[發(fā)明專利]用于壓力傳感器的殼體組件、壓力傳感器及封裝方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110151860.5
• 申請(qǐng)日: 2021-02-04
• 公開（公告）號(hào): CN112798178A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王小平;曹萬;王紅明;張超軍;梁世豪;王曉燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢飛恩微電子有限公司
• 主分類號(hào): G01L19/14
• 分類號(hào): G01L19/14;G01L19/06;G01L13/00
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供一種用于壓力傳感器的殼體組件、壓力傳感器及封裝方法,該用于壓力傳感器的殼體組件包括殼體本體、隔板、若干個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，殼體本體具有沿第一方向貫穿設(shè)置的容納腔，隔板設(shè)于所述容納腔內(nèi)，并將所述容納腔沿第一方向分隔成前腔和后腔，若干個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，每個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)包括安裝在所述殼體本體的底壁的壓力接口、貫設(shè)于所述隔板的連通孔、設(shè)于所述隔板且圍設(shè)所述連通孔的圍框、以及設(shè)于所述隔板的止擋結(jié)構(gòu)，所述圍框位于所述后腔且具有與所述壓力接口連通的進(jìn)口，所述止擋結(jié)構(gòu)擋設(shè)于所述圍框內(nèi)且位于所述連通孔和所述進(jìn)口之間，用于限制自所述進(jìn)口流入的檢測(cè)介質(zhì)直接沖擊所述連通孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及壓力傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于壓力傳感器的殼體組件、壓力傳感器及封裝方法。

背景技術(shù)

壓力傳感器(Pressure Transducer)是能感受壓力信號(hào)，并能按照一定的規(guī)律將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成可用的輸出的電信號(hào)的器件或裝置。壓力傳感器的檢測(cè)介質(zhì)通常為檢測(cè)介質(zhì)，檢測(cè)介質(zhì)進(jìn)入壓力傳感器時(shí)若直接沖擊壓力芯片，瞬間沖擊壓力過大容易損壞壓力芯片等內(nèi)部器件。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施方式的目的在于提供一種用于壓力傳感器的殼體組件、壓力傳感器及封裝方法，旨在解決檢測(cè)介質(zhì)進(jìn)入壓力傳感器時(shí)若直接沖擊壓力芯片，瞬間沖擊壓力過大容易損壞壓力傳感器內(nèi)部器件等問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施方式提供了一種用于壓力傳感器的殼體組件，包括：

殼體本體，具有沿第一方向貫穿設(shè)置的容納腔；

隔板，設(shè)于所述容納腔內(nèi)，并將所述容納腔沿第一方向分隔成前腔和后腔；

若干個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，每個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)包括安裝在所述殼體本體的底壁的壓力接口、貫設(shè)于所述隔板的連通孔、設(shè)于所述隔板且圍設(shè)所述連通孔的圍框、以及設(shè)于所述隔板的止擋結(jié)構(gòu)，所述圍框位于所述后腔且具有與所述壓力接口連通的進(jìn)口，所述止擋結(jié)構(gòu)擋設(shè)于所述圍框內(nèi)且位于所述連通孔和所述進(jìn)口之間，用于限制自所述進(jìn)口流入的檢測(cè)介質(zhì)直接沖擊所述連通孔。

本發(fā)明通過設(shè)置止擋結(jié)構(gòu)，止擋結(jié)構(gòu)設(shè)于所述圍框內(nèi)且位于所述連通孔和所述進(jìn)口之間，一方面可以擋住直接沖擊連通孔的介質(zhì)流，避免損壞壓力傳感器內(nèi)部器件(例如壓力芯片)；另一方面可以對(duì)檢測(cè)介質(zhì)形成的介質(zhì)流進(jìn)行分流，降低沖擊力，從而保護(hù)內(nèi)部器件。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述止擋結(jié)構(gòu)包括第一止擋板，所述第一止擋板設(shè)于所述隔板且位于所述圍框內(nèi)，所述第一止擋板設(shè)于所述連通孔和所述進(jìn)口之間，以將所述檢測(cè)介質(zhì)自所述進(jìn)口至所述連通孔的通道分隔成第一通道和第二通道。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述第一止擋板包括沿第二方向延伸的第一段、以及自所述第一段的第二端沿第三方向朝遠(yuǎn)離所述連通孔的方向延伸的第二段，所述第一段的第一端與所述圍框的底壁間距設(shè)置，以形成所述第二通道。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述第一段和所述第二段在連接處倒圓角設(shè)置。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述止擋結(jié)構(gòu)還包括第二止擋板，所述第二止擋板設(shè)于所述隔板且位于所述進(jìn)口和所述第一止擋板之間，所述第二止擋板與所述第一止擋板分別沿第二方向和第三方向間隔設(shè)置，以與所述第一止擋板共同圍設(shè)形成所述第一通道。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述第二止擋板自所述圍框的側(cè)壁延伸，且與所述圍框的側(cè)壁連接處倒圓角設(shè)置。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述圍框包括與所述壓力接口沿第二方向相對(duì)設(shè)置的下邊框，所述下邊框具有所述進(jìn)口，所述下邊框的內(nèi)表面沿第二方向第三方向呈傾斜設(shè)置，以形成導(dǎo)流結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，在所述用于壓力傳感器的殼體組件中，所述進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu)沿第二方向或者第三方向呈間隔設(shè)置。