[發明專利]金屬遮罩的制造方法

有效

• 申請號: 202110099589.5
• 申請日: 2021-01-25
• 公開（公告）號: CN112921365B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 余俊毅
• 申請（專利權）人: 達運精密工業股份有限公司
• 主分類號: C25D1/10
• 分類號: C25D1/10;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H10K71/16;H10K71/00
• 代理公司: 北京市立康律師事務所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

本發明公開一種金屬遮罩的制造方法，包括提供成長基板，其具有導電面。接著，在導電面上形成遮蓋圖案，其具有至少一開口與接觸導電面的絕緣表面。接著，以遮蓋圖案作為屏蔽，進行第一次電鑄，在導電面上形成模具部。模具部填入于開口，并具有接觸導電面的導電圖案表面。導電圖案表面與絕緣表面彼此切齊。在進行第一次電鑄之后，移除成長基板，保留遮蓋圖案與模具部。在移除成長基板之后，對模具部的導電圖案表面進行第二次電鑄，以在導電圖案表面上形成金屬圖案。之后，從金屬圖案移除模具部與遮蓋圖案。

技術領域

本發明是有關于一種屏蔽的制造方法，特別是有關于一種利用電鑄來制造屏蔽的方法。

背景技術

現今有的顯示面板已使用精細金屬遮罩(Fine?Metal?Mask，FMM)來制造。以有機發光二極管(Organic?Light?Emitting?Diode，OLED)顯示面板為例，目前有的有機發光二極管顯示面板是采用蒸鍍(evaporation)來制造。在蒸鍍的過程中，精細金屬遮罩會先放置在玻璃板上，并且緊鄰玻璃板，以使蒸鍍產生的鍍料能依照精細金屬遮罩的開口圖案而沉積在開口圖案所暴露的玻璃板上。

現有精細金屬遮罩具有彼此相對的上表面與下表面以及多個從上表面延伸至下表面的開口，其中這些開口形成開口圖案。各個開口的孔壁通常實質上垂直于上表面與下表面。因此，在進行蒸鍍期間，從蒸鍍源而來的鍍料能沿著玻璃板法線而移動至玻璃板，從而沉積在開口圖案所暴露的玻璃板上。

然而，由于各個開口的孔壁實質上垂直于上表面與下表面，因此其他不沿著玻璃板法線而朝向玻璃板移動的鍍料很多會被開口周邊的部分精細金屬遮罩所阻擋，以至于沉積物難以完全覆蓋開口圖案在玻璃板上所暴露的區域，造成有機發光二極管顯示面板發生畫素缺色或畫素顏色失真等問題，導致良率下降。

發明內容

本發明至少一實施例提出一種金屬遮罩的制造方法，其能制造出具有外凸曲面的金屬遮罩。

本發明至少一實施例所提出的金屬遮罩的制造方法包括提供成長基板，其中成長基板具有導電面，而導電面具有法線。在導電面上形成遮蓋圖案，其中遮蓋圖案為絕緣體，并具有至少一開口以及接觸導電面的絕緣表面，而開口從導電面沿著法線而延伸。接著，以遮蓋圖案作為屏蔽，進行第一次電鑄，以在導電面上形成模具部，其中模具部填入于至少一開口，并具有接觸導電面的導電圖案表面，其中導電圖案表面與絕緣表面彼此切齊。在進行第一次電鑄之后，移除成長基板，并保留遮蓋圖案與模具部。在移除成長基板之后，對模具部的導電圖案表面進行第二次電鑄，以在導電圖案表面上形成金屬圖案。在進行第二次電鑄之后，從金屬圖案移除模具部與遮蓋圖案。

在本發明至少一實施例中，形成遮蓋圖案的方法包括曝光與顯影。

在本發明至少一實施例中，上述模具部的厚度大于或等于開口的深度。

在本發明至少一實施例中，上述模具部與金屬圖案兩者材料不同。

在本發明至少一實施例中，上述金屬圖案具有多個鏤空區，而鏤空區的最小寬度介于10微米至50微米之間。

在本發明至少一實施例中，上述金屬圖案的厚度介于5微米至25微米之間。

在本發明至少一實施例中，上述金屬圖案的材料為鎳鐵合金，而金屬圖案中的鐵成分介于50％至65％之間。

在本發明至少一實施例中，上述金屬圖案中的鎳成分介于35％至50％之間。

基于上述，由于模具部的導電圖案表面與遮蓋圖案的絕緣表面彼此切齊，加上在進行第二次電鑄期間，金屬材料不會沉積在絕緣表面上，因此導電圖案表面與絕緣表面之間的邊界(boundary)能促使金屬圖案(即金屬遮罩)形成外凸曲面，以使鏤空區的寬度不是均勻的。如此，鍍料能從外凸曲面進入鏤空區，并且順利地沉積在鏤空區所暴露的被鍍基板(例如玻璃板)上，有助于減少或避免發生畫素缺色或畫素顏色失真等問題，進而提升良率。