[發明專利]一種晶圓固定機構

在審

• 申請號: 202110144359.6
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號: CN112781635A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 楊勇
• 申請（專利權）人: 蘇州矩浪科技有限公司
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00;G01N21/01
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 劉巍

1.一種晶圓固定機構，其特征在于，包括下頂板(1)，所述下頂板(1)上方兩側對稱設有基板(2)；兩側的基板(2)與下頂板(1)組成“H”型，所述下頂板(1)正上方設有鐵框(3)，所述鐵框(3)上方安裝有粘性的薄膜(4)，所述薄膜(4)上方安裝晶圓(5)；位于晶圓(5)的上方設有上蓋板(6)，所述上蓋板(6)與兩側的基板(2)固定連接；兩側的基板(2)上分別設有壓緊組件且壓緊組件對稱設置，所述壓緊組件與下頂板(1)連接。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述下頂板(1)上位于鐵框(3)的下方設有頂圈(11)，所述頂圈(11)的下表面固定安裝于下頂板(1)的上表面，所述頂圈(11)的上表面固定安裝于鐵框(3)的下表面。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述壓緊組件包括氣缸安裝塊(71)、設置于氣缸安裝塊(71)上的氣缸(72)、與氣缸(72)連接的推桿(73)、與推桿(73)固定連接的連接塊(74)、與連接塊(74)固定連接的壓塊(75)、與壓塊(75)固定連接的頂板安裝塊(76)；所述氣缸安裝塊(71)固定安裝于基板(2)上，所述氣缸(72)固定安裝于氣缸安裝塊(71)上，所述頂板安裝塊(76)與下頂板(1)固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述上蓋板(6)與基板(2)通過螺釘連接。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述上蓋板(6)與下頂板(1)上兩側同一位置均安裝有對射傳感器(8)。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述上蓋板(6)上位于對射傳感器(8)的導線連接處還設有保護蓋(81)，所述保護蓋(81)與上蓋板(6)固定連接。

7.根據權利要求3所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述連接塊(74)下方設有驅動板(77)，所述驅動板(77)通過氣缸安裝塊(71)上的滑軌(78)滑動安裝于氣缸安裝塊(71)上。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，所述基板(2)上位于壓塊(75)的兩側固定安裝有限位板(21)。

9.根據權利要求8所述的一種晶圓固定機構，其特征在于，每一塊限位板(21)上設有兩個等高螺絲(22)，所述等高螺絲(22)貫穿限位板(21)的上下表面且其下端與頂板安裝塊(76)固定連接。