[發(fā)明專利]一種高透、高阻、高硬度共摻雜DLC薄膜的制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110109552.6
• 申請日: 2021-01-27
• 公開（公告）號: CN112899631A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈洪雪;姚婷婷;李剛;彭塞奧
• 申請（專利權(quán)）人: 中建材蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/06
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 34113
• 代理人: 陳俊

1.一種高透、高阻、高硬度共摻雜DLC薄膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、清洗襯底，去除襯底表面污垢：

S2、采用磁控三靶共濺射系統(tǒng)，將W靶與C靶分別放置于磁控三靶共濺射系統(tǒng)的兩個靶位，W靶與C靶均采用直流電源，然后對磁控三靶共濺射系統(tǒng)抽真空、通入氬氣、起輝，活化和清理靶材；

S3、將襯底置于磁控三靶共濺射系統(tǒng)內(nèi)，直流電源對磁控三靶共濺射系統(tǒng)抽真空，在真空度抽至6.0*10^-5Pa時，通入濺射氣體氬氣，起輝，進(jìn)行預(yù)濺射；

S4、在襯底表面濺射鍍膜，得到所述共摻雜DLC薄膜；濺射時，W靶與C靶的功率為100～300W；Ar流量為10～20sccm，N₂流量為3～5sccm，工作氣壓保持在0.2～1.0Pa，濺射總時間為1～3min，其中通入N₂的濺射時間為10～30s。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透、高阻、高硬度共摻雜DLC薄膜的制備方法，其特征在于，所述襯底采用超白高透玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透、高阻、高硬度共摻雜DLC薄膜的制備方法，其特征在于，步驟S4 中W靶的功率300W，C靶的功率為150W，Ar流量為15sccm，工作氣壓保持在0.5Pa，濺射總時間為2min，當(dāng)濺射時間到達(dá)1.5min時，通入N₂，N₂流量為3sccm，直至濺射完畢。