[發明專利]一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板

在審

• 申請號: 202110154429.6
• 申請日: 2021-02-04
• 公開（公告）號: CN112885748A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 劉青云
• 申請（專利權）人: 廣州興金五金有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其結構包括主體(1)、支撐腳(2)、控制面板(3)，所述主體(1)的底端設有支撐腳(2)，所述控制面板(3)位于主體(1)的頂端，其特征在于：

所述主體(1)包括空槽(11)、加熱裝置(12)、下壓裝置(13)，所述空槽(11)設置在主體(1)的內部頂端，所述加熱裝置(12)安裝在空槽(11)的底部正中間，所述下壓裝置(13)安裝在空槽(11)的側端，且與空槽(11)活動卡合。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述加熱裝置(12)包括支撐板(121)、活動槽(122)、復位彈簧(123)、導熱板(124)、電源線(125)，所述支撐板(121)的上端設有活動槽(122)，所述復位彈簧(123)設有四個，且橫向排列于活動槽(122)的上端，所述導熱板(124)卡合于活動槽(122)中，所述電源線(125)連接于導熱板(124)的底部。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述導熱板(124)包括導熱體(a1)、傳熱片(a2)、導熱片(a3)、緩沖塊(a4)，所述導熱體(a1)的上端嵌固有傳熱片(a2)，所述導熱片(a3)設有三個以上，且橫向排列于傳熱片(a2)的下端，所述緩沖塊(a4)設有三個以上，且安裝在兩兩導熱片(a3)之間。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述傳熱片(a2)包括傳熱體(a21)、嵌固座(a22)、空槽(a23)、伸縮片(a24)，所述傳熱體(a21)的的底端嵌固有嵌固座(a22)，所述嵌固座(a22)嵌固于導熱體(a1)的端面，所述空槽(a23)設有五個以上，且橫向排列于傳熱體(a21)的上端面，所述伸縮片(a24)安裝在空槽(a23)的內部。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述下壓裝置(13)包括頂蓋(b1)、卡合孔(b2)、把手(b3)、切槽(b4)、下壓塊(b5)，所述頂蓋(b1)的前端設有卡合孔(b2)，所述卡合孔(b2)與主體(1)相卡合，所述把手(b3)嵌固在頂蓋(b1)的頂端，所述切槽(b4)位于頂蓋(b1)的底端，所述下壓塊(b5)嵌固在切槽(b4)的正中間。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述下壓塊(b5)包括固定座(b51)、變形槽(b52)、下壓槽(a53)、接觸片(b54)，所述固定座(b51)嵌固在下壓塊(b5)的頂端，所述變形槽(b52)設有三個以上，且橫向排列于下壓塊(b5)的內部，所述下壓槽(a53)位于下壓塊(b5)的底端，所述接觸片(b54)貼合于下壓槽(a53)的底部端面。

7.根據權利要求6所述的一種晶圓研磨膠膜撕膠用加熱型壓板，其特征在于：所述變形槽(b52)包括槽體(c1)、緩沖槽(c2)、凹槽(c3)，所述槽體(c1)的兩端設有緩沖槽(c2)，所述緩沖槽(c2)為三角形狀，所述凹槽(c3)設有六個，且以三個為一組橫向排列于槽體(c1)的上下兩端。