[發明專利]一種低氧大尺寸含鋁基金屬間化合物的合金靶材的制備方法

有效

• 申請號: 202110142292.2
• 申請日: 2021-02-02
• 公開（公告）號: CN113046704B
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 邱從章
• 申請（專利權）人: 長沙淮石新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00
• 代理公司: 長沙市融智專利事務所(普通合伙) 43114
• 代理人: 趙進;顏勇

1.Al-50Cr合金靶材的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)原材料為高純鋁粉、高純鉻粉和添加劑X粉末，其中高純鋁粉和高純鉻粉純度均≥99.995％，再用1％NaOH堿性活化液進行表面活化處理并用酒精清洗、晾干進行除氧處理，按照鋁與鉻的原子比為50:50進行配料，得混合料；其中添加劑X為Al-60Cr中間合金和CrH按質量比為1:1配比組成的混合物，添加劑X的添加量為混合料總重量的10％，所述Al-60Cr中間合金中Al與Cr的原子比為40:60；

(2)制坯：將混料機中的混合料放入模具中預壓成型，并升溫至450℃，保溫8分鐘；?緩慢升溫至600℃保壓120分鐘，保壓狀態的壓力為150MPa；然后緩慢升溫至1335℃保壓30分鐘，壓力為80MPa，然后冷卻至600℃；

(3)均溫處理：將坯料在600℃的環境中均溫10小時后爐冷至室溫；

(4)后處理：均溫處理后的坯料經過應變速率為0.5mm/s的熱壓制處理成大尺寸板坯后，退火并經機械加工工序制成靶材；

制坯和均溫處理的過程均處于厭氧環境，并處于適時循環除氧的狀態，所述厭氧環境中的氧的分壓不高于0.01Pa。