[發明專利]一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備

在審

• 申請號: 202110147547.4
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN112951751A
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 劉青云
• 申請（專利權）人: 廣州興金五金有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其結構包括底板(1)、檔桿(2)、裝配架(3)、張緊機構(4)、調節滑塊(5)，所述檔桿(2)后端兩側通過螺釘固定于裝配架(3)前端表面，所述裝配架(3)下端焊接固定于底板(1)上方兩端，所述張緊機構(4)右端外壁嵌套卡合于調節滑塊(5)內壁，所述調節滑塊(5)外壁活動卡合于裝配架(3)內壁，其特征在于；

所述張緊機構(4)由連接軸(41)、裝配塊(42)、碾平輥(43)、限位器(44)組成，所述連接軸(41)右側嵌套卡合于調節滑塊(5)內壁，所述裝配塊(42)右側活動卡合于碾平輥(43)左側，所述碾平輥(43)內壁嵌套固定于連接軸(41)外壁，所述限位器(44)內壁嵌套卡合于連接軸(41)外壁。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其特征在于：所述限位器(44)由固定座(a1)、卡合環(a2)、定位環(a3)、連板(a4)組成，所述固定座(a1)一端焊接固定于卡合環(a2)之間外壁，所述定位環(a3)外壁嵌固固定于連板(a4)內壁，所述連板(a4)上下兩端焊接連接于固定座(a1)之間，所述卡合環(a2)內壁嵌套固定于連接軸(41)外壁。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其特征在于：所述卡合環(a2)由嵌套槽(b1)、外環(b2)、卡位環(b3)、復動器(b4)、套環(b5)組成，所述嵌套槽(b1)外壁嵌固固定于外環(b2)下端內部，所述卡位環(b3)一端活動卡合于卡位環(b3)外壁，所述卡位環(b3)內壁焊接固定于套環(b5)外壁，所述套環(b5)裝配于外環(b2)內部，所述外環(b2)下端外壁活動配合于固定座(a1)一端。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其特征在于：所述復動器(b4)由復位器(c1)、連桿(c2)、嵌卡塊(c3)、定卡板(c4)組成，所述復位器(c1)一端固定卡合于外環(b2)內部，所述連桿(c2)上端外壁嵌套卡合于復位器(c1)下端內壁，所述嵌卡塊(c3)外壁焊接固定于復位器(c1)上端，所述定卡板(c4)上端焊接連接于連桿(c2)下端。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其特征在于：所述復位器(c1)內部設有活動槽(d1)、導力座(d2)、磁桿(d3)、引導板(d4)、升降器(d5)，所述活動槽(d1)內壁活動配合于連桿(c2)上端外壁，所述導力座(d2)兩側內壁卡合連接于升降器(d5)兩端，所述磁桿(d3)嵌固固定于引導板(d4)上端內壁，所述引導板(d4)下端內壁嵌套卡合于升降器(d5)外壁，所述升降器(d5)上端與磁桿(d3)下端有斥力配合。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓藍膜張緊和角度調節設備，其特征在于：所述升降器(d5)由環體(e1)、連橫桿(e2)、輔位板(e3)、夾位板(e4)、彈簧(e5)組成，所述環體(e1)外壁裝配于引導板(d4)下端內壁，所述連橫桿(e2)中段嵌套卡合于環體(e1)內壁，所述輔位板(e3)上端焊接固定于環體(e1)上端內部，所述夾位板(e4)下端活動配合于連橫桿(e2)中心上端，所述彈簧(e5)左側通過卡扣固定于夾位板(e4)兩端外壁。