[發明專利]金屬遮罩的制造方法

有效

• 申請號: 202110099589.5
• 申請日: 2021-01-25
• 公開（公告）號: CN112921365B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 余俊毅
• 申請（專利權）人: 達運精密工業股份有限公司
• 主分類號: C25D1/10
• 分類號: C25D1/10;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H10K71/16;H10K71/00
• 代理公司: 北京市立康律師事務所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

1.一種金屬遮罩的制造方法，其特征在于，包括：

提供一成長基板，其中該成長基板具有一導電面，而該導電面具有一法線；

在該導電面上形成一遮蓋圖案，其中該遮蓋圖案為絕緣體，并具有至少一開口以及接觸該導電面的一絕緣表面，該至少一開口從該導電面沿著該法線而延伸；

以該遮蓋圖案作為屏蔽，進行一第一次電鑄，以在該導電面上形成一模具部，其中該模具部填入于該至少一開口，并具有接觸該導電面的一導電圖案表面，其中該導電圖案表面與該絕緣表面彼此切齊；

在進行該第一次電鑄之后，移除該成長基板，并保留該遮蓋圖案與該模具部；

在移除該成長基板之后，對該模具部的該導電圖案表面進行一第二次電鑄，以在該導電圖案表面上形成一金屬圖案；以及

在進行該第二次電鑄之后，從該金屬圖案移除該模具部與該遮蓋圖案。

2.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，形成該遮蓋圖案的方法包括曝光與顯影。

3.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該模具部的厚度大于或等于該開口的深度。

4.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該模具部與該金屬圖案兩者材料不同。

5.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該金屬圖案具有多個鏤空區，而至少一該鏤空區的最小寬度介于10微米至50微米之間。

6.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該金屬圖案的厚度介于5微米至25微米之間。

7.根據權利要求1所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該金屬圖案的材料為鎳鐵合金，而該金屬圖案中的鐵成分介于50％至65％之間。

8.根據權利要求7所述的金屬遮罩的制造方法，其特征在于，該金屬圖案中的鎳成分介于35％至50％之間。