[發明專利]一種晶圓片清洗裝置和清洗方法

有效

• 申請號: 202110099510.9
• 申請日: 2021-01-25
• 公開（公告）號: CN112916500B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 劉波;夏躍
• 申請（專利權）人: 唐山國芯晶源電子有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 杭州知管通專利代理事務所(普通合伙) 33288
• 代理人: 尉敏

1.一種晶圓片清洗裝置，其特征在于，包括清洗室（001），所述清洗室（001）內裝有液態的硅片清潔液；還包括主控器（003）；

所述清洗室（001）的兩個相對面的側壁之間橫向設置噴淋管（800），所述噴淋管（800）與所述清洗室（001）內壁滑動連接；所述噴淋管（800）的底部開設一排直線型的若干噴淋孔（810），所述硅片清潔液在所述噴淋管（800）內流通并從所述噴淋孔（810）噴射出來；

所述清洗室（001）內還設有與所述主控器（003）電性連接并受所述主控器（003）電性控制的電動氣缸（420），所述電動氣缸（420）的推動桿（421）豎直向上，所述推動桿（421）與圓形的晶圓片基座（400）固定連接，所述晶圓片基座（400）在所述推動桿（421）的帶動下在豎直方向上移動；

在所述推動桿（421）將所述晶圓片基座（400）推動至低于所述噴淋管（800）的位置，且所述噴淋管（800）滑動移至所述晶圓片基座（400）上方時，所述噴淋孔（810）噴射出所述硅片清潔液實現對所述晶圓片基座（400）上表面直線區域定位的清洗；

所述清洗室（001）的兩個相對面的側壁還分別固設紅外發射器（100）和紅外接收器（110）；所述紅外發射器（100）和所述紅外接收器（110）相互對射形成對射直線（120）；所述晶圓片基座（400）上具有與所述噴淋管（800）平行的直徑線（410），所述直徑線（410）與所述對射直線（120）平行，且由所述直徑線（410）和所述對射直線（120）所構成的檢測平面（130）垂直于所述清洗室（001）底壁；所述噴淋管（800）在移動到所述檢測平面（130）上時的噴射實現對直徑線（410）上區域的噴射。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片清洗裝置，其特征在于，所述清洗室（001）內還設有相互配合轉動的第一錐齒輪（440）和第二錐齒輪（540）；所述第二錐齒輪（540）與齒輪驅動電機（500）固定連接并在所述齒輪驅動電機（500）的驅動下轉動；

所述齒輪驅動電機（500）的底部固定連接移位鐵片（530），所述移位鐵片（530）與移位彈簧（520）的一端固定連接，所述移位彈簧（520）的另一端與移位電磁鐵（510）固定連接，所述移位電磁鐵（510）與所述清洗室（001）底壁固定連接；

所述齒輪驅動電機（500）與所述移位電磁鐵（510）均與所述主控器（003）電性連接并受所述主控器（003）控制啟閉；

所述第一錐齒輪（440）上表面圓心處與所述電動氣缸（420）固定連接，所述電動氣缸（420）在所述第一錐齒輪（440）的帶動下跟隨所述第一錐齒輪（440）轉動；所述第一錐齒輪（440）下表面圓心處與齒輪軸桿（430）轉動連接，所述齒輪軸桿（430）與所述清洗室（001）底壁固定連接，所述第一錐齒輪（440）在所述第二錐齒輪（540）的帶動下以所述齒輪軸桿（430）為中心軸轉動；

所述移位電磁鐵（510）在通電情況下吸附所述移位鐵片（530），所述移位彈簧（520）壓縮，所述齒輪驅動電機（500）在所述移位鐵片（530）的帶動下向所述移位電磁鐵（510）方向移動，所述第二錐齒輪（540）離開與所述第一錐齒輪（440）相配合的位置。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓片清洗裝置，其特征在于，所述齒輪驅動電機（500）的一側還與滑輪（560）通過定位桿（550）轉動連接；所述滑輪（560）嵌入第一定位軌道（710）中，并在所述第一定位軌道（710）中滑動；所述第一定位軌道（710）豎直地固定設置在所述清洗室（001）側壁上；所述第一定位軌道（710）的上頂面和下底面封閉以用于約束所述滑輪（560）滑動區域。