[發明專利]一種晶圓往復循環清洗設備

在審

• 申請號: 202110160903.6
• 申請日: 2021-02-05
• 公開（公告）號: CN112992731A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 周志剛;王靜強;徐福興;黃錫欽;陳亮
• 申請（專利權）人: 昆山基侑電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓往復循環清洗設備，其特征在于，包括清洗室、清洗組件、第一輸送組件和第二輸送組件，所述清洗室內部設置有上清洗室和下清洗室，所述上清洗室的側部設置有第一進口，所述下清洗室的側部設置有第二進口，所述第一輸送組件包括兩條第一伺服直線模組和第一輸送網板，所述兩條第一伺服直線模組從第一進口穿過并于上清洗室的相對兩側內壁設置，所述第一輸送網板與兩條第一伺服直線模組連接，且所述上清洗室的下部設置有第一接水箱，所述第二輸送組件包括兩條第二伺服直線模組和第二輸送網板，所述兩條第二伺服直線模組從第二進口穿過并于上清洗室的相對兩側內壁設置，所述第二輸送網板與兩條第二伺服直線模組連接，且所述上清洗室的下部設置有第二接水箱，所述第一輸送網板上方和第二輸送網板的上方設置有數組定位柱，所述清洗組件包括第一高壓清洗裝置和第二高壓清洗裝置，所述第一高壓清洗裝置設置在上清洗室的頂部，所述第二高壓清洗裝置設置在下清洗室的頂部。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓往復循環清洗設備，其特征在于，所述上清洗室和下清洗室是由間層隔板隔開。

3.根據權利要求1所述的一種圓晶往復循環清洗設備，其特征在于，所述第一進口和第二進口為同側設置。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓往復循環清洗設備，其特征在于，所述第一接水箱和第二接水箱的底部通過分歧管路外接有排水泵。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓往復循環清洗設備，其特征在于，所述第一高壓清洗裝置和第二高壓清洗裝置均外接有清洗液存儲箱，且所述第一高壓清洗裝置和第二高壓清洗裝置均包括有數個高壓噴頭。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓往復循環清洗設備，其特征在于，每組所述定位柱的數量均為四個。