[發明專利]一種金屬掩膜版的張網控制方法

有效

• 申請號: 202110145652.4
• 申請日: 2021-02-03
• 公開（公告）號: CN112458402B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 何遠超;劉耀陽;徐健;顧駿
• 申請（專利權）人: 上海精驪電子技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56
• 代理公司: 武漢藍寶石專利代理事務所(特殊普通合伙) 42242
• 代理人: 劉璐

本發明提供一種金屬掩膜版的張網控制方法，方法包括：獲取金屬掩膜版上各測量點位的當前位置，并與各測量點位的目標位置進行比較，得到各測量點位的當前位置偏差量；構建張網裝置上各個夾爪的移動位移量與各個測量點位的位置變化量之間的函數關系；基于各測量點位的當前位置偏差量以及上述函數關系，計算出張網裝置上各個夾爪需要移動的位移量；控制張網裝置上各個夾爪移動需要移動的位移量，使得各個測量點位從當前位置調整到目標位置。本發明通過控制金屬掩膜版上夾持部位的位移以將各測量點位的位置精度調整到需求規格內，可以增加金屬掩膜版的張網對位精度，減少張網所需時間，提高張網成功率。

技術領域

本發明涉及顯示面板制作設備技術領域，更具體地，涉及一種金屬掩膜版的張網控制方法。

背景技術

有機發光二極管 (OLED，Organic Light Emitting Diode) 顯示是一種應用在平板顯示領域的新技術，因其具有包括廣視角、廣色域、高對比度、低功耗等優點，近年來發展迅速并已成功量產。

在生產OLED顯示屏的過程中，多層金屬材料、無機材料或有機材料需采用蒸鍍的方式逐層沉積到玻璃基板上。在蒸鍍制程中，金屬掩膜版被用來遮擋待蒸鍍的玻璃基板以形成特定圖案，金屬掩膜版可以分為普通金屬掩膜版（Common Metal Mask，縮寫：CMM）和高精度的精細金屬掩膜版（Fine Metal Mask，縮寫：FMM），分別用于不同膜層的沉積。在蒸鍍前，需要使用張網設備將網格狀的CMM或多張條狀的FMM對位并焊接到金屬掩膜版框架上，這種工藝被稱為張網工藝。在張網過程中，為了保證各發光層能夠被蒸鍍在玻璃基板正確的位置上，張網過程中需要對 CMM或FMM 的每個端部施加一定的拉力并使得其上的每一個標記點都對位到需求的精度規格內，然后將其焊接到掩膜框架上。這個過程由張網設備集成的張網控制方法控制硬件進行。張網控制方法決定了張網過程的成功率和效率，進而在很大程度上決定了張網設備的節拍時間。

在高強度的蒸鍍制程中CMM和FMM容易出現臟污甚至損耗，因此張網裝置在實際使用時不僅要對新的金屬掩膜版進行張網，還要進行修復或更換，張網設備的效率是一個關鍵性能指標。在現有張網裝置中集成的張網控制方法下，通常一張CMM需要張網數小時到十幾個小時，而一塊掩膜框架對應的FMM需要張網十幾個小時到幾十個小時不等。一旦張網效率不足以滿足蒸鍍制程的需求，就會成為瓶頸，必要時需要新增張網裝置。除此之外，張網時某些金屬掩膜版有可能長時間無法張進規格，成為廢料。因此，張網控制方法的效率和成功率都至關重要。現有張網控制方法中，通常采用對施加在夾爪夾持部位的作用力進行控制的方法來實現各測量點位的位置精度到達需求規格內。這種控制方法的弊端在于，金屬掩膜版的多個夾爪夾持部位受到的作用力會互相影響，需要達到平衡的時間較長，從而影響張網效率。

發明內容

本發明實施例提供一種克服上述問題或者至少部分地解決上述問題的一種金屬掩膜版的張網控制方法，能夠克服張網效率低的問題。

本發明實施例提供了一種金屬掩膜版的張網控制方法，包括：獲取金屬掩膜版上各測量點位的當前位置，并與各測量點位的目標位置進行比較，得到各測量點位的當前位置偏差量；

構建張網裝置上各個夾爪的移動位移量與各個測量點位的位置變化量之間的函數關系；

基于各測量點位的當前位置變化量以及上述函數關系，計算出張網裝置上各個夾爪需要移動的位移量；

控制張網裝置上各個夾爪移動需要移動的位移量，使得各個測量點位從當前位置調整到目標位置；

其中，所述金屬掩膜版上有多個夾持部位和多個測量點位，張網裝置的多個夾爪夾住所述金屬掩膜版上的多個夾持部位對金屬掩膜版進行拉伸。

在上述技術方案的基礎上，本發明實施例還可以作出如下改進。