[發(fā)明專利]一種可拉伸光電探測(cè)器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110147132.7
• 申請(qǐng)日: 2021-02-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112968131B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐海華;喬萌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳大學(xué)
• 主分類號(hào): H10K30/88
• 分類號(hào): H10K30/88;H10K30/65;H10K39/30;H10K71/00
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 劉芙蓉;吳志益

本發(fā)明公開(kāi)一種可拉伸光電探測(cè)器及其制備方法。所述可拉伸光電探測(cè)器包括襯底，設(shè)置在所述襯底上的源極、漏極和柵極，設(shè)置在所述源極、漏極和柵極兩兩之間的蛇形電極，設(shè)置在所述柵極上的有源層，包裹在所述襯底、源極、漏極、柵極和有源層外的介電層，所述介電層的材料為醇類水凝膠。本發(fā)明采用醇類水凝膠作為介電層的材料，使得光電探測(cè)器具有可拉伸性，同時(shí)具有較高的保濕性。將介電層包裹在襯底、源極、漏極、柵極、蛇形電極和有源層外，可以有效保護(hù)光電探測(cè)器內(nèi)部器件。本發(fā)明采用溶液法制備可拉伸光電探測(cè)器，克服了光電探測(cè)器保濕性較差的問(wèn)題，提高了光電探測(cè)器的可拉伸性能和生物兼容性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光電傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種可拉伸光電探測(cè)器及其制備方法。

背景技術(shù)

柔性電子正成為未來(lái)電子產(chǎn)品發(fā)展的新趨勢(shì)、不同于傳統(tǒng)剛性電子產(chǎn)品，柔性電子產(chǎn)品能在一定范圍的形變條件下正常工作。在柔性光電探測(cè)器研究領(lǐng)域中，柔性光探測(cè)技術(shù)的快速發(fā)展對(duì)敏感材料的敏感性與柔韌性要求越來(lái)越高。如何將柔性電子器件的柔性進(jìn)一步加強(qiáng)，比如柔性光電探測(cè)器，使其實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的可拉伸性仍然具有很大挑戰(zhàn)。

因此，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種可拉伸光電探測(cè)器及其制備方法，旨在解決現(xiàn)有光電探測(cè)器可拉伸性能較低的問(wèn)題。

本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種可拉伸光電探測(cè)器，其中，包括襯底，設(shè)置在所述襯底上的源極、漏極和柵極，設(shè)置在所述源極、漏極和柵極兩兩之間的蛇形電極，設(shè)置在所述柵極上的有源層，包裹在所述襯底、源極、漏極、柵極和有源層外的介電層，所述介電層的材料為醇類水凝膠。

可選地，所述醇類水凝膠為基于乙二醇的水凝膠。

可選地，所述基于乙二醇的水凝膠由乙二醇、海藻酸鈉、丙烯酰胺、過(guò)硫酸銨、N,N′-亞甲基雙丙烯酰胺、硫酸鈣、1,2-雙(二甲基氨基)乙烷和去離子水制備得到。

可選地，所述乙二醇與去離子水的質(zhì)量比為(3.4～12.5)：86。

可選地，所述介電層的厚度為15±3mm。

可選地，所述襯底的材料為氫化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SEBS)。

可選地，所述有源層的材料為聚合物和富勒烯衍生物的混合物。

可選地，所述聚合物為聚(二酮吡咯并吡咯并噻吩并噻吩)(PDPP2T)，所述富勒烯衍生物為[6，6]-苯基-C61-丁酸異甲酯(PC₆₁BM)。

可選地，所述PDPP2T與PC₆₁BM質(zhì)量比為(8～8.5)：(4～4.5)。

一種如上所述的可拉伸光電探測(cè)器的制備方法，其中，包括步驟：

提供基底；

在基底上制備襯底；

在襯底上制備源極、漏極、柵極和蛇形電極；

在柵極上制備有源層；

將襯底從基底上剝離；

將介電層包裹在襯底、源極、漏極、柵極、蛇形電極和有源層外，所述介電層的材料為醇類水凝膠，得到所述可拉伸光電探測(cè)器。

有益效果：本發(fā)明提供一種可拉伸光電探測(cè)器及其制備方法，本發(fā)明采用醇類水凝膠作為介電層的材料，使得光電探測(cè)器具有可拉伸性，同時(shí)具有較高的保濕性。將介電層包裹在襯底、源極、漏極、柵極、蛇形電極和有源層外，可以有效保護(hù)光電探測(cè)器內(nèi)部器件。本發(fā)明的制備方法簡(jiǎn)單、成本低、并且操作方便。

附圖說(shuō)明