: 202110171730.8
• 申請日: 2021-02-08
• 公開（公告）號: CN112992733B
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;夏振
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京商專潤文專利代理事務所(普通合伙) 11317
• 代理人: 陳平

1.一種用于晶圓加工的刷洗裝置，包括承載機構(1)、清洗機構(3)、固定機構(4)，所述承載機構(1)上安裝有所述清洗機構(3)，所述承載機構(1)的前部安裝有所述固定機構(4)，其特征在于：還包括用于對晶圓表面進行除塵的除塵機構(2)，所述除塵機構(2)包括第一固定塊(201)、出風方管(202)、第二固定塊(203)、氣缸(204)、風機(205)、連接臂(206)、連接軸(207)、滾輪(208)、電機(209)，所述第一固定塊(201)通過螺栓連接在所述承載機構(1)的前部表面上，所述第一固定塊(201)的外部轉動連接有所述出風方管(202)，所述出風方管(202)的一端安裝有所述風機(205)，所述出風方管(202)的另一端轉動連接有所述連接臂(206)，所述連接臂(206)一端的前部通過螺栓連接有所述電機(209)，所述電機(209)的后部鍵連接有所述連接軸(207)，所述連接軸(207)的后部通過螺栓連接有所述滾輪(208)，所述出風方管(202)下部轉動連接有所述氣缸(204)，所述氣缸(204)的一端與所述第二固定塊(203)轉動連接；

所述刷洗裝置工作時,所述滾輪與所述晶圓的側緣貼合,使得晶圓轉動,所述滾輪(208)的外部表面上裹有棉套。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述承載機構(1)包括墊板(101)、固定板(102)、加固板(103)、放置箱(104)、晶圓(105)、排塵板(106)，所述墊板(101)的上部通過螺栓連接有所述放置箱(104)，所述放置箱(104)的上部焊接有所述固定板(102)，所述墊板(101)與所述放置箱(104)的銜接處通過螺栓連接有所述加固板(103)，所述放置箱(104)的內部放置有所述晶圓(105)，所述放置箱(104)的后部安裝有所述排塵板(106)。

3.根據權利要求2所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述清洗機構(3)包括儲液箱(301)、連接管(302)、抽出泵(303)、噴液管(304)、連通管(305)、擦拭棉塊(306)、連接柱(307)，所述放置箱(104)的后部一側安裝有所述儲液箱(301)，所述儲液箱(301)的外部通過法蘭連接有所述連接管(302)，所述連接管(302)上安裝有所述抽出泵(303)，所述放置箱(104)的上端的前部與后部分別安裝有所述噴液管(304),所述噴液管(304)之間通過所述連通管(305)連接,所述連接管(302)的一端通過法蘭連接到安裝在所述放置箱(104)的上端的后部的所述噴液管(304)，所述放置箱(104)的上端的前部與后部一側安裝有所述擦拭棉塊(306)，所述擦拭棉塊(306)之間通過所述連接柱(307)連接。

4.根據權利要求3所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述連通管(305)的外部安裝有把手(308)，所述把手(308)的外表面應做防滑處理。

5.根據權利要求2所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述固定機構(4)包括蓋板(401)、滑動筒(402)、拉桿(403)、吸盤(404)，所述蓋板(401)安裝在所述固定板(102)的外部，所述蓋板(401)的內部通過軸承連接有所述滑動筒(402)，所述滑動筒(402)的后部安裝有所述吸盤(404)，所述滑動筒(402)的內部滑動連接有所述拉桿(403)。

6.根據權利要求2所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述加固板(103)共設置有十處，所述固定板(102)的上部為弧形，所述放置箱(104)的內部表面應粘接有棉墊，所述排塵板(106)表面均勻開有出塵孔。

7.根據權利要求1所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述出風方管(202)為中空的方管，所述出風方管(202)的內側面上開有出風孔。

8.根據權利要求3所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述噴液管(304)與所述連通管(305)互相連通，所述噴液管(304)的內側開有出液孔。

9.根據權利要求5所述的一種用于晶圓加工的刷洗裝置，其特征在于：所述吸盤(404)與所述滑動筒(402)的銜接處開有透氣孔，所述吸盤(404)為弧形皮墊。