[發(fā)明專利]噴砂加工裝置以及噴砂加工方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110103255.0
• 申請日: 2021-01-26
• 公開（公告）號: CN113199404A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 神田真治
• 申請（專利權(quán)）人: 新東工業(yè)株式會社
• 主分類號: B24C1/04
• 分類號: B24C1/04;B24C3/04;B24C5/04;B24C7/00;B24C9/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 姜越;金雪梅

本發(fā)明提供一種噴砂加工裝置，該噴砂加工裝置具備：噴嘴單元，其具有將研磨材料與壓縮空氣一起向被加工物的表面噴射的多個噴嘴、和將研磨材料分配給多個噴嘴的分配機(jī)構(gòu)；儲存部，其將研磨材料儲存于內(nèi)部；供給部，其將儲存于儲存部的研磨材料供給至噴嘴單元；以及移動部，其使多個噴嘴及被加工物中的至少一方移動來變更多個噴嘴與被加工物的相對位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及噴砂加工裝置以及噴砂加工方法。

背景技術(shù)

公知有通過將研磨材料與壓縮空氣一起從噴嘴噴射，而在被加工物形成孔、槽之類的較深的空間的噴砂加工方法。在這樣的噴砂加工方法中，將形成有掩模圖案的干膜形成在被加工物上，從噴嘴噴射研磨材料，而將從干膜露出的區(qū)域從被加工物除去，由此在被加工物形成空間。

在噴砂加工方法中，特別是在將印刷基板作為被加工物的情況等進(jìn)行非常微小的加工的情況下，對空間要求加工精度。作為用于形成具有加工精度的空間的技術(shù)，公知有形成導(dǎo)通孔(空間)的多列式基板的制造方法亦即專利文獻(xiàn)1所記載的噴砂加工方法。在專利文獻(xiàn)1中，公開了將形成有掩模圖案的干膜粘貼于被加工物的表背兩面，并從被加工物的表背兩面進(jìn)行噴砂加工的噴砂加工方法。

專利文獻(xiàn)1：日本專利6296407號公報

在專利文獻(xiàn)1所記載的噴砂加工中，需要以掩模圖案一致的方式將干膜高精度地粘貼于表背兩面，進(jìn)一步在加工的中途使被加工物翻轉(zhuǎn)，因此存在加工時間變長的擔(dān)憂。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上，要求提供一種能夠縮短加工時間的噴砂加工裝置以及噴砂加工方法。

本公開的一個方面是一種噴砂加工裝置。噴砂加工裝置具備噴嘴單元、儲存部、供給部以及移動部。噴嘴單元具有多個噴嘴以及分配機(jī)構(gòu)。多個噴嘴將研磨材料與壓縮空氣一起向被加工物的表面噴射。分配機(jī)構(gòu)將研磨材料分配給多個噴嘴。儲存部將研磨材料儲存于內(nèi)部。供給部將儲存于儲存部的研磨材料供給至噴嘴單元。移動部使多個噴嘴及被加工物中的至少一方移動，而變更多個噴嘴與被加工物的相對位置。

在該噴砂加工裝置中，研磨材料被分配機(jī)構(gòu)分配給多個噴嘴。從多個噴嘴的每一個向被加工物的表面噴射研磨材料。由于多個噴嘴并行地向被加工物的表面噴射研磨材料，所以與不具備多個噴嘴的噴砂加工裝置相比，該噴砂加工裝置能夠縮短加工時間。

在本公開的一個實(shí)施方式中，分配機(jī)構(gòu)也可以具有分散部件、導(dǎo)入管以及導(dǎo)出管。分散部件也可以在內(nèi)部劃分出將研磨材料呈氣溶膠狀分散的分散室。導(dǎo)入管也可以將供給部與分散室連結(jié)，而將供給部的研磨材料供給至分散室。導(dǎo)出管也可以將多個噴嘴與分散室連結(jié)，而將分散室的氣溶膠狀的研磨材料供給至多個噴嘴。該噴砂加工裝置由于在分散室中將研磨材料呈氣溶膠狀分散，所以能夠向多個噴嘴均勻地供給研磨材料。

在本公開的一個實(shí)施方式中，也可以在分散部件設(shè)置有與導(dǎo)入管連通的導(dǎo)入口和與導(dǎo)出管連通的導(dǎo)出口。與導(dǎo)入口對置的分散室的頂面為圓形，導(dǎo)出口也可以以包圍頂面的中央的方式配置為圓環(huán)狀。該噴砂加工裝置能夠從頂面的中央朝向配置為圓環(huán)狀的導(dǎo)出口均勻地分散氣溶膠狀的研磨材料。

在本公開的一個實(shí)施方式中，與頂面正交的方向的頂面與導(dǎo)入口之間的距離也可以為頂面的直徑的1/5以上1/2以下。該噴砂加工裝置將作為分散室的高度的頂面與導(dǎo)入口之間的距離設(shè)定在規(guī)定范圍內(nèi)，由此能夠抑制分散室內(nèi)的氣溶膠狀的研磨材料的偏差(即，被導(dǎo)出的研磨材料的量在每個導(dǎo)出口的偏差)。

在本公開的一個實(shí)施方式中，導(dǎo)入管也可以是包含與分散部件連結(jié)的直線部的圓管。直線部的長度也可以為直線部中的導(dǎo)入管的內(nèi)徑的5倍以上。該噴砂加工裝置在導(dǎo)入管的直線部對壓縮空氣實(shí)現(xiàn)的研磨材料的流動進(jìn)行整流，因此能夠促進(jìn)氣溶膠狀的研磨材料的均勻的分散。