[發(fā)明專利]探針頭及包括其的探針卡

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110117009.0
• 申請(qǐng)日: 2021-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN113203881A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安范模;樸勝浩;邊圣鉉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 普因特工程有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/073
• 分類號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種探針卡的探針頭，其特征在于，包括：

上部引導(dǎo)板，配置有上部引導(dǎo)孔洞；

下部引導(dǎo)板，配置有下部引導(dǎo)孔洞；以及

中間部引導(dǎo)板，配置有中間部引導(dǎo)孔洞，且配置在所述上部引導(dǎo)板與所述下部引導(dǎo)板之間，

多個(gè)探針依序貫通所述上部引導(dǎo)孔洞、所述中間部引導(dǎo)孔洞及所述下部引導(dǎo)孔洞，

所述中間部引導(dǎo)板由陽極氧化膜材質(zhì)形成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡的探針頭，其特征在于，

在所述中間部引導(dǎo)板的上部或下部配置膜，

所述膜包括與所述上部引導(dǎo)孔洞、所述下部引導(dǎo)孔洞及所述中間部引導(dǎo)孔洞相同的孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡的探針頭，其特征在于，

所述膜為能夠進(jìn)行光刻的感光性膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針卡的探針頭，其特征在于，

所述中間部引導(dǎo)板通過多個(gè)單位陽極氧化膜片材層疊構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡的探針頭，其特征在于，

層疊構(gòu)成的各個(gè)中間部引導(dǎo)板通過所述膜彼此粘接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡的探針頭，其特征在于，

所述中間部引導(dǎo)板的上部表面、下部表面中的至少任一者由阻擋層形成，所述阻擋層是通過對(duì)金屬進(jìn)行陽極氧化形成并將規(guī)則排列的氣孔孔洞的一端封閉。

7.一種探針卡，其特征在于，包括：

空間轉(zhuǎn)換器，配置有與多個(gè)探針電連接的探針連接墊；以及

探針頭，配置在所述空間轉(zhuǎn)換器的下部，

所述探針頭包括：

上部引導(dǎo)板，配置有上部引導(dǎo)孔洞；

下部引導(dǎo)板，配置有下部引導(dǎo)孔洞；以及

中間部引導(dǎo)板，配置在所述上部引導(dǎo)板與所述下部引導(dǎo)板之間，且由陽極氧化膜材質(zhì)形成。