[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于基件卷對(duì)卷的曝光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110153987.0
• 申請(qǐng)日: 2021-02-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113219791B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-04-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文章;張雷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 源能智創(chuàng)（江蘇）半導(dǎo)體有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種卷對(duì)卷曝光裝置，包括滾筒、傳動(dòng)輪組、曝光系統(tǒng)，基件在所述傳動(dòng)輪組帶動(dòng)下貼附在所述滾筒圓周表面轉(zhuǎn)動(dòng)并完成曝光，其特征在于：所述曝光裝置還包括放料裝置、收料裝置、暫存料裝置、傳動(dòng)輪組，所述放料裝置位于所述滾筒的放料端一側(cè)，所述暫存料裝置和所述收料裝置位于所述滾筒的收料端一側(cè)，所述暫存料裝置用于對(duì)完成單面曝光的基件進(jìn)行收卷或/和放卷，所述收卷裝置用于對(duì)完成雙面曝光的基件進(jìn)行收卷，所述傳動(dòng)輪組包括第一傳動(dòng)輪組、第二傳動(dòng)輪組和第三傳動(dòng)輪組，所述第一傳動(dòng)輪組和所述第二傳動(dòng)輪組位于所述滾筒的兩側(cè)，所述第一傳動(dòng)輪組傳送基件至第二傳動(dòng)輪組，所述第二傳動(dòng)輪組傳送單面曝光的基件至?xí)捍媪涎b置、雙面曝光的基件至收料裝置，所述第三傳動(dòng)輪組接收第二傳動(dòng)輪組傳送的基件至所述暫存料裝置，所述暫存料裝置通過(guò)所述第三傳動(dòng)輪組傳送基件至第一傳動(dòng)輪組，經(jīng)第一傳動(dòng)輪組實(shí)現(xiàn)基件的翻轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：所述滾筒表面設(shè)置有真空吸附孔，所述滾筒內(nèi)設(shè)置氣槽，所述氣槽與所述真空吸附孔連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：所述基件吸附在滾筒表面?zhèn)鲃?dòng)時(shí)，所述基件覆蓋的所述滾筒橫截面圓周長(zhǎng)度占滾筒橫截面圓周總長(zhǎng)度的比例大于1/2。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：所述第一傳動(dòng)輪組和第二傳動(dòng)輪組貼近滾筒設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：每個(gè)所述傳動(dòng)輪組至少設(shè)置有一對(duì)輥輪及1個(gè)切換裝置，所述一對(duì)輥輪用于傳送基件，所述切換裝置用于切換基件的傳送方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：所述暫存料裝置正轉(zhuǎn)時(shí)用于收卷已曝光的基件，反轉(zhuǎn)時(shí)用于放卷已曝光的基件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷曝光裝置，其特征在于：所述曝光系統(tǒng)至少包括對(duì)位裝置、曝光裝置、控制系統(tǒng)。

8.一種卷對(duì)卷曝光方法，其特征在于：曝光過(guò)程包括以下步驟：

放料裝置與第一傳動(dòng)輪組傳送未曝光基件至滾筒；

未曝光基件第一面朝外吸附在滾筒上轉(zhuǎn)動(dòng)并完成第一面的對(duì)準(zhǔn)、曝光，再通過(guò)第二傳動(dòng)輪組、第三傳動(dòng)輪組傳送給暫存料裝置完成收料；

暫存料裝置收料完成后反轉(zhuǎn)將第一面曝光完成的基件通過(guò)第三傳動(dòng)輪組、第一傳動(dòng)輪組傳送至滾筒，此時(shí)基件第二面朝外吸附在滾筒上轉(zhuǎn)動(dòng)并完成對(duì)準(zhǔn)、曝光，再通過(guò)第二傳動(dòng)輪組傳送至收料裝置完成收料；

以上步驟重復(fù)更迭，完成多個(gè)基件的雙面曝光；

其中，所述放料裝置位于所述滾筒的放料端一側(cè)，所述暫存料裝置和所述收料裝置位于所述滾筒的收料端一側(cè)。