[發明專利]一種用于基件卷對卷的曝光裝置

有效

• 申請號: 202110153987.0
• 申請日: 2021-02-04
• 公開（公告）號: CN113219791B
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 李文章;張雷
• 申請（專利權）人: 源能智創（江蘇）半導體有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種卷對卷曝光裝置及曝光方法，包括滾筒、傳動輪組、曝光系統，基件在所述傳動輪組帶動下貼附在所述滾筒圓周表面轉動并完成曝光，還包括放料裝置、收料裝置、暫存料裝置，用于基件的收卷或/和放卷。本發明的卷對卷曝光裝置的基件通過滾筒上分布的真空吸附空形成負壓有效貼附在滾筒圓周表面并進行對準及曝光，增加了基件在滾筒上的平整度，有效提升了基件的對準及曝光效果；暫存料裝置在對第一面已曝光的基件收卷后可以實現反轉，將第一面已曝光的基件放卷再次傳送到滾筒完成第二面曝光，節省了一套對位裝置及曝光裝置。

技術領域

本發明涉及直寫曝光技術領域，具體涉及一種卷對卷曝光裝置。

背景技術

隨著通信技術的發展，為滿足用戶的使用需求，移動終端的功能越來越多樣化，給人們生活帶來了極大的便利。其中，柔性電路板與印制電路板相比，具有重量更輕、柔軟度更高、組裝工時短、體積小的特性，為得到更輕的產品，增加在有限空間內的器件集成度，提高裝配效率，移動終端中越來越多的使用柔性電路板來代替印制電路板，尤其是雙面柔性電路板具備更廣泛的應用前景。

曝光裝置是柔性電路板生產過程中必須用到的一種設備，主要進行線路制作，柔性電路板由于其柔軟的特性，多采用卷對卷形式的曝光裝置。目前市場上卷對卷曝光裝置的應用也很廣泛，但是大多數為傳統菲林曝光，成本較高、產能低并且存在環境污染。目前市場有少數激光直寫曝光設備在卷對卷曝光領域應用，但均是基于印制電路板的直寫曝光設備的運動平臺演變而來，柔性電路板隨著運動平臺傳送，平臺支撐柔性電路板無法徹底解決柔性電路不平整的問題，并且來回大距離拉扯會造成柔性電路板受力變形，導致曝光效果較差，無法滿足應用需求。再者在卷對卷雙面柔性電路板進行曝光時，現有主流技術為兩套曝光系統分別對柔性電路板的兩個面進行曝光，這樣增加了設備成本并且工序較為復雜。

發明內容

針對上述問題，本發明提供了卷對卷的曝光裝置及曝光方法，其可以提高基件卷對卷的曝光質量及效率，可實現卷對卷雙面或者單面曝光，節約設備成本。

為實現以上技術方案，本發明方案如下：一種卷對卷曝光裝置，包括滾筒、傳動輪組、曝光系統，基件在所述傳送輪組帶動下貼附在所述滾筒圓周表面轉動并完成曝光，還包括放料裝置、收料裝置、暫存料裝置，用于基件的收卷或/和放卷。

進一步的，所述滾筒表面設置有真空吸附孔，所述滾筒內設置氣槽，所述氣槽與所述真空吸附孔連通。

進一步的，根據權利要求2所述的一種卷對卷曝光裝置，其特征在于：所述基件吸附在滾筒表面傳動時，所述基件覆蓋的所述滾筒橫截面圓周長度占滾筒橫截面圓周總長度的比例大于1/2。

進一步的，所述傳動輪組至少包含第一傳動輪組、第二傳動輪組，用于傳送所述基件。

進一步的，每個所述傳動輪組至少設置有2個輥輪及1個切換裝置。

進一步的，所述切換裝置用于切換引導基件傳送方向。

進一步的，所述暫存料裝置用于已曝光所述基件的收卷，并且可以反轉放卷所述基件；

進一步的，所述曝光系統至少包括對位裝置、曝光裝置、控制系統。

本發明可提供一種卷對卷雙面的曝光方法，曝光過程包括以下步驟：

（1）放料裝置與第一傳動輪組傳送未曝光基件至滾筒；

（2）未曝光基件第一面朝外吸附在滾筒上轉動并完成第一面的對準、曝光，再通過第二傳動輪組、第三傳動輪組傳送給暫存料裝置完成收料；

（3）暫存料裝置收料完成后反轉將第一面曝光完成的基件通過第三傳動輪組、第一傳動輪組傳送至滾筒，此時基件第二面朝外吸附在滾筒上轉動并完成對準、曝光，再通過第二傳動輪組傳送至收料裝置完成收料。

以上步驟重復更迭，完成多個基件的雙面曝光。